盒体清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了盒体清洗设备，包括用于盛放清洗箱体的清洗槽和管道部件。在清洗过程中，通过管道部件使得箱体内的清洗液和气体从箱体内抽走，防止气体在箱体内聚集，从而防止箱体浮起，清洗液或者气体经过回水管从清洗喷头流出后回流到清洗槽内，实现清洗液循环，防止清洗液的浪费。止清洗液的浪费。止清洗液的浪费。

【技术实现步骤摘要】
盒体清洗设备


[0001]本技术涉及半导体晶圆盛放盒的清洗领域，特别是涉及盒体清洗设备。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆的生产过程中，需要将晶圆放置于盛放盒内，晶圆需要清洗进行清洗的同时，晶圆盒也要进行清洗。
[0003]晶圆盒为包括本体和盖体的打开式结构，为了清洗方便且不产生积水，晶圆盒通常都是倒扣在清洗槽内进行清洗。然而现有的晶圆盒清洗设备，为了提高清洗效果，在清洗槽底部会设置鼓泡管，也即会有气体产生，气体会在清洗液中上浮，从而进入倒扣的晶圆盒内，晶圆盒内聚集气体过多时，就容易上浮，发生侧翻，从而难以对晶圆盒进行固定清洗，影响清洗效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供盒体清洗设备。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0006]本技术的盒体清洗设备，包括用于盛放清洗箱体的清洗槽和管道部件；
[0007]所述清洗槽内设置有鼓泡管；
[0008]所述管道部件包括水泵、回水管、清洗喷头和抽水管，所述抽水管分为两组分别用于支撑所述箱体的本体和盖体，且每组所述抽水管的顶端处于同一水平面，所述抽水管顶部具有防堵结构；
[0009]所述清洗喷头设置于清洗喷头顶端，并高于所述箱体的设置高度；
[0010]所述水泵用于将清洗液或者气体从抽水管顶部吸入，经回水管从清洗喷头流出后回流到清洗槽内。
[0011]优选地，本技术的盒体清洗设备，所述清洗喷头倾斜设置，并对准位于清洗槽内的所述箱体的顶面。
>[0012]优选地，本技术的盒体清洗设备，防堵结构为防堵槽。
[0013]优选地，本技术的盒体清洗设备，每组抽水管呈矩形排列。
[0014]优选地，本技术的盒体清洗设备，所述抽水管还与干燥气体供给管道连接，以用于在清洗液排空后，通过抽水管向箱体喷出气体加快箱体的干燥。
[0015]优选地，本技术的盒体清洗设备，所述抽水管还与清洗液供给管道连接，用于在向清洗槽注入清洗液的过程中喷出清洗液，以对箱体的内壁进行冲洗。
[0016]优选地，本技术的盒体清洗设备，所述回水管还设置有气液分离阀。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0018]本技术的盒体清洗设备，包括用于盛放清洗箱体的清洗槽和管道部件。在清洗过程中，通过管道部件使得箱体内的清洗液和气体从箱体内抽走，防止气体在箱体内聚集，从而防止箱体浮起，清洗液或者气体经过回水管从清洗喷头流出后回流到清洗槽内，实
现清洗液循环，防止清洗液的浪费。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本技术所述盒体清洗设备的结构示意图；
[0021]图2是本技术所述盒体清洗设备的内部结构示意图；
[0022]图3是本技术所述盒体清洗设备的箱体结构示意图；
[0023]图4是本技术所述盒体清洗设备的抽水管结构示意图；
[0024]图5是本技术所述盒体清洗设备的防堵槽结构示意图；
[0025]图6是本专利技术所述盒体清洗设备中管道部件的结构图。
[0026]附图标记说明如下：
[0027]1、底座；2、清洗槽；3、回水管；4、清洗喷头；5、集水管；6、抽水管；7、鼓泡管；8、箱体；9、鼓泡机；10、防堵槽；11、水泵；12、多通阀；13、气液分离阀。
具体实施方式
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0031]实施例1
[0032]如图1
‑
图5所示，盒体清洗设备，包括用于盛放清洗箱体8的清洗槽2和管道部件；
[0033]所述清洗槽2具有内部设置有鼓泡机9的底座1，所述清洗槽2的槽体内具与鼓泡机9连接的鼓泡管7；
[0034]所述管道部件包括水泵11、回水管3、清洗喷头4和抽水管6，所述抽水管6分为两组分别用于支撑所述箱体8的本体和盖体，且每组所述抽水管6的顶端处于同一水平面，所述抽水管6顶部具有防堵结构；
[0035]所述清洗喷头4设置于清洗喷头4顶端，并高于所述箱体8的设置高度；
[0036]所述水泵11用于将清洗液或者气体从抽水管6顶部吸入，经回水管3从清洗喷头4流出后回流到清洗槽2内。
[0037]工作原理：将箱体8倒扣在两组抽水管6上，抽水管6起到了支撑箱体8的作用，启动水泵11和鼓泡机9，使得鼓泡机9将气泡从鼓泡管7喷出后，会聚集到箱体8内，利用水泵11对抽水管6进行抽水，使得箱体8内的清洗液(水)和气体从箱体8内抽走，防止气体在箱体8内聚集，从而防止箱体8浮起，清洗液或者气体经过回水管3从清洗喷头4流出后回流到清洗槽2内，实现清洗液循环，防止清洗液的浪费。
[0038]优选的，所述清洗喷头4倾斜设置，并对准位于清洗槽2内的所述箱体8的顶面。清洗喷头4倾斜设置形成了让位空间，使得机械手升降抓取箱体8时不受阻挡。对准箱体8的顶面进行喷洗可以提高对箱体8顶面的清洗效果。需要说明的是，图2中虽然仅画出了两个清洗喷头4，但是本领域技术人员根据需要可以将清洗喷头4设置成一排。
[0039]优选的，防堵结构为防堵槽10，也可以为波浪结构，防止抽水管6吸附住箱体的内壁，保证流道的顺畅。
[0040]优选的，每组抽水管6呈矩形排列，以方便对箱体8的支撑。
[0041]优选的，所述抽水管6还与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.盒体清洗设备，其特征在于，包括用于盛放清洗箱体(8)的清洗槽(2)和管道部件；所述清洗槽(2)内设置有鼓泡管(7)；所述管道部件包括水泵(11)、回水管(3)、清洗喷头(4)和抽水管(6)，所述抽水管(6)分为两组分别用于支撑所述箱体(8)的本体和盖体，且每组所述抽水管(6)的顶端处于同一水平面，所述抽水管(6)顶部具有防堵结构；所述清洗喷头(4)设置于清洗喷头(4)顶端，并高于所述箱体(8)的设置高度；所述水泵(11)用于将清洗液或者气体从抽水管(6)顶部吸入，经回水管(3)从清洗喷头(4)流出后回流到清洗槽(2)内。2.根据权利要求1所述的盒体清洗设备，其特征在于，所述清洗喷头(4)倾斜设置，并对准位于清洗槽(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，霍召军，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：