一种半导体耐高温涂层石墨基座制造技术

技术编号:31104928 阅读:17 留言:0更新日期:2021-12-01 19:24
本实用新型专利技术公开了一种半导体耐高温涂层石墨基座,包括基座,所述基座的上表面开设有十四组穴位,且基座通过穴位的下表面固定安装有安装块,所述基座通过穴位的两次外壁均固定安装有压缩弹簧,且相邻两组压缩弹簧相互靠近的一端均固定安装有挡板,所述挡板的上下表面均活动安装有导向板,且两组导向板相互靠近的一侧外壁均固定安装有硅胶垫,所述基座的下表面固定安装有固定块,且固定块的前后表面均固定安装有两组垫板。本实用新型专利技术所述的一种半导体耐高温涂层石墨基座,有效的增加基座应用穴位,大大提高效率,同时在保证其稳定性的情况下,可根据不同场合自由调节其基座的高度,增加其灵活性和适配性。加其灵活性和适配性。加其灵活性和适配性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体耐高温涂层石墨基座


[0001]本专利涉及光刻机石墨基座设计领域。通过改变基座的设计结构,提高产能效率。

技术介绍

[0002]随着半导体行业在国内的广泛应用;光刻相关的配件应用也在不断改良,石墨基座的改良,也在不断更替。
[0003]传统的石墨基座在使用时只有一个穴位,从而极大程度是影响了光刻效率,同时其高度无法进行调节,在部分情况下无法进行使用。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种半导体耐高温涂层石墨基座,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
[0006]一种半导体耐高温涂层石墨基座,包括基座,所述基座的上表面开设有十四组穴位,且基座通过穴位的下表面固定安装有安装块,所述基座通过穴位的两次外壁均固定安装有压缩弹簧,且相邻两组压缩弹簧相互靠近的一端均固定安装有挡板,所述挡板的上下表面均活动安装有导向板,且两组导向板相互靠近的一侧外壁均固定安装有硅胶垫,所述基座的下表面固定安装有固定块,且固定块的前后表面均固定安装有两组垫板,相邻两组所述垫板的前后表面位置之间活动安装有连接杆,且连接杆的前后端均活动安装有端帽,所述连接杆的一侧外壁固定安装有支撑板,且相邻两组垫板的外表面位置之间固定安装有限位板,所述支撑板的下表面固定安装有滑块,且若干组滑块的下表面位置之间活动安装有承重板。
[0007]优选的,十四组所述穴位均与分布,且基座和挡板均与压缩弹簧垂直分布。
[0008]优选的,所述导向板与基座活动连接,且导向板与挡板之间活动范围为七十五度至一百八十度。
[0009]优选的,所述连接杆与垫板垂直贯穿连接,且端帽与垫板活动连接。
[0010]优选的,所述承重板的上表面开设有滑槽,且滑块位于滑槽内部。
[0011]优选的,所述支撑板与承重板之间活动范围为三十度至六十度,且支撑板与限位板活动贯穿连接。
[0012]与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:
[0013]1、基座开设有十四组穴位,由传统的1个穴位改良为14个穴位,从而大大提升了其光刻的效率。
[0014]2、基座通过固定块和支撑板与承重板活动连接,可拉动支撑板,使得支撑板在滑块的作用下沿滑槽滑动,从而改变其支撑板于固定块之间的夹角大小,即可对基座的高度进行调节,在调节至事宜位置时,将有限位板对支撑板的位置进行限定,而两组支撑板和滑槽形状的三角结构使其稳定性得以增加。
附图说明
[0015]图1为本技术一种半导体耐高温涂层石墨基座的整体结构示意图;
[0016]图2为本技术一种半导体耐高温涂层石墨基座中安装块的连接示意图;
[0017]图3为本技术一种半导体耐高温涂层石墨基座中的支撑组件结构示意图;
[0018]图4为本技术一种半导体耐高温涂层石墨基座中的挡板连接示意图。
[0019]图中:1、基座;2、穴位;3、安装块;4、压缩弹簧;5、挡板、6、导向板;7、硅胶垫;8、固定块;9、垫板;10、连接杆;11、端帽;12、支撑板;13、限位板;14、滑块;15、承重板。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本技术。
[0021]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体的情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如图1

