一种单晶硅片退火冷却箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体内开设有冷却槽，冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。本实用新型专利技术通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果，通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片退火冷却箱


[0001]本技术属于单晶硅片退火
，尤其涉及一种单晶硅片退火冷却箱。

技术介绍

[0002]硅片中含有氧，氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧，从其表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量减少。有利于器件的制造。
[0003]现有的技术存在以下问题：在对硅片冷却时，安装固定硅片时的步骤较为繁琐，增加了工作时间，不利于硅片的冷却。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶硅片退火冷却箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体的底部连接有多个支架，冷却箱本体内开设有冷却槽，所述冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，所述夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。
[0006]所述冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒和第二冷却筒，第一冷却筒和第二冷却筒内均固接有风机，风机的吹风端朝向支撑板，支撑板上开设有透气孔。
[0007]所述夹持机构包括开设于滑板上的连接槽，所述连接槽内活动连接有固定块，固定块的底部固接有与所述连接槽连接的弹簧，滑槽的内顶部固接有用于压动固定块的驱动块，支撑板的顶面开设有固定槽，所述固定槽内活动连接有连接板，固定块和连接板之间固接有连接架，两个连接板相靠近的一侧均固接有夹板，支撑板的顶部固接有夹座，所述单晶硅片位于夹板和夹座之间。
[0008]在一个优选地实施方式中，固定块的两侧均固接有第一连接块，第一连接块为倾斜设置、且第一连接块远离固定块一端的高度低于固定块的高度，驱动块的两侧均固接有第二连接块，所述第二连接块为倾斜设置，且所述第二连接块远离驱动块一端的高度高于驱动块的高度。
[0009]在一个优选地实施方式中，支撑板的顶面固接有两个垫块，垫块的高度与夹座的高度相等。
[0010]在一个优选地实施方式中，透气孔的内壁固接有滤网。
[0011]在一个优选地实施方式中，支撑板伸出所述冷却槽的一侧固接有密封盖，密封盖远离支撑板的一侧固接有把手，连接盖上开设有与密封盖卡合的密封孔。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的
两侧进行冷却，达到便于工作的效果；
[0014]本技术通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术整体的结构示意图；
[0017]图2为本技术整体的结构侧视剖切；
[0018]图3为本技术图1中支撑板的结构立体图；
[0019]图中：1、冷却箱本体；2、滑槽；3、滑板；4、支撑板；5、支架；6、第一冷却筒；7、把手；8、密封盖；9、第二冷却筒；10、密封孔；11、连接盖；12、弹簧；13、固定块；14、连接板；15、风机；16、驱动块；17、夹板；18、第一连接块；19、滤网；20、夹座；21、透气孔；22、垫块；23、连接架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例
[0022]请参阅图1
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3，本技术提供以下技术方案：一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体1，冷却箱本体1的底部连接有多个支架5，冷却箱本体1内开设有冷却槽，冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽2，滑槽2内滑动连接有滑板3，两个滑板3之间固接有支撑板4，滑板3上设置有夹持机构，夹持机构用于夹持位于支撑板4上方的单晶硅片，冷却箱本体1上转动连接有用于密封的连接盖11。
[0023]冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒6和第二冷却筒9，第一冷却筒6和第二冷却筒9内均固接有风机15，风机15的吹风端朝向支撑板4，支撑板4上开设有透气孔21。
[0024]夹持机构包括开设于滑板3上的连接槽，连接槽内活动连接有固定块13，固定块13的底部固接有与连接槽连接的弹簧12，滑槽2的内顶部固接有用于压动固定块13的驱动块16，支撑板4的顶面开设有固定槽，固定槽内活动连接有连接板14，固定块13和连接板14之间固接有连接架23，两个连接板14相靠近的一侧均固接有夹板17，支撑板4的顶部固接有夹座20，单晶硅片位于夹板17和夹座20之间。
[0025]本实施方案中：通过设置滑槽2，滑板3插入滑槽2的过程中，驱动块16接触并下压固定块13，使得固定块13下降并带动连接板14、夹板17下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机15对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果，通过弹簧12，冷却后将支撑板4滑出，此时驱动块16与固定块13分离，弹簧12的弹力会将固定块13顶出，从而使得夹板17远离硅片，达到快速拆卸的效果。
[0026]具体的，固定块13的两侧均固接有第一连接块18，第一连接块18为倾斜设置、且第一连接块18远离固定块13一端的高度低于固定块13的高度，驱动块16的两侧均固接有第二连接块，第二连接块为倾斜设置，且第二连接块远离驱动块16一端的高度高于驱动块16的高度；通过设置第一连接块18和第二连接块，降低了驱动块16与固定块13接触时的摩擦力，避免产生磨损，达到便于驱动的效果。
[0027]具体的，支撑板4的顶面固接有两个垫块22，垫块22的高度与夹座20的高度相等；通过设置垫块22，垫块22可以将硅片支撑起来，达到便于夹持的效果。
[0028]具体的，透气孔21的内壁固接有滤网19；滤网19可以阻挡灰尘的传递，达到便于挡灰的效果。
[0029]具体的，支撑板4伸出冷却槽的一侧固接有密封盖8，密封盖8远离支撑板4的一侧固接有把手7，连接盖11上开设有与密封盖8卡合的密封孔10；通过设置把手7，达到便于操作支撑板4的效果，在冷却时，将连接盖11关闭，此时密封孔10与密封盖8卡合，达到充分密封的效果。
[0030]本技术的工作原理及使用流程：将硅片放置在垫块22上，握住把手7并推动支撑板4，使得滑板3进入滑槽2中，滑板3插入滑槽2的过程中，驱动块16接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体(1)，其特征在于：冷却箱本体(1)的底部连接有多个支架(5)，冷却箱本体(1)内开设有冷却槽，所述冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽(2)，滑槽(2)内滑动连接有滑板(3)，两个滑板(3)之间固接有支撑板(4)，滑板(3)上设置有夹持机构，所述夹持机构用于夹持位于支撑板(4)上方的单晶硅片，冷却箱本体(1)上转动连接有用于密封的连接盖(11)；所述冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9)，第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9)内均固接有风机(15)，风机(15)的吹风端朝向支撑板(4)，支撑板(4)上开设有透气孔(21)；所述夹持机构包括开设于滑板(3)上的连接槽，所述连接槽内活动连接有固定块(13)，固定块(13)的底部固接有与所述连接槽连接的弹簧(12)，滑槽(2)的内顶部固接有用于压动固定块(13)的驱动块(16)，支撑板(4)的顶面开设有固定槽，所述固定槽内活动连接有连接板(14)，固定块(13)和连接板(14)之间固接有连接架(23)，两个连接板(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：饶海峰，沈传进，许天红，张峰，孙小龙，陈兆民，
申请(专利权)人：金寨嘉悦新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：