一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器制造技术

本发明专利技术公开了一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器，包括硫化锌基底，所述基底的底部镀制用铝膜，基底上部镀制由下至上依次为铝膜、硒化锌膜、铝膜、锗膜、铝膜的梯形光栅结构层；本发明专利技术采用光刻、刻蚀与镀膜相结合的加工工艺，仅通过改变微纳结构的占空比或周期，即可实现吸收峰中心波长的平移调控，并在多方位角下实现超广角窄带高吸收，在全面阵区域内，针对多组条带微纳结构的同一膜层，实现同时加工制备。克服了传统镀膜工艺中，因分时分区域多次镀膜所导致的镀膜次数的数量级增长，以及多条带异化镀膜相对平行度难以保证等难题，提高了加工效率，降低了全面阵区域内偏振光谱分光器件加工制备的难度和复杂性，具有创新意义。具有创新意义。

【技术实现步骤摘要】
一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器


[0001]本专利技术属于微纳光学器件
，具体涉及一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器。

技术介绍

[0002]完美光吸收是将光能转化为其他形式能量的有效途径。吸收器被广泛应用于多种学科领域中，它是作为提高其光学特性的重要手段，尤其是将完美吸收的特性应用于探测器领域一直备受国内外学者的关注，也因此成为了重要的研究热点。自1976年以来，Maystre等人发表了有关他们在衍射光栅中发现的全吸收现象，随着1998年Ebbesen等人发现周期性小孔金属膜在特定波长下的异常透射显现，这使得亚波长金属光栅结构得到了推进。2008年，Landy等人进行了基于人造电磁材料的完美吸收器的研宄。2010年，Liu等人设计了工作频段在红外波段超材料吸收器。直至今日，已经知悉8μm到13μm波段是大气的窗口，这个波段的吸收器在红外探测技术、光子探测、红外成像、红外隐身、热发射、太阳能电池、生物传感，天文学、光谱学等领域扮演着重要角色。其中，提高红外探测器吸收层的吸收效率是提高探测器性能的一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器，其特征在于：包括硫化锌基底(1)，所述硫化锌基底(1)的底部镀制用铝膜(2),所述硫化锌基底(1)上部镀制由下至上依次为铝膜、硒化锌膜、铝膜、锗膜、铝膜的光栅结构层(3)，所述光栅结构层(3)呈梯形结构。2.根据权利要求1所述的一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器，其特征在于：在硫化锌基底(1)的上部表面首先利用掩模光刻工艺光刻出光栅结构。3.根据权利要求1所述的一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器，其特征在于：将铝膜、硒化锌膜、铝膜、锗膜、铝膜分别镀至结构表面后，利用lift
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off工艺流程，其中，分别将每一层膜镀制完成后，便将基底条带放入去胶液中浸泡，将条带以外的薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑妍，张刘，孙秋香，朱杨，吕雪莹，李博楠，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：