本实用新型专利技术属于集成电路技术领域，尤其是一种集成电路可靠性分析测试装置，针对现有的检修的问题，现提出如下方案，其包括外壳，所述外壳的一侧开设有检修口，外壳靠近检修口的一侧开设有凹槽，凹槽内滑动安装有竖杆，竖杆的一侧开设有第一滑动槽，第一滑动槽内滑动安装有第一滑动块，第一滑动块的一端延伸至第一滑动槽内，第一滑动块的另一端延伸至第一滑动槽外，第一滑动块延伸至第一滑动槽外的一端固定安装有挡板，且挡板与检修口相适配。本实用新型专利技术将盖板通过限位杆和第一滑动块与外壳进行固定连接，极大地降低了检修的时间，从而提高效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路可靠性分析测试装置
[0001]本技术涉及集成电路
，尤其涉及一种集成电路可靠性分析测试装置。
技术介绍
[0002]超大规模集成电路中的通孔有两种，一种位于栅极之上，一种位于有源区之上。随着特征尺寸缩小，使得有源区上的通孔与相邻栅极之间的距离越来越短，当通电后，源区上的通孔与相邻栅极之间的电介质击穿。
[0003]申请号为CN201210592644.5的专利公开了一种集成电路的可靠性分析测试结构，该测试结构包括：衬底，包含有源区和隔离区，具有一栅极、通孔和一互连线的n级待测结构，测试电压端以及电介质，所述通孔位于所述隔离区上。本专利技术还揭示了该测试结构的测试方法，包括：根据所述的测试结构实际形成待测试结构；对所述待测结构施加电压使所述待测结构失效，所述测试电压端接入测试电压，所述有源区和每一级的所述节点均接地，直到所述待测结构失效；测试所述待测结构的失效位置，所述测试电压端接入工作电压，分别使所述有源区和每一级的所述节点接地。本专利技术的测试结构能准确评估有源区上的通孔与相邻栅极之间电介质的可靠性。
[0004]然而，该专利在长时间的工作时，内部会产生大量的热，导致内部有所损坏，该专利的外壳打开方式复杂，大大的降低了检修的效率。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种集成电路可靠性分析测试装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种集成电路可靠性分析测试装置，包括外壳，所述外壳的一侧开设有检修口，外壳靠近检修口的一侧开设有凹槽，凹槽内滑动安装有竖杆，竖杆的一侧开设有第一滑动槽，第一滑动槽内滑动安装有第一滑动块，第一滑动块的一端延伸至第一滑动槽内，第一滑动块的另一端延伸至第一滑动槽外，第一滑动块延伸至第一滑动槽外的一端固定安装有挡板，且挡板与检修口相适配。
[0008]优选的，所述外壳靠近检修口的一侧开设有限位槽，限位槽内滑动安装有限位杆，限位杆的一端与挡板的一侧固定连接。
[0009]优选的，所述凹槽的一侧内壁上开设有通孔，通孔内滑动安装有横杆，横杆的一端延伸至凹槽内，横杆的另一端延伸至外壳内，横杆延伸至凹槽内的一端与竖杆的一侧固定连接，横杆的顶部固定安装有短杆，短杆的一侧与外壳的一侧内壁上固定安装有同一个第一弹簧。
[0010]优选的，所述第一滑动槽的一侧内壁上开设有滑动孔，滑动孔内滑动安装有滑动杆，且滑动杆呈L型结构，滑动杆的底部固定安装有第二弹簧的一端，第二弹簧的另一端与
滑动孔的底部内壁上固定连接。
[0011]优选的，所述凹槽的一侧内壁上开设有第二滑动槽，第二滑动槽内滑动安装有第二滑动块，第二滑动块上固定安装有档杆。
[0012]优选的，所述第二滑动块的底部固定安装有第三弹簧的一端，第三弹簧的另一端与第二滑动槽的底部内壁上固定连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术中，所述一种集成电路可靠性分析测试装置，当需要检修的时候，首先滑动横杆，横杆带动竖杆，竖杆带动第一滑动槽，第一滑动槽带动第一滑动块，第一滑动块带动挡板，挡板带动限位杆，限位杆脱离限位槽，然后滑动挡板，从而达到检修的目的。
[0015]本技术将盖板通过限位杆和第一滑动块与外壳进行固定连接，极大地降低了检修的时间，从而提高效率。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种集成电路可靠性分析测试装置的正面结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种集成电路可靠性分析测试装置的A部分结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种集成电路可靠性分析测试装置的B部分结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的一种集成电路可靠性分析测试装置的C部分结构示意图。
