顶置缓冲器二重搬入检测系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种顶置缓冲器二重搬入检测系统，其包括：天车；第一感测单元，用于扫描生成水平范围的检测数据；驱动装置，用于对第一感测单元进行竖直范围移动；控制单元；天车控制系统，用于在天车移动到对应的顶置缓冲器位置时向控制单元发送检测指令以及驱动指令，控制单元根据驱动指令控制驱动装置对第一感测单元进行竖直范围移动，以及根据检测指令控制第一感测单元在移动过程中扫描生成顶置缓冲器内各水平范围的检测数据，根据顶置缓冲器内各水平范围的检测数据判断顶置缓冲器内是否有存在障碍物。其优点是：利用水平和竖直两个维度检测得到立体空间范围的检测结果，精准判断出障碍物的存在与否。断出障碍物的存在与否。断出障碍物的存在与否。

【技术实现步骤摘要】
顶置缓冲器二重搬入检测系统及方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及顶置缓冲器二重搬入检测系统及方法。

技术介绍

[0002]半导体集成电路中物料自动搬运系统(AMHS，Automated Material Handling System)包括沿着设置在天花板下方的轨道行走的天车(Overhead Hoist Transport，OHT)以及安装于天花板下方的顶置缓冲器(Over Head Buffer，OHB)，其中，顶置缓冲器为一种存储棚位，用于存放前置式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)，天车用于将前置式晶圆传送盒搬送至目的地站点。
[0003]现有的，当天车移动到相应的顶置缓冲器位置以进行前置式晶圆传送盒的存放时，需要先对顶置缓冲器内是否存在物体进行检测，该检测过程称之为二重输入检测，当前通过光电传感器进行二重输入检测，而当前的检查方式存在漏检测和误检测的可能，精确度不高。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有的二重搬入检测存在漏检测、误检测的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种顶置缓冲器二重搬入检测系统，其特征在于，包括：天车；第一感测单元，用于扫描生成水平范围的检测数据；驱动装置，设置在所述天车上，与所述第一感测单元连接，用于对所述第一感测单元进行竖直范围移动；控制单元，分别与所述驱动装置以及所述第一感测单元连接；天车控制系统，分别与所述天车以及所述控制单元连接，用于在所述天车移动到对应的顶置缓冲器位置时向所述控制单元发送检测指令以及驱动指令，所述控制单元根据所述驱动指令控制所述驱动装置对所述第一感测单元进行竖直范围移动，以及根据所述检测指令控制所述第一感测单元在移动过程中扫描生成所述顶置缓冲器内各水平范围的检测数据，并将所述顶置缓冲器内各水平范围的检测数据发送给所述天车控制系统，所述天车控制系统根据所述顶置缓冲器内各水平范围的检测数据判断所述顶置缓冲器内是否有存在障碍物。2.根据权利要求1所述的顶置缓冲器二重搬入检测系统，其特征在于：所述驱动装置为丝杠机构；所述第一感测单元设置在所述丝杠机构的滑块上；所述控制单元通过对所述丝杠机构的马达进行驱动以实现所述滑块带动所述第一感测单元进行所述竖直范围移动。3.根据权利要求2所述的顶置缓冲器二重搬入检测系统，其特征在于，还包括：第二感测单元，连接所述控制单元，用于在所述第一感测单元移动到所述竖直范围的上限时输出第一感测信号；第三感测单元，连接所述控制单元，用于在所述第一感测单元移动到所述竖直范围的下限时输出第二感测信号；所述控制单元还用于根据所述第一感测信号以及所述第二感测信号控制所述第一感测单元从所述竖直范围的下限位置启动扫描，当移动到所述竖直范围的上限位置时结束扫描。4.根据权利要求3所述的顶置缓冲器二重搬入检测系统，其特征在于：所述第二感测单元以及所述第三感测单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦源章，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：