测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测试装置及测试方法，包括：过激励模块，用于为被测件提供极端工作条件，以使得被测件在烧毁实验过程中被烧毁；高速摄像模块，用于在烧毁实验过程中对被测件内部进行实时拍摄。本发明专利技术的测试装置使用过激励模块激励，对被测件进行烧毁实验，使得被测件被烧毁，在被测件烧毁瞬间，通过高速摄像模块能够清晰拍摄到烧毁瞬间的元器件的状况，拍摄录制烧毁过程，完成画面捕捉。完成画面捕捉。完成画面捕捉。

【技术实现步骤摘要】
测试装置及测试方法


[0001]本专利技术涉及集成电路
，特别是涉及一种测试装置及测试方法。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的不断发展，半导体器件的特征尺寸不断减小，集成度不断提高，器件的可靠性要求也越来越高。现有器件烧毁试验技术方案主要为在器件烧毁试验之后使用显微镜等手段观察器件内部烧毁情况，这种方法的缺点是无法得知器件在烧毁的一瞬间损坏的动态情况，仅能在试验过后对器件进行分析。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术设计了一种测试装置及测试方法，能够在烧毁实验过程中对被测件内部进行实时拍摄，准确分析元器件的烧毁位置。
[0004]一种测试装置，包括：
[0005]过激励模块，用于为被测件提供极端工作条件，以使得被测件在烧毁实验过程中被烧毁；高速摄像模块，用于在烧毁实验过程中对被测件内部进行实时拍摄。
[0006]在其中一个实施例中，过激励模块包括射频信号源、功率放大器和直流电源。其中，射频信号源的输出端与功率放大器的输入端相连，射频信号源用于给功率放大器提供输入射频信号。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，所述装置包括：过激励模块，用于为被测件提供极端工作条件，以使得被测件在烧毁实验过程中被烧毁；高速摄像模块，用于在烧毁实验过程中对被测件内部进行实时拍摄。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述过激励模块包括射频信号源、功率放大器和直流电源；其中，所述射频信号源的输出端与所述功率放大器的输入端相连，所述射频信号源用于给所述功率放大器提供输入射频信号；所述功率放大器的输出端与所述被测件相连接，用于将所述输入射频信号放大后提供至所述被测件；所述直流电源与所述被测件相连，用于向所述被测件提供直流电压和直流电流。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述过激励模块还包括定向耦合器、衰减器、输入功率计、输出功率计和工控机；所述定向耦合器包括输入端、耦合输出端和直通输出端，所述定向耦合器的输入端与所述功率放大器的输出端相连，所述定向耦合器用于将所述功率放大器放大后的所述射频信号分离成两路，并分别经由所述耦合输出端和所述直通输出端输出；所述定向耦合器的耦合输出端与所述输入功率计相连，所述定向耦合器的直通输出端与所述被测件相连；所述衰减器的输入端与所述被测件相连，所述衰减器的输出端与所述输出功率计相连；所述工控机连接所述输入功率计、所述输出功率计和所述直流电源，所述工控机用于监测和记录实时的射频信号的射频功率和直流电流数据。4.根据权利要求1
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3任一所述的测试装置，其特征在于，还包括光源模块，所述光源模块用于向所述被测件提供照明光线。5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述光源模块包括脉冲激光光源，所述照明光线包括单一波长的照明光线；所述测试装置还包括控制模块，所述控制模块与所述高速摄像模块及所述光源模块均相连接，用于同步所述高速摄像模块和所述光源模块，使所述高速摄...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘昌，谢宇寒，陈义强，来萍，陈思，周斌，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：