一种电子气体的自动检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及气体检测技术领域，公开的一种电子气体的自动检测装置，包括：气体检测传感器、摄像头、微处理器、执行机构、终端发送器，所述气体检测传感器与微处理器信号输入端连接，用于将检测信号对比处理；微处理器控制端通过执行机构与摄像头连接，用于启动摄像头工作；摄像头音视频端通过音视频线微处理器音视频端连接；微处理器输出端与用于向上位机传输信息的终端发送器连接。本实用新型专利技术通过气体检测传感器发现异常，短视频展现异常环境，能够使工作人员快速找到异常环境位置，进行及时处理。其结构简单，生产成本低，操作方便，使用效果好。效果好。效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种电子气体的自动检测装置


[0001]本技术涉及气体检测
，尤其涉及一种电子气体的自动检测装置。

技术介绍

[0002]目前，半导体工业用的气体统称电子气体。电子气体是特种气体，如蚀刻气体为氟化物气体，三氟甲烷是一种无色、微味，不导电的低温（
‑
100℃）气体，纯度达99.999%，如还有五氟乙烷C2HF5蚀刻气体，当蚀刻气体发生泄漏，容易造成浪费，增加生产成本，同时对现场局部环境维护的工作者，造成窒息及冻伤的伤害。为此需要一种对电子气体重要部位及局部环境进行精准检测。

技术实现思路

[0003]本技术目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种电子气体的自动检测装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种电子气体的自动检测装置，包括：气体检测传感器、摄像头、微处理器、执行机构、终端发送器，所述气体检测传感器与微处理器信号输入端连接，用于将检测信号对比处理；微处理器控制端通过执行机构与摄像头连接，用于启动摄像头工作；摄像头音视频端通过音视频线微处理器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子气体的自动检测装置，其特征是：包括：气体检测传感器（1）、摄像头（2）、微处理器（3）、执行机构（4）、终端发送器（5），所述气体检测传感器（1）与微处理器（3）信号输入端连接，用于将检测信号对比处理；微处理器（3）控制端通过执行机构4与摄像头（2）连接，用于启动摄像头（2）工作；摄像头（2）音视频端通过音视频线微处理器（3）音视频端连接；微处理器（3）输出端与用于向上位机传输信息的终端发送器（5）连接。2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐志宽，刘文丽，李飞娥，王俊果，郭帅杰，韩列光，姬文博，刘乐通，
申请(专利权)人：伊川湄格气体有限公司，
类型：新型
国别省市：