一种镀膜设备制造技术

本申请实施例中提供了一种镀膜设备，属于太阳能电池制造技术领域，具体包括镀膜腔室和红外传感器，红外传感器的发射窗口上安装有透光玻璃，镀膜腔室内设有吹气管，吹气管的出气口朝向透光玻璃，用于对透光玻璃的表面进行吹扫。通过本申请的处理方案，解决了红外传感器接收异常信号的问题，提高设备利用率。提高设备利用率。提高设备利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备


[0001]本申请涉及太阳能电池制造的
，尤其是涉及一种镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前，一类先进高效的晶体硅太阳电池是基于非晶硅/晶体硅异质结结构。其生产技术中非常关键的两个步骤是非晶硅基薄膜的沉积以及透明导电层的沉积。比较常用的非晶硅基薄膜的沉积方法是低温化学气相沉积法，包括等离子体化学气相沉积和热丝化学气相沉积两种；而透明导电层的制备一般采用物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，简称PVD)法。
[0003]物理气相沉积法使用的PVD设备中设有镀膜腔室，在镀膜腔室中有检测载板的红外传感器，用来检测载板的位置，然后传输相应的信号，PVD设备的红外传感器包括红外传感器、第一透光玻璃、第二透光玻璃和红外反光板，当腔室内靶材的粉尘掉到下透光玻璃，红外光发射到粉尘，粉尘对红外光线的传播形成阻碍，红外传感器接收异常信号，此时需要打开镀膜腔室进行清理和维修，降低设备利用率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供一种镀膜设备，解决了现有技术中红外传感器接收异常信号的问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，包括镀膜腔室和红外传感器，所述红外传感器的发射窗口上安装有透光玻璃，其特征在于，所述镀膜腔室内设有吹气管，所述吹气管的出气口朝向所述透光玻璃，用于对所述透光玻璃的表面进行吹扫。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的进气口连通有稀有气体的气源，所述吹气管的进气口设置于所述镀膜腔室的外部。3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管位于镀膜腔室的管体上安装有阀门，所述阀门用于控制所述吹气管的启闭。4.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的外周套设有密封圈和法兰，所述密封圈和所述吹气管的外壁贴合，所述法兰与所述镀膜腔室固定连接，所述法兰将所述密封圈压紧在所述镀膜腔室的腔壁上。5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的出气口上连通有导气管，所述导气管与所述透光玻璃的夹角大于0
°
而小于90
°
，且所述导气管的出气口正对所述红外传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：