线圈架制造技术

一种线圈架（１）包括多个陶瓷片（２），该多个陶瓷片布置成在第一及第二端部（４，５）之间形成叠层体（３）；每一陶瓷片在其内具有开口，使得当将这些陶瓷片布置成叠层体时，在该第一及第二端部之间限定了通道（７）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种线圈架(coil former)。
技术介绍
在带电粒子束系统(例如电子束光刻系统)中，线圈是被用来使带 电粒子束偏转及聚焦。该线圈是装设在含有陶瓷或塑料材料等电绝缘材 料的线圏架上。在GB-A-2389225中描述了 一种线圏架是由高强度、非磁性及不导 电的陶瓷材料制成，该材料具有高的导热性以及低的热膨胀系数。但是， 只有极少数的具有适当磁、电及热特性的陶瓷能被使用，这是因为它们 不能被可靠地机械加工成复杂的形状而没有破裂。能被这样机械加工的 合适陶瓷(如SHAPAL-M (注册商标))价格昂贵。总之，即使陶资材 料能被机械加工，但依然难于将其机械加工成复杂的形状。本专利技术设法改善至少 一 些这样的缺陷。
技术实现思路
按照本专利技术提供了 一种叠层式陶瓷线圏架。该线圈架可包括多个陶资片，该多个陶乾片布置成在第一及第二端 部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内具有开口 ，使得当将这些陶瓷片 布置成叠层体时，在该第一及第二端部之间限定了通道。按照本专利技术还提供了一种线圏架，该线圈架包括多个陶瓷片，该多 个陶资片布置成在第一及第二端部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内 具有开口，使得当将这些陶瓷片布置成叠层体时，在该第一及第二端部 之间限定了通道。这有助于简化线圈架的制造，因为各个陶瓷片可从陶瓷材料板切取。这就允许使用更大范围的陶瓷材料。这些陶瓷片可共同延伸地布置，并且可包括扁平环状盘。各陶瓷片 可包括从该开口伸出的至少一对切口 ，使得当将所述陶瓷片布置成叠层 体并且旋转对准时，该叠层体限定了至少一对长型槽以接纳线圈。这些陶瓷片可是相同的。这些陶瓷片可利用耐热性粘接剂或者利用第 一及第 二端部之间的夹具保持在一起。该陶资片可包括氮化铝。该陶瓷片的厚度可在0.5mm和2mm之间，并且其直径可在10mm和50mm之间。该 线圏架可包括10-30片陶梵片。按照本专利技术还提供了 一种用于带电粒子束系统的偏转器单元，其包 括根据前述任意一项权利要求所述的线圈架以及缠绕在所述线圈架上 的至少一个线圈。该偏转器单元可包括一对线圈，该对线圈布置成在该 通道的两侧上彼此沿径向相对。按照本专利技术还提供了一种制造线圈架的方法，包括从陶瓷材料板 切取多个陶瓷片，各陶瓷片具有开口；以及，将这些陶瓷片布置成使得 该多个陶资片在第一及第二端部之间形成叠层体，并且在该第一及第二 端部之间限定了通道。附图说明现在参考附图以示例的方式描述本专利技术的实施例，附图中图1为按照本专利技术的线圈架的透视图；图2为按照本专利技术的陶资片的透视图；图3为图2所示陶瓷片的平面图；图4为图2所示陶瓷片的正视图；图5为图1所示线圈架上装有线圏的透视图；及图6为图5所示线圈的透^L图。具体实施方式参考图1至图4,本专利技术的线圏架1的一个实施例包括多个陶瓷片 2，该多个陶瓷片2布置成在第一及第二端部4、 5之间形成叠层体3。 该陶瓷片2通常为扁平环形盘状物。每一陶瓷片2内具有开口 6,这样， 当将这些片2布置成形成叠层体3时，就在第一及第二端部4， 5之间 限定了通道7。该叠层体3最好包括10-30片的陶瓷片2。该叠层体3 大致呈管体状。该叠层体3可是沿轴线r的长型形状，陶乾片2沿着该轴线r布置。该陶乾片2是由氮化铝形成。但是，亦可使用诸如氮化硼、碳化硅 及氧化铝的其他非磁性及不导电陶瓷材料。如将于下面更详细说明的那样，可从陶乾材料板切割出这些陶资片2,例如用激光切割法。因此该 陶瓷材料不需要是可机械加工的，并因此可使用较软的陶瓷材料。可用耐热性粘接剂(如氰基丙烯酸酯)将这些陶瓷片2保持在一起。 附加地或可替换地，可使用夹具(未示出)将这些陶瓷片2保持在一起。