【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子材料
，涉及平面磁性阵列器件的制备方法。技术背景随着器件与整机的微小型化发展，以加工微米/纳米机构和系统为目的的微 米/纳米技术在此背景下应运而生，特别是其中的MEMS技术得到了迅猛的发展。 MEMS器件具有体积小、重量轻、能耗低、惯性小、响应时间短等突出优点， 同时可把多个不同功能、不同敏感方向或致动方向的微机构大规模地集成在一 起，并且可以通过微电铸的方法进行批量复制和大规模生产，因此在医疗、生物 技术、空间技术、无线通讯等方面具有巨大的市场价值。磁性阵列作为微米/纳米器件中的一种基本结构，不仅可以应用在MEMS领 域中；而且在磁记录，微波器件领域也得到了广泛的应用。目前，磁性阵列大都 是采用光刻的方式进行布线与图形化，其微细加工工艺极其复杂，通常都需要进 行十几步甚至几十步的工序才能完成制作过程，并且对所涉及的材料与设备要求 很高，极大的限制了器件的应用。因此，如何实现磁性阵列工艺简单化成为了关 注的焦点。目前，文献所报道的方法主要是利用纳米材料来实现，所采用的技术 包括自组装技术和旋涂法等。其主要工艺工程包括首先在基底表而制备...
【技术保护点】
一种磁性阵列的制备方法，包括以下步骤： 步骤１、根据实际需要，采用现有光刻工艺，制备永磁阵列母板； 步骤２、将纳米铁氧体材料与固含量为５％～４５％质量百分比的光敏聚合物材料均匀混合，得到纳米铁氧体－光敏聚合物的复合材料； 步骤３、将步骤１所得的永磁阵列母板固定在基底介质层下表面，然后在基底介质层上表面均匀涂覆一层步骤２所得的纳米铁氧体／光敏聚合物复合材料； 步骤４、静置待基底介质层上均匀涂覆的纳米铁氧体／光敏聚合物复合材料中的纳米铁氧体磁性粒子在永磁阵列母板磁场的作用下按照永磁阵列母板的阵列图形排布； 步骤５、待步骤４所述的纳米铁氧体磁性粒子按永磁阵列母板的阵列图形排布好后...
【技术特征摘要】
1、一种磁性阵列的制备方法，包括以下步骤步骤1、根据实际需要，采用现有光刻工艺，制备永磁阵列母板；步骤2、将纳米铁氧体材料与固含量为5％～45％质量百分比的光敏聚合物材料均匀混合，得到纳米铁氧体-光敏聚合物的复合材料；步骤3、将步骤1所得的永磁阵列母板固定在基底介质层下表面，然后在基底介质层上表面均匀涂覆一层步骤2所得的纳米铁氧体/光敏聚合物复合材料；步骤4、静置待基底介质层上均匀涂覆的纳米铁氧体/光敏聚合物复合材料中的纳米铁氧体磁...
【专利技术属性】
技术研发人员：李元勋，宋远强，刘颖力，张怀武，钟智勇，边丽菲，查杰，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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