4所示,一种半导体耐高温涂层石墨基座,包括基座1,基座1的上表面开设有十四组穴位2,且基座1通过穴位2的下表面固定安装有安装块3,基座1通过穴位2的两次外壁均固定安装有压缩弹簧4,且相邻两组压缩弹簧4相互靠近的一端均固定安装有挡板5,挡板5的上下表面均活动安装有导向板6,且两组导向板6相互靠近的一侧外壁均固定安装有硅胶垫7,基座1的下表面固定安装有固定块8,且固定块8的前后表面均固定安装有两组垫板9,相邻两组垫板9的前后表面位置之间活动安装有连接杆10,且连接杆10的前后端均活动安装有端帽11,连接杆10的一侧外壁固定安装有支撑板12,且相邻两组垫板9的外表面位置之间固定安装有限位板13,支撑板12的下表面固定安装有滑块14,且若干组滑块14的下表面位置之间活动安装有承重板15。
[0024]十四组穴位2均与分布,且基座1和挡板5均与压缩弹簧4垂直分布,增加了穴位2的数量,使其产能效率得以提高。
[0025]导向板6与基座1活动连接,且导向板6与挡板5之间活动范围为七十五度至一百八十度,使得不同物体放入穴位2时,都与硅胶垫7相接触,从而将其位置进行固定。
[0026]连接杆10与垫板9垂直贯穿连接,且端帽11与垫板9活动连接,端帽11将连接杆10的位置进行固定,避免其工作时发生偏移,从而增加其稳定性。
[0027]承重板15的上表面开设有滑槽,且滑块14位于滑槽内部,在调节石墨基座高度时,滑槽将对滑块14的运动轨迹进行限定,从而避免倾斜情况的发生。
[0028]支撑板12与承重板15之间活动范围为三十度至六十度,且支撑板12与限位板13活
动贯穿连接,可根据支撑板12与承重板15之间的夹角,对整体高度进行调节,从而增加其灵活性及适配性。
[0029]需要说明的是,在使用前将承重板15放置于地面,使得基座1水平放置,即可将物品放置于两组硅胶垫7之间与安装块3相接触,此时压缩弹簧4将受力发生形变缩短,从而其反作用力将通过挡板5作用于硅胶垫7上,从而对其位置进行固定,而十四组穴位2可极大的提高产能效率,此时可拉动支撑板12,使得支撑板12在滑块14的作用下沿滑槽滑动,从而改变其支撑板12与固定块8之间的夹角大小,即可对基座1的高度进行调节,在调节至事宜位置时,将有限位板13对支撑板12的位置进行限定,而两组支撑板12和承重板15形状的三角结构使其稳定性得以增加。本技术为一种半导体耐高温涂层石墨基座,有效的增加基座应用穴位,大大提高效率,同时在保证其稳定性的情况下,可根据不同场合自由调节其基座的高度,增加其灵活性和适配性。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体耐高温涂层石墨基座,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的上表面开设有十四组穴位(2),且基座(1)通过穴位(2)的下表面固定安装有安装块(3),所述基座(1)通过穴位(2)的两次外壁均固定安装有压缩弹簧(4),且相邻两组压缩弹簧(4)相互靠近的一端均固定安装有挡板(5),所述挡板(5)的上下表面均活动安装有导向板(6),且两组导向板(6)相互靠近的一侧外壁均固定安装有硅胶垫(7),所述基座(1)的下表面固定安装有固定块(8),且固定块(8)的前后表面均固定安装有两组垫板(9),相邻两组所述垫板(9)的前后表面位置之间活动安装有连接杆(10),且连接杆(10)的前后端均活动安装有端帽(11),所述连接杆(10)的一侧外壁固定安装有支撑板(12),且相邻两组垫板(9)的外表面位置之间固定安装有限位板(13),所述支撑板(12)的下表面固定安装有滑块(14),且若干组滑块(14)的下表面...

【专利技术属性】
技术研发人员:庞广宇
申请(专利权)人:广东东麟碳素科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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