每一陶瓷片2均具有内侧及外侧边缘或周边8、 9。当陶瓷片2布置 成叠层体3时，内侧及外侧边缘8、9分别限定了内侧壁IO及外侧壁11。 内侧壁10限定了该通道7。该通道7沿其长度通常具有一致的厚度。每一陶瓷片2的内侧边缘8均具有至少一对径向切口 12。这样，当 将该陶瓷片2布置好并旋转对准时，将形成一组长形槽13，该长形槽沿 通道7的内侧壁10在叠层体3的第一及第二端部4、 5之间延伸。转动 对准可通过将相同的陶瓷片2共同延伸地(co-extensively )叠加或堆叠 来实现。该陶瓷片2最好为扁平环状盘的形式，并具有同轴的内侧及外侧周 边8、 9。该陶瓷片2的直径山最好在10mm与50mm之间，开口 6的直径 d2在5mm与25mm之间。该切口 12的径向深度r最好在0.5mm至2mm 之间，宽度w最好在0.5mm至2mm之间，并且最好以交替30度和60 度的间隔布置。陶瓷片2的厚度t最好在0.5mm与2mm之间。在该示 例中，每一片陶瓷片2厚度为1 mm。现在说明陶瓷片2的制造方法。陶瓷片2 (包括开口 6)是从商业上可购得的陶瓷材料板(未图示) 以本身公知的方式激光切割出的，例如使用Nd:YAG激光器。将低粘度、耐热性的粘接剂施加至陶瓷片2的上表面，然后在其上 共同延伸地放置另一陶乾片2。低粘度的粘接剂的优点在于可施加均匀 厚度的粘接剂。将陶瓷片2堆叠成确保这些切口 12沿着与轴线r平行的 线布置(图1 )。参考图5和图6,用于带电粒子束系统(未图示)的偏转器单元14 包括线圈架1 (图1 )和由该线圏架1支撑的至少一个线圏15。为清楚 起见，在图中只示出一个线圈15。线圏15包括一匝或多匝带有绝缘涂 层的铜线。此线圈15的至少一部分是安置在一对长形槽13中。在使用时，当电流流过线圈15时，产生/f兹场(未图示)，该i兹场 影响经过偏转器单元14的带电粒子束16。该偏转器单元14可用在电子束光刻系统、离子束注入系统或电子 显微镜中。有关偏转器单元在带电粒子束系统中的布置及操作可参见前 文所提及的GB-A-2389225。应当理解，对于上面所述的实施例尚可作许多的修改。例如，陶覺 片不必全部相同。陶瓷片不必一定是圆形，而是可为多边形。此外，该 开口不必是大致圓形，而是可为多边形。该陶资片不必形成环绕该开口 的密闭结构。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种叠层式陶瓷线圈架。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】GB 2005-9-2 0517859.51.一种叠层式陶瓷线圈架。2. 根据权利要求1所述的线圈架，包括多个陶瓷片，该多个陶瓷片 布置成在第一及第二端部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内具有开 口，使得当将这些陶瓷片布置成叠层体时，在该第一及第二端部之间限 定了通道。3. —种线圈架，包括多个陶资片，该多个陶资片布置成在第一及第 二端部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内具有开口，使得当将这些陶 瓷片布置成叠层体时，在该第一及笫二端部之间限定了通道。4. 根据权利要求2或3所述的线圏架，其中，所述陶资片共同延伸 地布置。5. 根据权利要求2-4中任一项所述的线圈架，其中，所述陶资片包 4舌扁平环状盘。6. 根据权利要求2-5中任一项所述的线圈架，其中，每一陶乾片包 括从该开口伸出的至少一对切口 ，使得当将所述陶瓷片布置成叠层体并 且旋转对准时，该叠层体限定了至少 一对长型槽以接纳线圈。7. 根据权利要求2-6中任一项所述的线圏架，其中，这些陶瓷片是 相同的。8. 根据权利要求2-7中任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，
申请(专利权)人：纳米束有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]