一种下降式晶体生长坩埚制造技术

技术编号:31133679 阅读:16 留言:0更新日期:2021-12-01 20:30
本实用新型专利技术涉及晶体生长坩埚领域,更具体的说是一种下降式晶体生长坩埚。本下降式晶体生长坩埚可以将装置整体进行自动分离工作,能够便于装置的拆卸工作进行,同时便于清洁装置内部的工作进行。本装置的主要功能实现部分有结晶装置、移动结构和转动结构。其中移动结构设置在结晶装置上方,转动结构设置在结晶装置的左右两侧,转动结构与结晶装置转动连接。结晶装置主要提供晶体生长的反应场所,能够按照所需加工要求生长较大尺寸的晶体;移动结构主要可以将本装置的上盖与炉体相分离,使得操作人员便于对装置内部进行检修清洁工作;转动结构主要对本装置的其余工作结构进行承载支持作用,同时可以控制结晶炉体倾斜一定角度,从而进行倾倒工作。而进行倾倒工作。而进行倾倒工作。

【技术实现步骤摘要】
一种下降式晶体生长坩埚


[0001]本技术涉及晶体生长坩埚领域,更具体的说是一种下降式晶体生长坩埚。

技术介绍

[0002]例如公开号CN200780040210.1,该专利技术提出和描述了一种切克劳斯基型晶体生长的实现方式。更具体地,描述了一种具有合适的绝缘和流布置的熔炉,用于改善晶体生产的成本效率。这通过所描述的新的热区结构、气流和生长工艺来实现,其通过例如提供用于打开热区和方便地使所述热区适应新的晶体直径的装置而能够降低功耗,增加热区部件的寿命,并提高生产率。但是该专利技术不能够进行自动分离工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种下降式晶体生长坩埚,可以将装置整体进行自动分离工作。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现:
[0005]本下降式晶体生长坩埚的主要功能实现部分有结晶装置、移动结构和转动结构。其中移动结构设置在结晶装置上方,转动结构设置在结晶装置的左右两侧,转动结构与结晶装置转动连接。
[0006]本下降式晶体生长坩埚的结晶装置主要包括结晶炉体、转动支座和倾倒口。其中转动支座设置有两个,两个转动支座分别设置在结晶炉体的左右两侧,两个转动支座均与结晶炉体固定连接。倾倒口设置在结晶炉体前端,倾倒口与结晶炉体固定连接。
[0007]本下降式晶体生长坩埚的移动结构主要包括上盖体、石英棒、连接横板、伸缩连杆和连接支座。其中石英棒设置在上盖体上,石英棒与上盖体滑动连接,上盖体设置在结晶炉体上方,上盖体与结晶炉体滑动连接。石英棒设置在连接横板上,石英棒与连接横板滑动连接。伸缩连杆设置在连接横板下方,伸缩连杆与连接横板固定连接。连接支座设置在结晶炉体后侧,连接支座与结晶炉体固定连接。伸缩连杆设置在连接支座上方,伸缩连杆与连接支座滑动连接。移动结构中的上盖体通过一个连接杆固定设置在伸缩连杆上,
[0008]本下降式晶体生长坩埚的转动结构主要包括竖直连杆、轴承支座、转动轴和支撑底座。其中竖直连杆和轴承支座均设置有两个,两个轴承支座分别设置在两个竖直连杆上,两个轴承支座分别与两个竖直连杆固定连接。转动轴设置有两个,两个转动轴分别设置在两个轴承支座和两个转动支座上,两个转动轴分别与两个轴承支座转动连接,两个转动轴分别与两个转动支座固定连接。两个竖直连杆均设置在支撑底座上方,两个竖直连杆均与支撑底座固定连接。在竖直连杆与支撑底座上均设置有若干肋板。
[0009]本技术一种下降式晶体生长坩埚的有益效果为:
[0010]本下降式晶体生长坩埚可以将装置整体进行自动分离工作,能够便于装置的拆卸工作进行,同时便于清洁装置内部的工作进行。相对于一般的下降式坩埚采用人工或外部设备进行辅助装卸工作,本装置能够自动进行转动倾斜与炉体分离工作。本装置不仅有效
提升了工作效率,而且从加工环节上减小了对操作人员的安全隐患。综上所述,本装置工作原理简单、整体结构实用可靠、灵活性强,可以投入到实际生产使用中。
附图说明
[0011]下面结合附图和具体实施方法对本技术做进一步详细的说明。
[0012]图1以立体图示意性显示了本技术的总装图;
[0013]图2以立体图示意性显示了本技术的结晶装置;
[0014]图3以立体图示意性显示了本技术的移动结构;
[0015]图4以立体图示意性显示了本技术的转动结构;
[0016]图5以立体图示意性显示了本技术的装置转动示意图;
[0017]图6以立体图示意性显示了本技术的装置分离示意图;
[0018]图7以立体图示意性显示了本技术的盖体转动示意图。
[0019]图中:结晶装置11;移动结构12;转动结构13;结晶炉体21;转动支座 22;倾倒口23;上盖体31;石英棒32;连接横板33;伸缩连杆34;连接支座 35;竖直连杆41;轴承支座42;转动轴43;支撑底座44。
