一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统技术方案

技术编号:31025890 阅读:33 留言:0更新日期:2021-11-30 03:27
本发明专利技术属于石墨导热膜生产设备技术领域,具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本发明专利技术的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,包括碳化炉、过滤组件和真空泵,所述碳化炉的出气口通过第一排气管道与过滤组件的进气口连接,所述过滤组件的出气口通过第四排气管道与真空泵连接;所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器、二级吸附过滤器及三级吸附过滤器。本发明专利技术通过改变一级冷凝过滤器的冷凝管道排列,冷凝管道上翅片的排列密度和冷却进出水方式,增大二级吸附过滤器的有效面积,能够提高整个真空过滤系统的能力,保证系统真空度,避免废气对炉内产品的影响。免废气对炉内产品的影响。免废气对炉内产品的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统


[0001]本专利技术属于石墨导热膜生产设备
,具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。

技术介绍

[0002]目前人工合成石墨导热膜主要的制备方法是将聚酰亚胺薄膜放置在工装治具上,随后依次通过低温碳化和高温石墨化热处理,最后通过压延、贴合和模切处理流程得到。
[0003]其中,低温碳化流程是整个生产流程中至关重要的一环。低温碳化过程中,聚酰亚胺薄膜在真空状态下,随碳化温度的升高发生高温分解反应,薄膜中的高分子链断裂,内部的N、H、O组分生成CO、CO2、N2、HCN和焦油等废气。这部分废气通过碳化炉的真空过滤系统时,其中的焦油会降温冷凝附着在过滤系统内,导致过滤系统的堵塞,降低系统的真空过滤能力,严重的会导致过滤系统内部完全堵死,炉内温差过大,真空泵损坏,增加额外的设备维护成本。同时废气难以排出,弥散在整个碳化炉内,废气中的杂质组分遗留在薄膜上,影响产品质量。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是在于克服现有技术中存在的不足,提供一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,其特征在于,包括碳化炉(1)、过滤组件和真空泵(13),所述碳化炉(1)的出气口通过第一排气管道(2)与过滤组件的进气口连接,所述过滤组件的出气口通过第四排气管道(16)与真空泵连接;所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器(3)、二级吸附过滤器(6)及三级吸附过滤器(11)。2.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,其特征在于,所述一级冷凝过滤器(3)的进气口与所述碳化炉(1)的出气口连接,所述一级冷凝过滤器(3)的出气口与二级吸附过滤器(6)的进气口连接,所述二级吸附过滤器(6)的出气口与三级吸附过滤器(11)的进气口连接,所述三级吸附过滤器(11)的出气口与真空泵(13)连接。3.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,其特征在于,所述一级冷凝过滤器(3)壳体内设置有若干冷凝管道(5),所述一级冷凝过滤器(3)进出气口处未设置冷凝管道(5),所述冷凝管道(5)的整体分布密度为:邻近进出气口的布置密度较其他部位稀疏。4.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,其特征在于,所述冷凝管道(5)上焊接有螺旋设置的不锈钢冷却翅片(501),相邻不锈钢冷却翅片(501)的间隙为4

6mm。5.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈曲陈佳男蒋剑朱勇吴晓宁朱光福
申请(专利权)人:北京中石伟业科技股份有限公司北京中石伟业科技宜兴有限公司无锡中石库洛杰科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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