一种靶材喷涂生产设备制造技术

本实用新型专利技术属于靶材生产设备技术领域，尤其为一种靶材喷涂生产设备，包括驱动机架、罐体机架、罐体、水泵、冷热交换机、氮气罐、氩气罐、三阴极枪主体、送粉器、除尘机、离心风机、控制柜；罐体通过罐体组件安装在罐体机架，驱动机架左端与罐体机架右端相连接，罐体顶部通过水泵连接有第一冷水机。本实用新型专利技术将靶材产品放置在罐体内部，通过三阴极枪主体对靶材喷涂，送粉器进行送粉，运行时要不停的对罐体内部充入氮气，控制柜进行输入参数控制，罐体内部多余氮气靠高压风机排出；设备工作时罐体内压力可以保持正压环境或负压环境；另外还启动除尘器和负压风机配合作用经双层带水冷的吸风管道将罐体内部进行除尘操作；实现高效和高质靶材喷涂。质靶材喷涂。质靶材喷涂。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材喷涂生产设备


[0001]本技术属于靶材生产设备
，具体涉及一种靶材喷涂生产设备。

技术介绍

[0002]在建筑玻璃、电子产品显示器等行业都会在产品表面进行镀膜处理，进行表面防护，镀膜时需要使用到靶材，靶材的种类很多，例如：用在建筑玻璃上的硅铝、氧化钛、锌锡、氧化铌等靶材，用在电子产品显示器上的高纯硅靶材，靶材生产过程中需要对其表面进行喷涂，现在国内喷涂设备都是在大气中直接进行喷涂，原材料表面易氧化，微量元素含量不可控，产品品质低，不能满足高端客户要求，噪音高，影响操作人员的身体健康，喷涂效率低，生产成本大，生产周期长，能耗高，原材料不回收，不能满足节能、环保的要求。
[0003]当前普遍的旋转靶材喷涂系统中，靶材喷涂部分工作环境是暴露在大气中，其中喷枪在水平方向呈线性运动，靶材衬管即靶材背管作圆周运动。
[0004]这种喷涂系统会产生较多的喷涂粉体需要配备大功率的抽粉系统，同时由于喷涂工作环境是暴露在大气中所以难以控制靶材涂层中的气体尤其是氮气和氧气，而且由于大功率抽风系统的存在导致部分喷涂粉体可能被抽风系统抽走，无法沉积到背管表面，影响沉积效率。改进技术公开较少。
[0005]已公开专利文献如：中国专利申请201120376529.5 一种喷涂旋转靶材的冷却装置，包括冷却芯轴、进水管、出水管，冷却芯轴中心的两端设有互不连通的两段轴向阶梯孔，两段轴向阶梯孔靠近孔的底部设有连通冷却芯轴外表面的径向孔，冷却芯轴一端外表面靠近径向孔处设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，圆柱形肩台外径大于冷却芯轴中段的外径，冷却芯轴另一端外表面套接一个活动环，活动环上也设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，活动环旁设置一个锁在冷却芯轴外表面的螺母，冷却芯轴两端的轴向阶梯孔均以轴向密封周向可转动的方式与进水管和出水管相配合。
[0006]为了解决上述问题，亟需研发一种靶材喷涂生产设备。

