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本实用新型属于集成电路领域，尤其是一种集成电路制造的数据处理装置，针对现有的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶侧固定安装有装置壳体，且壳体的一侧滑动安装有检修板，所述底座的内部开设有空腔，且空腔一侧的内壁上固定安装有转轴，转轴上...
该专利属于瑞浦科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞浦科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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