本实用新型专利技术公开了一种用于光刻胶的回收过滤装置，包括底座、回收桶、过滤桶以及加压机构，底座的表面固定连接有过滤桶，过滤桶的底部设有排料口，过滤桶的内部固定连接有过滤组合板，过滤桶的顶部固定连接有回收桶，回收桶的内部设有离心轴，回收桶的侧壁固定连接有投料口，加压机构固定连接在过滤桶的外壁表面，加压机构包括气泵、储气罐以及单向阀，储气罐与过滤桶固定连接且端部固定连接有气泵。本实用新型专利技术通过在回收桶的内部设有离心轴，方便对回收的光刻胶进行初步的杂质分离，避免后续过滤时造成堵塞，通过在过滤桶的侧壁设有加压机构，提高过滤桶内部的压力，便于使光刻胶快速通过过滤组合板，提高光刻胶的过滤效率。提高光刻胶的过滤效率。提高光刻胶的过滤效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻胶的回收过滤装置
[0001]本技术涉及光刻设备
，具体为一种用于光刻胶的回收过滤装置。
技术介绍
[0002]掩膜版又称光掩膜版、光罩，由石英玻璃作为基板衬底，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是LCD等面板生产过程中不可或缺的重要部件，LCD面板厂用掩膜版进行曝光以获取其需求图形。
[0003]目前，市场中的光刻胶采用喷洒工艺时，容易造成多余的光刻胶浪费，因此多会对光刻胶进行回收再利用，由于光刻胶具有一定的黏度，现有的光刻胶回收装置对于光刻胶的过滤效率较低。为此，需要设计一种新的技术方案给予解决。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于光刻胶的回收过滤装置，解决了现有技术中回收装置对于光刻胶过滤效率较低的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于光刻胶的回收过滤装置，包括底座、回收桶、过滤桶以及加压机构，所述底座的表面固定连接有过滤桶，所述过滤桶的底部设有排料口，所述过滤桶的内部固定连接有过滤组合板，所述过滤桶的顶部固定连接有回收桶，所述回收桶的内部设有离心轴，所述回收桶的侧壁固定连接有投料口，所述加压机构固定连接在过滤桶的外壁表面，所述加压机构包括气泵、储气罐以及单向阀，所述储气罐与过滤桶固定连接且端部固定连接有气泵，所述储气罐与过滤桶之间连接有导管，所述导管与过滤桶的连接处设有单向阀。
[0006]作为上述技术方案的改进，所述过滤组合板包括过滤上板、内衬中网以及导流下板，所述过滤上板的表面开设有均匀分布的过滤孔，所述过滤孔的直径大于内衬中网的过滤间隙。
[0007]作为上述技术方案的改进，所述回收桶的顶部固定连接有电动机，所述电动机的输出端与离心轴固定连接。
[0008]作为上述技术方案的改进，所述回收桶的内壁呈锥形且边缘处固定连接有泡沫垫圈，所述回收桶底部固定连接有开关阀。
[0009]作为上述技术方案的改进，所述离心轴的表面固定连接有离心盘，所述离心盘的表面开设有环形分布的离心槽。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0011]本技术通过在回收桶的内部设有离心轴，方便对回收的光刻胶进行初步的杂质分离，避免后续过滤时造成堵塞，通过在过滤桶的侧壁设有加压机构，提高过滤桶内部的压力，便于使光刻胶快速通过过滤组合板，提高光刻胶的过滤效率。
附图说明
[0012]图1为本技术所述用于光刻胶的回收过滤装置半剖结构示意图；
[0013]图2为本技术所述过滤组合板剖视结构示意图。
[0014]图中：底座
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1，回收桶
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2，过滤桶
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3，加压机构
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4，排料口
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5，过滤组合板
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6，离心轴
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7，投料口
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8，气泵
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9，储气罐
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10，单向阀
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11，导管
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12，过滤上板
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13，内衬中网
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14，导流下板
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15，过滤孔
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16，电动机17，泡沫垫圈
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18，开关阀
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19，离心盘
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20，离心槽
