下载一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统的技术资料

文档序号:31025890

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本发明属于石墨导热膜生产设备技术领域,具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本发明的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,包括碳化炉、过滤组件和真空泵,所述碳化炉的出气口通过第一排气管道与过滤组件的进气口连接,所述过滤组件的出气口通过第四排气管...
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