【技术实现步骤摘要】
一种电子气体纯度分析检测控制装置
[0001]本技术涉及气体纯度分析
，尤其涉及一种电子气体纯度分析检测控制装置。
技术介绍
[0002]目前，半导体工业用的气体统称电子气体，电子气体如氟化物蚀刻气体，要求纯度达99.999%，才能满足半导体刻蚀二氧化硅的工艺。当电子气体的纯度不够，就未达到半导体行业的使用要求，为此需要对灌装的电子气体进行纯度分析检测。
技术实现思路
[0003]本技术目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种电子气体纯度分析检测控制装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种电子气体纯度分析检测控制装置，包括：气源接口、气体冷凝调压器，气体分析控制仪，所述气源接口通过气体冷凝调压器与气体分析控制仪连通；气体分析控制仪第一控制端分别与气体冷凝调压器输出端管道连接的电磁阀及气体冷凝调压器相连；气体分析控制仪气体尾端通过管路与尾气过滤器连通。
[0006]一种电子气体纯度分析检测控制装置，所述气体冷凝调压器由调压泵和冷疑器串联...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子气体纯度分析检测控制装置，其特征是：包括：气源接口（1）、气体冷凝调压器（2），气体分析控制仪（3），所述气源接口（1）通过气体冷凝调压器（2）与气体分析控制仪（3）连通；气体分析控制仪（3）第一控制端分别与气体冷凝调压器（2）输出端管道连接的电磁阀（5）及气体冷凝调压器（2）相连；气体分析控制仪（3）气体尾端通过管路与尾气过滤器（4）连通。2.根据权利要求1所述的一种电子气体纯度分析检测控...
【专利技术属性】
技术研发人员：李飞娥，刘文丽，王俊果，郭帅杰，韩列光，姬文博，刘乐通，
申请(专利权)人：伊川湄格气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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