一种集成电路制造的数据处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于集成电路领域，尤其是一种集成电路制造的数据处理装置，针对现有的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶侧固定安装有装置壳体，且壳体的一侧滑动安装有检修板，所述底座的内部开设有空腔，且空腔一侧的内壁上固定安装有转轴，转轴上转动安装有翘杆，所述翘杆的顶侧转动安装有T型踏板，所述壳体的底侧开设有凹槽，且凹槽内滑动安装有楔块，所述空腔顶侧的内壁上开设有竖孔，且竖孔内滑动安装有顶杆，本实用新型专利技术解决了现有技术中的缺点，取代了以往螺丝连接的封闭式壳体，使得人们能够更加简单便捷地将检修板打开，便于对内部元器件检修。便于对内部元器件检修。便于对内部元器件检修。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路制造的数据处理装置


[0001]本技术涉及集成电路
，尤其涉及一种集成电路制造的数据处理装置。

技术介绍

[0002]在半导体生产过程中，计算机集成制造系统是进行半导体生产的基础，而数据收集则是计算机集成电路制造系统的基础。通过对采集的数据进行初步的分析和监测，可以判断生产过程中的机台是否正常工作，并根据数据的结果查找问题，以便于及时调整生产的参数。然而随着半导体生产过程的复杂化，需要对生产过程进行更加精细的控制。
[0003]现有的数据处理装置是由螺丝安装成的封闭式壳体，壳体内部有很多工作的元器件，数据处理装置经历长时间使用后需要定期将壳体打开进行检修工作，这种封闭式壳体不便于检修工作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种集成电路制造的数据处理装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种集成电路制造的数据处理装置，包括底座，所述底座的顶侧固定安装有装置壳体，且壳体的一侧滑动安装有检修板，所述底座的内部开设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路制造的数据处理装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶侧固定安装有装置壳体(2)，且壳体(2)的一侧滑动安装有检修板(3)，所述底座(1)的内部开设有空腔(7)，且空腔(7)一侧的内壁上固定安装有转轴(8)，转轴(8)上转动安装有翘杆(9)，所述翘杆(9)的顶侧转动安装有T型踏板(11)，所述壳体(2)的底侧开设有凹槽(12)，且凹槽(12)内滑动安装有楔块(13)，所述空腔(7)顶侧的内壁上开设有竖孔(15)，且竖孔(15)内滑动安装有顶杆(16)，所述顶杆(16)的顶端转动安装有导向轮(17)，且导向轮(17)与楔块(13)相接触，所述翘杆(9)的一侧开设有矩形孔(18)，所述检修板(3)的一侧开设有卡槽(20)，所述楔块(13)的一侧固定安装有卡杆(21)，且卡杆(21)与卡槽(20)相适配。2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造的数据处理装置，其特征在于，所述检修板(3)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海波，
申请(专利权)人：瑞浦科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：