[0020]图中：1外壳、2检修口、3凹槽、4竖杆、5第一滑动槽、6第一滑动块、7挡板、8限位槽、9限位杆、10通孔、11横杆、12短杆、13第一弹簧、14滑动孔、15滑动杆、16第二滑动槽、17第二滑动块、18档杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]实施例一
[0023]参照图1
‑
4，一种集成电路可靠性分析测试装置，包括外壳1，外壳1的一侧开设有检修口2，外壳1靠近检修口2的一侧开设有凹槽3，凹槽3内滑动安装有竖杆4，竖杆4的一侧开设有第一滑动槽5，第一滑动槽5内滑动安装有第一滑动块6，第一滑动块6的一端延伸至第一滑动槽5内，第一滑动块6的另一端延伸至第一滑动槽5外，第一滑动块6延伸至第一滑动槽5外的一端固定安装有挡板7，且挡板7与检修口2相适配，第一滑动槽5用于滑动。
[0024]本技术中，外壳1靠近检修口2的一侧开设有限位槽8，限位槽8内滑动安装有限位杆9，限位杆9的一端与挡板7的一侧固定连接，限位杆9用于固定。
[0025]本技术中，凹槽3的一侧内壁上开设有通孔10，通孔10内滑动安装有横杆11，横杆11的一端延伸至凹槽3内，横杆11的另一端延伸至外壳1内，横杆11延伸至凹槽3内的一端与竖杆4的一侧固定连接，横杆11的顶部固定安装有短杆12，短杆12的一侧与外壳1的一侧内壁上固定安装有同一个第一弹簧13。
[0026]本技术中，第一滑动槽5的一侧内壁上开设有滑动孔14，滑动孔14内滑动安装有滑动杆15，且滑动杆15呈L型结构，滑动杆15的底部固定安装有第二弹簧的一端，第二弹
簧的另一端与滑动孔14的底部内壁上固定连接，滑动杆15用于滑动。
[0027]本技术中，凹槽3的一侧内壁上开设有第二滑动槽16，第二滑动槽16内滑动安装有第二滑动块17，第二滑动块17上固定安装有档杆18，第二滑动块17用于滑动。
[0028]本技术中，第二滑动块17的底部固定安装有第三弹簧的一端，第三弹簧的另一端与第二滑动槽16的底部内壁上固定连接。
[0029]实施例二
[0030]一种集成电路可靠性分析测试装置，包括外壳1，外壳1的一侧凿有检修口2，外壳1靠近检修口2的一侧凿有凹槽3，凹槽3内滑动安装有竖杆4，竖杆4的一侧凿有第一滑动槽5，第一滑动槽5内滑动安装有第一滑动块6，第一滑动块6的一端延伸至第一滑动槽5内，第一滑动块6的另一端延伸至第一滑动槽5外，第一滑动块6延伸至第一滑动槽5外的一端固定焊接有挡板7，且挡板7与检修口2相适配。
[0031]本技术中，外壳1靠近检修口2的一侧凿有限位槽8，限位槽8内滑动安装有限位杆9，限位杆9的一端与挡板7的一侧固定连接。
[0032]本技术中，凹槽3的一侧内壁上凿有通孔10，通孔10内滑动安装有横杆11，横杆11的一端延伸至凹槽3内，横杆本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路可靠性分析测试装置，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)的一侧开设有检修口(2)，外壳(1)靠近检修口(2)的一侧开设有凹槽(3)，凹槽(3)内滑动安装有竖杆(4)，竖杆(4)的一侧开设有第一滑动槽(5)，第一滑动槽(5)内滑动安装有第一滑动块(6)，第一滑动块(6)的一端延伸至第一滑动槽(5)内，第一滑动块(6)的另一端延伸至第一滑动槽(5)外，第一滑动块(6)延伸至第一滑动槽(5)外的一端固定安装有挡板(7)，且挡板(7)与检修口(2)相适配。2.根据权利要求1所述的一种集成电路可靠性分析测试装置，其特征在于，所述外壳(1)靠近检修口(2)的一侧开设有限位槽(8)，限位槽(8)内滑动安装有限位杆(9)，限位杆(9)的一端与挡板(7)的一侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种集成电路可靠性分析测试装置，其特征在于，所述凹槽(3)的一侧内壁上开设有通孔(10)，通孔(10)内滑动安装有横杆(11)，横杆(11)的一端延伸至凹槽(3)内，横杆(11)的另一端延伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘海波，
申请(专利权)人：瑞浦科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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