具体实施方式
[0020]具体实施方式将结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0021]根据本技术一种下降式晶体生长坩埚,实施方式结合图1至图7示出,其中可看出:
[0022]本下降式晶体生长坩埚可以将装置整体进行自动分离工作,能够便于装置的拆卸工作进行,同时便于清洁装置内部的工作进行。本装置的主要功能实现部分有结晶装置11、移动结构12和转动结构13。其中移动结构12设置在结晶装置11上方,转动结构13设置在结晶装置11的左右两侧,转动结构13与结晶装置11转动连接。结晶装置11主要提供晶体生长的反应场所,能够按照所需加工要求生长较大尺寸的晶体;移动结构12能够控制石英棒32进行竖直方向上的运动工作,移动结构12主要可以将本装置的上盖与炉体相分离,使得操作人员便于对装置内部进行检修清洁工作;转动结构13主要对本装置的其余工作结构进行承载支持作用,同时可以控制结晶炉体21倾斜一定角度,从而进行倾倒工作。
[0023]本下降式晶体生长坩埚的结晶装置11主要包括结晶炉体21、转动支座22 和倾倒口23。其中转动支座22设置有两个,两个转动支座22分别设置在结晶炉体21的左右两侧,两个转动支座22均与结晶炉体21固定连接。倾倒口23 设置在结晶炉体21前端,倾倒口23与结晶炉体21固定连接。本装置的主要结晶过程发生在结晶炉体21中,在结晶炉体21中原料放置在圆柱形坩埚中缓慢下降,而在下降过程中原材料会受到具有一定温度梯度的加热炉加热作用,其中移动结构12中的石英棒32竖直设置在坩埚内部。转动支座22主要负责对结晶炉体21进行连接支持作用,将结晶炉体21与转动结构13相接。倾倒口23 通常用于将装置内部的溶液倾倒出本装置,一般情况下与转动结构13配合完成工作。
[0024]本下降式晶体生长坩埚的移动结构12主要可以将本装置的上盖与炉体相分离,使得操作人员便于对装置内部进行检修清洁工作。移动结构12主要包括上盖体31、石英棒32、连接横板33、伸缩连杆34和连接支座35。其中石英棒32 设置在上盖体31上,石英棒32与上
盖体31滑动连接,上盖体31设置在结晶炉体21上方,上盖体31与结晶炉体21滑动连接。石英棒32设置在连接横板 33上,石英棒32与连接横板33滑动连接。伸缩连杆34设置在连接横板33下方,伸缩连杆34与连接横板33固定连接。连接支座35设置在结晶炉体21后侧,连接支座35与结晶炉体21固定连接。伸缩连杆34设置在连接支座35上方,伸缩连杆34与连接支座35滑动连接。移动结构12中的上盖体通过一个连接杆固定设置在伸缩连杆34上,当伸缩连杆34相对结晶炉体进行竖直方向上的运动时,上盖体31、石英棒32与连接横板33均被伸缩连杆34带动进行同步运动。当上盖体31上升至结晶炉体21上方一定距离时,伸缩连杆34可以相对连接支座35进行转动作用,带动上述工作元件远离结晶炉体21的上方,从而便于操作人员对装置内部进行检修清洁工作。移动结构12上的伸缩连杆34同时为本结构中的工作元件提供竖直方向上的运动本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种下降式晶体生长坩埚,包括结晶装置(11)、移动结构(12)和转动结构(13),其特征在于:所述移动结构(12)设置在结晶装置(11)上方,转动结构(13)设置在结晶装置(11)的左右两侧。2.根据权利要求1所述的一种下降式晶体生长坩埚,其特征在于:所述结晶装置(11)包括有结晶炉体(21)和转动支座(22),转动支座(22)设置有两个,两个转动支座(22)分别设置在结晶炉体(21)的左右两侧。3.根据权利要求2所述的一种下降式晶体生长坩埚,其特征在于:所述结晶装置(11)还包括有倾倒口(23),倾倒口(23)设置在结晶炉体(21)前端。4.根据权利要求3所述的一种下降式晶体生长坩埚,其特征在于:所述移动结构(12)包括有上盖体(31)和石英棒(32),石英棒(32)设置在上盖体(31)上,上盖体(31)设置在结晶炉体(21)上方。5.根据权利要求4所述的一种下降式晶体生长坩埚,其特征在于:所述移动结构(12)还包括有连接横板(33),石英棒(32)设置在连接横板(33)上。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:董家海
申请(专利权)人:浙江诺华陶瓷有限公司
类型:新型
国别省市:

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