技术实现思路

[0007]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种靶材喷涂生产设备，将靶材产品放置在罐体内部，通过三阴极枪主体对靶材喷涂，送粉器进行送粉，运行时要不停的对罐体内部充入氮气，控制柜进行输入参数控制，罐体内部多余氮气靠高压风机排出；设备工作时罐体内压力可以保持正压环境或负压环境；另外还启动除尘器和负压风机配合作用经双层带水冷的吸风管道将罐体内部进行除尘操作；实现高效和高质靶材喷涂；而且还避免原材料表面氧化，提高产品品质，噪音低，保证操作人员的身体健康，喷涂面积大，生产成本低，喷涂效率高，生产周期短，节能、环保，原材料可以回收循环利用，密封循环冷却系统，水和热量不易损耗。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材喷涂生产设备，包括驱动机架、罐体机架、罐体、水泵、第一冷水机、冷热交换机、氮气罐、氩气罐、三阴极枪主体、送
粉器、水电缆转接箱、高压风机、除尘机、离心风机、控制柜、水箱、第二冷水机和氢气罐；罐体通过罐体组件安装在罐体机架，驱动机架左端与罐体机架右端相连接，罐体顶部通过水泵连接有第一冷水机；
[0009]驱动机架上方通过传动小车安装有靶材驱动拉伸轴，靶材驱动拉伸轴端头连接设置有冷热交换机；
[0010]罐体中间底部连接设置有双层带水冷的吸风管道，且通过双层带水冷的吸风管道与除尘机相连接，除尘机左右两侧分别连接设置有高压风机和离心风机；
[0011]罐体中部上通过喷枪法兰连接设置有三阴极枪主体、送粉器、水电缆转接箱、控制柜和水箱相连接；控制柜通过气管分别与氩气罐和氢气罐相连接，水箱与第二冷水机相连接。
[0012]作为优选，所述第一冷水机出水端通过水泵经冷却进水接头与罐体相连接，罐体上通过冷却出水接头经水管与第一冷水机的进水端相连接；罐体与水泵和第一冷水机之间均安装设置有开关阀。
[0013]作为优选，所述靶材驱动拉伸轴采用三层管结构设计，包括内管、中间管和外管；中间管与内管和外管之间设置有支撑垫环；中间管和内管之间形成水循环管路，且分别通过进出水口经开关阀与冷热交换机相连接。
[0014]作为优选，所述罐体一端顶部设置有氮气充气接口，且通过氮气充气接口连接设置有氮气罐。
[0015]作为优选，所述喷枪法兰上设置有喷枪进气口、水电缆进口、水电缆出口、送粉管入口、吹气管入口；通过喷枪进气口与三阴极枪主体相连接，通过水电缆进口和水电缆出口经水电缆转接箱分别与控制柜和水箱相连接；通过送粉管入口与送粉器相连接；还通过吹气管入口经主气管与控制柜相连接；另外还通过吹气管入口与氮气罐相连接。
[0016]作为优选，所述控制柜与氩气罐和氢气罐连接气管上安装有泄压阀。
[0017]作为优选，所述吹气管入口与氮气罐之间连接设置有泄压阀。
[0018]作为优选，所述水电缆转接箱。
[0019]作为优选，所述罐体内部通过主轴密封组件安装有旋转主轴。
[0020]作为优选，所述罐体左端设置有出料口。
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0022]本技术将靶材产品放置在罐体内部，靠罐体右端上的传动小车带动靶材旋转并做往复运动；罐体外面通过喷枪安装架安装三阴极枪主体，且通过喷枪进气口与罐体上喷枪法兰相连接，调整好喷枪距离；罐体上的喷枪法兰通过水电缆进口和水电缆出口经水电缆转接箱分别与控制柜和水箱相连接；通过送粉管入口与送粉器相连接；还通过吹气管入口经主气管与控制柜相连接；另外还通过吹气管入口与氮气罐相连接；之后对控制柜输入喷涂产品所需要的参数，检查好产品后在电脑上启动该设备；控制水泵将第一冷水机的冷却水经冷却进水接头输入罐体内部，冷却后的水再由冷却出水接头输出至第一冷水机内；三阴极枪主体通过喷枪进气口对罐体内部靶材进行喷涂，同时送粉器经送粉管入口对罐体内部进行送粉操作，运行时要不停的对罐体内部充入氮气，使罐体内部充满氮气，起到保护产品不被氧化，同时起到对罐体内环境减温作用，罐体内部产生多余的氮气靠高压风机排出罐体外部；设备工作时罐体内压力可以保持正压环境或负压环境；另外还启动除尘
器和负压风机配合作用经双层带水冷的吸风管道将罐体内部进行除尘操作。
[0023]本技术靶材喷涂生产设备在罐体内进行喷涂，避免原材料表面氧化，提高产品品质，噪音低，保证操作人员的身体健康，喷涂面积大，生产成本低，喷涂效率高，生产周期短，节能、环保，原材料可以回收循环利用，密封循环冷却系统，水和热量不易损耗；能更加高效和高质靶材喷涂操作。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0025]图1为本技术一种靶材喷涂生产设备的结构示意图；
[0026]图2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材喷涂生产设备，其特征在于：包括驱动机架（1）、罐体机架（2）、罐体（3）、水泵（4）、第一冷水机（5）、冷热交换机（7）、氮气罐（8）、氩气罐（9）、三阴极枪主体（11）、送粉器（12）、水电缆转接箱（13）、高压风机（14）、除尘机（15）、离心风机（16）、控制柜（20）、水箱（21）、第二冷水机（22）和氢气罐（24）；罐体（3）通过罐体组件安装在罐体机架（2），驱动机架（1）左端与罐体机架（2）右端相连接，罐体（3）顶部通过水泵（4）连接有第一冷水机（5）；驱动机架（1）上方通过传动小车安装有靶材驱动拉伸轴（6），靶材驱动拉伸轴（6）端头连接设置有冷热交换机（7）；罐体（3）中间底部连接设置有双层带水冷的吸风管道（17），且通过双层带水冷的吸风管道（17）与除尘机（15）相连接，除尘机（15）左右两侧分别连接设置有高压风机（14）和离心风机（16）；罐体（3）中部上通过喷枪法兰连接设置有三阴极枪主体（11）、送粉器（12）、水电缆转接箱（13）、控制柜（20）和水箱（21）相连接；控制柜（20）通过气管分别与氩气罐（9）和氢气罐（24）相连接，水箱（21）与第二冷水机（22）相连接。2.根据权利要求1所述的一种靶材喷涂生产设备，其特征在于：所述第一冷水机（5）出水端通过水泵（4）经冷却进水接头与罐体（3）相连接，罐体（3）上通过冷却出水接头经水管与第一冷水机（5）的进水端相连接；罐体（3）与水泵（4）和第一冷水机（5）之间均安装设置有开关阀（10）。3.根据权利要求1所述的一种靶材喷涂生产设备，其特征在于：所述靶材驱动拉伸轴（6）采用三层管结构设计，包括内管（63）、中间管（62）...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴智良，
申请(专利权)人：厦门盛骅自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：