提供一种掩模组件。根据一实施例的掩模组件包括：掩模框架，包括框架开口部；以及分割掩模，结合于掩模框架，包括与框架开口部重叠的多个沉积图案部，并且沿第一方向延伸，其中，多个沉积图案部中的每一个包括：第一开口区域，包括具有第一宽度的第一开口部；以及第二开口区域，包括具有比第一宽度小的第二宽度的第二开口部，其中，分割掩模在第一开口区域具有第一厚度并在第二开口区域具有比第一厚度小的第二厚度，第二厚度大于第一厚度乘以第二宽度与第一宽度的比率的值。与第一宽度的比率的值。与第一宽度的比率的值。
【技术实现步骤摘要】
掩模组件
[0001]本专利技术涉及一种掩模组件。
技术介绍
[0002]作为平板显示装置，液晶显示器(LCD)和有机发光显示装置(OLED)正被广泛使用。平板显示装置包括特定图案的金属层，并且在有机发光显示装置的情况下，在每个像素形成特定图案的有机发光层。作为形成金属层和有机发光层的方法可以应用利用掩模组件的沉积法。
[0003]掩模组件包括：掩模，形成有与金属层或有机发光层的图案对应的开口部；掩模框架，支撑掩模。在分割掩模方式中，掩模被分割为以棒状构成的多个分割掩模，每个分割掩模在沿长度方向拉伸的状态下利用焊接固定于掩模框架。
[0004]另外，随着包括于一个有机发光显示装置的像素的大小多样化，与此对应，需要包括于一个掩模组件的开口部的形状的多样化。
技术实现思路
[0005]本专利技术所要解决的课题是提供一种能够将沉积物质稳定地沉积于基板的掩摸组件。
[0006]本专利技术的课题并不局限于以上所提及的技术问题，未提及的其他技术课题可以通过以下内容使本领域技术人员明确地理解。
[0007]用于解决上述技术课题的根据一实施例的一种掩模组件包括：掩模框架，包括框架开口部；以及分割掩模，结合于所述掩模框架，包括与所述框架开口部重叠的多个沉积图案部，并且沿第一方向延伸，其中，所述多个沉积图案部中的每一个包括：第一开口区域，包括具有第一宽度的第一开口部；以及第二开口区域，包括具有比所述第一宽度小的第二宽度的第二开口部，其中，所述分割掩模在所述第一开口区域具有第一厚度并在所述第二开口区域具有比所述第一厚度小的第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度乘以所述第二宽度与所述第一宽度的比率的值。
[0008]所述第一开口部可以包括形成于内部并朝内侧突出的第一突出部，所述第二开口部可以包括形成于内部并朝内侧突出的第二突出部。
[0009]在所述第一开口区域，所述分割掩模可以具有从所述分割掩模的上表面至所述第一突出部的第一上部厚度，并可以具有从所述第一突出部至所述分割掩模的下表面的第一下部厚度，其中，所述第一上部厚度可以小于所述第一下部厚度。
[0010]所述第一上部厚度可以是所述第一厚度的0.2倍以下。
[0011]在所述第二开口区域，所述分割掩模可以具有从所述分割掩模的上表面至所述第二突出部的第二上部厚度，并可以具有从所述第二突出部至所述分割掩模的下表面的第二下部厚度，其中，所述第二上部厚度可以小于所述第二下部厚度。
[0012]所述第二上部厚度可以是所述第二厚度的0.2倍以下。
[0013]所述第一上部厚度可以大于所述第二上部厚度，所述第一下部厚度可以大于所述第二下部厚度。
[0014]所述第二开口区域可以被所述第一开口区域所围绕而布置。
[0015]所述多个沉积图案部可以沿所述分割掩模的延伸方向排列。
[0016]所述分割掩模在所述第一方向上的一端以及另一端可以固定于所述掩模框架
[0017]其他实施例的具体事项包括于详细的说明以及附图。
[0018]根据一实施例的掩模组件，掩模可以按区域包括多种尺寸的开口部，并且可以具有较高的强度。并且，所述掩模可以根据开口部尺寸而按区域具有不同的厚度。因此，可以将沉积物质稳定地沉积于沉积物质以多种尺寸沉积的对象基板。
[0019]根据本专利技术的实施例的效果并不局限于以上举例示出的内容，更加多样的效果包括在本说明书内。
附图说明
[0020]图1是示出根据一实施例的显示装置的立体图。
[0021]图2是示出根据一实施例的显示装置的展开图。
[0022]图3是图2的A区域的放大图。
[0023]图4是图2的B区域的放大图。
[0024]图5是示意性地示出根据一实施例的显示装置的剖视图。
[0025]图6是示意性地示出根据一实施例的沉积装置的图。
[0026]图7是示意性地示出根据一实施例的掩模组件的立体图。
[0027]图8是示意性地示出根据一实施例的分割掩模的平面图。
