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顶置缓冲器二重搬入检测系统及方法技术方案
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文档序号:31154913
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本发明涉及一种顶置缓冲器二重搬入检测系统,其包括:天车;第一感测单元,用于扫描生成水平范围的检测数据;驱动装置,用于对第一感测单元进行竖直范围移动;控制单元;天车控制系统,用于在天车移动到对应的顶置缓冲器位置时向控制单元发送检测指令以及驱动...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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