一种集成电路板加工用的高效溅射设备制造技术

本实用新型专利技术涉及集成电路板技术领域，提供一种集成电路板加工用的高效溅射设备，包括支撑板、工作台和转槽，所述支撑板的顶端设置有工作台，所述工作台的顶端安装有真空箱，所述真空箱内部的顶端安装有溅射发生器，所述工作台底端的两侧均设置有转杆，所述转槽开设于支撑板的顶端，所述转杆插设进转槽的内部，所述支撑板底端的两侧均设置有调节机构。本实用新型专利技术通过设置有旋转机构，第二伺服电机通过与第一锥形齿轮第二锥形齿轮的齿轮传动，带动工作台进行旋转，这样可以在对集成电路板进行加工时，对集成电路板进行多角度的转动，从而对集成电路板进行更快，更高效的溅射处理，提高了溅射处理的效率。溅射处理的效率。溅射处理的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路板加工用的高效溅射设备


[0001]本技术涉及集成电路板
，特别涉及一种集成电路板加工用的高效溅射设备。

技术介绍

[0002]随着社会的不断发展，集成电路板的技术也越来越成熟，在集成电路板的加工中需要对集成电路板的表面溅射处理，溅射是指对其表面进行轰击，使表面上的成分被轰击下来，以原子或者原子团的形式呈积在物体的表面，形成化合物或者金属薄膜，因此就需要一种集成电路板加工用的高效溅射设备；
[0003]为此，公开号为CN210394503U的专利公开了一种集成电路加工用的溅射设备，涉及集成电路领域。该集成电路加工用的溅射设备，包括支撑架，所述支撑架的一侧包括有正反转电机、第一转轮、皮带、固定板和通孔。该集成电路加工用的溅射设备，通过设置的转台，以及滑槽、导向滑杆、限位板、滑块、连接板、固定块、拉环、拉杆、夹持板和弹簧的配合设置，使工作人员在需要加工集成电路板时，可以先拉动拉环，从而使拉环能够通过固定块拉动拉杆，从而使拉杆能够拉动夹持板，从而使被拉动的固定块能够拉动连接板，从而使连接板能够拉动滑块，从而使滑块能够在导向滑杆上左右滑动，从而使被拉动的滑块能够挤压弹簧，从而使弹簧能够收缩；
[0004]上述中的现有技术方案存在以下缺陷：上述技术虽然可以对集成电路板进行固定，但是不便调节溅射设备的高低，实用性较弱。

技术实现思路

[0005](一)要解决的技术问题
[0006]本技术的目的是提供一种集成电路板加工用的高效溅射设备，用以解决现有的集成电路板加工用的高效溅射设备无法调节高低的缺陷。
[0007](二)
技术实现思路