[0028]图9是沿图8的IX
‑
IX'切割的剖视图。
[0029]图10是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
[0030]图11至图13是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的剖视图。
[0031]图14是示意性地示出根据另一实施例的分割掩模的平面图。
[0032]图15是示意性地示出根据又一实施例的分割掩模的平面图。
[0033]附图标记说明
[0034]1：显示装置
[0035]100：掩模组件
[0036]130：掩模框架
[0037]140：分割掩模
[0038]142：固定部
[0039]144：沉积图案部
[0040]146：肋部
[0041]H1：第一开口部
[0042]H2：第二开口部
[0043]HA1：第一开口区域
[0044]HA2：第二开口区域
具体实施方式
[0045]参照与附图一起详细后述的实施例，可以明确本专利技术的优点和特征以及达成这些的方法。然而本专利技术可以实现为互不相同的多种形态，并不限于以下公开的实施例，只是本实施例仅用于使本专利技术的公开完整，并为了向本专利技术所属
中具有普通知识的人完整地告知专利技术范围而提供，本专利技术仅由权利要求的范围而被定义。
[0046]提及元件(elements)或者层在其他元件或者层“上(on)”的情形包括在其他元件的紧邻的上方的情形以及在中间夹设有其他层或者其他元件的情形的全部情形。贯穿整个说明书，相同附图标记指代相同的构成要素。
[0047]虽然第一、第二等用于叙述多种构成要素，但这些构成要素显然不受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分。因此，以下提及的第一构成要素在本专利技术的技术思想内，显然也可以是第二构成要素。
[0048]以下，参照附图对具体实施例进行说明。
[0049]图1是示出根据一实施例的显示装置的立体图。图2是示出根据一实施例的显示装置的展开图。图3是图2的A区域的放大图。图4是图2的B区域的放大图。
[0050]参照图1至图4，根据一实施例的显示装置1可以应用于诸如移动电话(mobile phone)、智能电话(smart phone)、平板计算机(tablet personal computer)、移动通信终端、电子记事本、电子书、便携式多媒体播放器(PMP：portable multimedia player)、导航仪、超便携式电脑(UMPC：Ultra Mobile PC)等便携式电子设备。并且，显示装置1可以应用为电视、笔记本计算机、监视器、广告板或物联网(IOT：internet of things)的显示部。并且，显示装置1可以应用于诸如智能手表(smart watch)、手表电话(watch phone)、眼镜型显示器及头戴式本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模组件，包括：掩模框架，包括框架开口部；以及分割掩模，结合于所述掩模框架，包括与所述框架开口部重叠的多个沉积图案部，并且沿第一方向延伸，其中，所述多个沉积图案部中的每一个包括：第一开口区域，包括具有第一宽度的第一开口部；以及第二开口区域，包括具有比所述第一宽度小的第二宽度的第二开口部，其中，所述分割掩模在所述第一开口区域具有第一厚度并在所述第二开口区域具有比所述第一厚度小的第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度乘以所述第二宽度与所述第一宽度的比率的值。2.如权利要求1所述的掩模组件，其中，所述第一开口部包括形成于内部并朝内侧突出的第一突出部，所述第二开口部包括形成于内部并朝内侧突出的第二突出部。3.如权利要求2所述的掩模组件，其中，在所述第一开口区域，所述分割掩模具有从所述分割掩模的上表面至所述第一突出部的第一上部厚度，并具有从所述第一突出部至所述分割掩模的下表面的第一下部厚度，其中，所述第一上部厚度小...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴相河，郑茶姬，黄圭焕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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