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21。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0016]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：一种用于光刻胶的回收过滤装置，包括底座1、回收桶2、过滤桶3以及加压机构4，所述底座1的表面固定连接有过滤桶3，所述过滤桶3的底部设有排料口5，所述过滤桶3的内部固定连接有过滤组合板6，所述过滤桶3的顶部固定连接有回收桶2，所述回收桶2的内部设有离心轴7，所述回收桶2的侧壁固定连接有投料口8，所述加压机构4固定连接在过滤桶3的外壁表面，所述加压机构4包括气泵9、储气罐10以及单向阀11，所述储气罐10与过滤桶3固定连接且端部固定连接有气泵9，所述储气罐10与过滤桶3之间连接有导管12，所述导管12与过滤桶3的连接处设有单向阀11。
[0017]进一步改进地，所述过滤组合板6包括过滤上板13、内衬中网14以及导流下板15，所述过滤上板13的表面开设有均匀分布的过滤孔16，所述过滤孔16的直径大于内衬中网14的过滤间隙，通过采用不同孔径的过滤层，方便对光刻胶内含有的杂质进行充分过滤。
[0018]进一步改进地，所述回收桶2的顶部固定连接有电动机17，所述电动机17的输出端与离心轴7固定连接，通过在回收桶2的顶部固定连接有电动机17，方便带动离心轴7进行转动，从而将光刻胶分层离心甩出，便于将颗粒较大的杂质剔除。
[0019]进一步改进地，所述回收桶2的内壁呈锥形且边缘处固定连接有泡沫垫圈18，所述回收桶2底部固定连接有开关阀19，通过采用锥形的回收桶2，方便使离心后的光刻胶回流，同时能够避免光刻胶被甩出至泡沫垫圈18上。
[0020]具体改进地，所述离心轴7的表面固定连接有离心盘20，所述离心盘20的表面开设有环形分布的离心槽21，通过在离心轴7的表面固定连接有带离心槽21的离心盘20，方便对光刻胶进行离心甩出。
[0021]本技术的底座
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1、回收桶
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2、过滤桶
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3、加压机构
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4、排料口
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5、过滤组合板
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6、离心轴
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7、投料口
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8、气泵
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9、储气罐
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10、单向阀
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11、导管
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12、过滤上板
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13、内衬中网
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14、导流下板
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15、过滤孔
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16、电动机17、泡沫垫圈
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18、开关阀
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19、离心盘
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20、离心槽
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21，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件、其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术通过在回收桶2的内部设有离心轴7，方便对回收的光刻胶进行初步的杂质分离，避免后续过滤时造成堵塞，通过在过滤桶3的侧壁设有加压机构4，提高过滤桶3内部的压力，便于使光刻胶快速通过过滤组合板6，提高光刻胶的过滤效率。
[0022]本技术在使用时，将生产中回收的光刻胶通过投料口8倒入回收桶2内，电动机17带动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶的回收过滤装置，包括底座（1）、回收桶（2）、过滤桶（3）以及加压机构（4），其特征在于：所述底座（1）的表面固定连接有过滤桶（3），所述过滤桶（3）的底部设有排料口（5），所述过滤桶（3）的内部固定连接有过滤组合板（6），所述过滤桶（3）的顶部固定连接有回收桶（2），所述回收桶（2）的内部设有离心轴（7），所述回收桶（2）的侧壁固定连接有投料口（8），所述加压机构（4）固定连接在过滤桶（3）的外壁表面，所述加压机构（4）包括气泵（9）、储气罐（10）以及单向阀（11），所述储气罐（10）与过滤桶（3）固定连接且端部固定连接有气泵（9），所述储气罐（10）与过滤桶（3）之间连接有导管（12），所述导管（12）与过滤桶（3）的连接处设有单向阀（11）。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的回收过滤装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙俊鹏，程小飞，傅姿，
申请(专利权)人：上海函泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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