[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种集成电路板加工用的高效溅射设备，包括支撑板、工作台和转槽，所述支撑板的顶端设置有工作台，所述工作台的顶端安装有真空箱，所述真空箱内部的顶端安装有溅射发生器；
[0009]所述工作台底端的两侧均设置有转杆，所述转槽开设于支撑板的顶端，所述转杆插设进转槽的内部，所述支撑板底端的两侧均设置有调节机构；
[0010]所述调节机构包括升降杆、升降座、第一伺服电机、转轮和防护箱，所述升降杆固定于支撑板的底端，所述升降杆的端设置有升降座，所述升降座的一侧安装有防护箱，所述防护箱的一端设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的传动轴延伸至防护箱的内部处设置有转轮。
[0011]优选的，所述支撑板底端的中间位置处，设置有旋转机构，所述旋转机构包括第二伺服电机、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮和传动杆，所述第二伺服电机设置于支撑板的底
端，所述第二伺服电机的一侧设置有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的顶端设置有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的顶端的连接有传动杆，所述传动杆贯穿支撑板与工作台的底端相固定。
[0012]优选的，所述工作台的顶端设置有夹持结构，所述夹持结构包括固定块、抵板、弹簧、拉杆、滑杆和滑块，所述固定块固定于支撑板顶端的两侧，所述固定块的内部横向插设有拉杆，所述拉杆一侧的外侧壁上缠绕有弹簧，所述工作台的内部设置有滑杆，所述滑杆的外侧壁上套设有滑块，所述滑块的顶端与抵板的底端相固定。
[0013]优选的，所述固定块通过弹簧与抵板相连接，所述固定块与抵板之间构成伸缩结构。
[0014]优选的，所述滑块的内径大于滑杆的外径，所述滑块与滑杆之间构成滑动结构。
[0015]优选的，所述升降杆的一侧设置有若干个齿牙，所述升降杆与转轮之间相互啮合。
[0016]优选的，所述转槽的横截面积大于转杆的横截面积，所述转槽和转杆之间构成活动连接。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术提供的一种集成电路板加工用的高效溅射设备，其优点在于：通过设置有夹持结构，在使用时抵板会对工作台上的集成电路板进行限位，防止集成电路板在进行溅射加工的过程中，出现位置的偏移，影响加工的效率，提高了夹持效果；
[0019]通过设置有旋转机构，第二伺服电机通过与第一锥形齿轮第二锥形齿轮的齿轮传动，带动工作台进行旋转，这样可以在对集成电路板进行加工时，对集成电路板进行多角度的转动，从而对集成电路板进行更快，更高效的溅射处理，提高了溅射处理的效率；
[0020]通过设置有调节机构，升降杆和升降座的使用，可以根据使用者不同的需要对工作台进行高度的调节，方便使用者对集成电路板做溅射处理，因为自身的不便而影响工作效率，提高了适用性。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0023]图2为本技术的侧视结构示意图；
[0024]图3为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0025]图4为本技术的调节机构的正视剖面结构示意图；
[0026]图5为本技术的夹持结构的正视剖面结构示意图。
[0027]图中的附图标记说明：1、支撑板；2、工作台；3、夹持结构；301、固定块；302、抵板；303、弹簧；304、拉杆；305、滑杆；306、滑块；4、调节机构；401、升降杆；402、升降座；403、第一伺服电机；404、转轮；405、防护箱；5、旋转机构；501、第二伺服电机；502、第一锥形齿轮；503、第二锥形齿轮；504、传动杆；6、转杆；7、转槽；8、真空箱；9、溅射发生器。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]请参阅图1
‑
5，本技术提供的一种集成电路板加工用的高效溅射设备，包括支撑板1、工作台2和转槽7，支撑板1的顶端设置有工作台2，工作台2的顶端安装有真空箱8，真空箱8内部的顶端安装有溅射发生器9，工作台2底端的两侧均设置有转杆6，转槽7开设于支撑板1的顶端，转杆6插设进转槽7的内部，支撑板1底端的两侧均设置有调节机构4，调节机构4包括升降杆40本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路板加工用的高效溅射设备，包括支撑板(1)、工作台(2)和转槽(7)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶端设置有工作台(2)，所述工作台(2)的顶端安装有真空箱(8)，所述真空箱(8)内部的顶端安装有溅射发生器(9)；所述工作台(2)底端的两侧均设置有转杆(6)，所述转槽(7)开设于支撑板(1)的顶端，所述转杆(6)插设进转槽(7)的内部，所述支撑板(1)底端的两侧均设置有调节机构(4)；所述调节机构(4)包括升降杆(401)、升降座(402)、第一伺服电机(403)、转轮(404)和防护箱(405)，所述升降杆(401)固定于支撑板(1)的底端，所述升降杆(401)的端设置有升降座(402)，所述升降座(402)的一侧安装有防护箱(405)，所述防护箱(405)的一端设置有第一伺服电机(403)，所述第一伺服电机(403)的传动轴延伸至防护箱(405)的内部处设置有转轮(404)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路板加工用的高效溅射设备，其特征在于：所述支撑板(1)底端的中间位置处，设置有旋转机构(5)，所述旋转机构(5)包括第二伺服电机(501)、第一锥形齿轮(502)、第二锥形齿轮(503)和传动杆(504)，所述第二伺服电机(501)设置于支撑板(1)的底端，所述第二伺服电机(501)的一侧设置有第一锥形齿轮(502)，所述第一锥形齿轮(502)的顶端设置有第二锥形齿轮(503)，所述第二锥形齿轮(503)的顶端的连接有传动杆(504)，所述传动杆(50...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍迎旭，
申请(专利权)人：徐州市沂芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：