一种低线性相位扇形结构的声表滤波器制造技术

发明专利技术属于声表面波技术领域，具体涉及一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，该滤波器包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128

【技术实现步骤摘要】
一种低线性相位扇形结构的声表滤波器


[0001]本专利技术属于声表面波
，具体涉及一种低线性相位扇形结构的声表滤波器。

技术介绍

[0002]声表滤波器是一种由制作在压电基片上的输入叉指换能器将电信号转换为声信号并沿基片表面传播，再由输出叉指换能器将声信号转化为电信号，在两次转换中实现对电信号滤波的滤波器。
[0003]随着科学技术的发展，声表滤波器无论在军事领域，还是短波电台、无线发射机、接收机等民用领域具有非常广泛的应用；因此，在市场上对频率带宽为65％左右，通带波纹好，群延时波动小的声表面波滤波器的具有较大需求。现有的频率带宽为65％左右的声表滤波器一般为常规声表滤波器，但是常规的声表滤波器的插入损耗很大，其线性相位度也很大，且传统的常规声表滤波器设计一般采用双通道多条耦合器设计，体积较大大，不具备实用价值。如何得到一种相对带宽在65％左右，高矩形度，低旁瓣，高可靠性的低线性相位声表滤波器是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]为解决以上现有技术存在的问题，本专利技术提出了一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，该滤波器包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128
°
Y
‑
X切型的晶圆基片上；屏蔽条为空心结构，且设置在输入换能器和输出换能器之间；外围匹配电路设置在扇形声表滤波器的输入端和输出端；在扇形声表滤波器的两个端面上涂有吸声胶；将输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路进行气密性封装，构成声表滤波器。
[0005]优选的，输入换能器和输出环能器均为倒梯形叉指换能器。
[0006]优选的，屏蔽条为扇形结构。
[0007]优选的，外围匹配电路包括声表滤波器输入端外围匹配电路和输出端外围匹配电路；输入端外围匹配电路包括第一电容C1、第一电感L1以及第三电感L3；第一电容C1的一端接地，另一端与电路的信号输入端和第一电感L1连接；第一电感L1的另一端分别与接地的第三电感L3和声表滤波器的输入端连接，构成输入端外围匹配电路；输出端的外围匹配电路与输入端的外围匹配电路结构相同。
[0008]进一步的，外围匹配电路中选取的不同电容值的电容，选取的不同电感值的电感。
[0009]优选的，晶圆基片的直径Φ为100.0mm～105.0mm，晶圆基片的厚度为0.4mm～0.6mm。
[0010]优选的，对器件进行气密性封装的封装外壳为H6
‑
14P。
[0011]本专利技术用于接收机链路，标称频率70MHz相对带宽为65％左右、高矩形度、低旁瓣等高可靠性的声表滤波器，解决了超宽带接收机宽带滤波问题，实现低旁瓣提纯信号，提高
信噪比，增强抗干扰作用。
附图说明
[0012]图1为本专利技术的扇形声表面滤波器的结构图；
[0013]图2为本专利技术的外围匹配电路结构图；
[0014]图3为本专利技术的H6
‑
14P外壳芯片粘片点焊示意图；
[0015]图4为本专利技术的一种70MHz超宽带扇形结构的声表滤波器频响图；
[0016]图5为本专利技术的一种70MHz超宽带扇形结构的声表滤波器相位图。
[0017]图6为本专利技术的扇形声表面滤波器的3
‑1‑
3电容加权结构图。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0019]一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，如图1所示，该结构包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128
°
Y
‑
X切型的晶圆基片上；屏蔽条为空心结构，且设置在输入换能器和输出换能器之间；外围匹配电路设置在扇形声表滤波器的输入端和输出端；在声表滤波器的两个端面上涂有用于减小多余的声波反射信号的吸声胶；将输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路进行气密性封装，构成声表滤波器。
[0020]可选的，铌酸铌128
°
Y
‑
X切型的晶圆基片的直径为100.0mm～105.0mm，晶圆基片的厚度为0.4mm～0.6mm。
[0021]优选的，铌酸铌128
°
Y
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X切型的晶圆基片的直径为101.6mm，晶圆基片的厚度为0.5mm。
[0022]优选的，声表滤波器的屏蔽条为中空扇形结构，中空的扇形屏蔽条接地，能有效的隔离直通信号，提高阻带抑制。中空屏蔽条能很好改善滤波器的线性相位，由相位公式：可知声波在屏蔽条中空部位传播相当于在晶片自由表面传播，群时延变化小(即时间t变化小)，从而相位变化小。
[0023]本专利技术提出的一种70MHz低线性相位扇形结构的声表滤波器，该滤波器利用128
°
铌酸铌切型的晶圆基片，晶圆基片的背面粗糙度为320#砂，在此晶圆上设计制作的输入输出叉指换能器、屏蔽条、吸声胶。
[0024]输入换能器和输出换能器均为倒梯形叉指换能器；所述倒梯形叉指换能器的上端汇流条比下端的汇流条长，设置在上端汇流条的金属电极为上大下小，设置在下端汇流条上的金属电极为下小上大使得在组合为倒梯形叉指换能器时，下端的金属电极均位于上端相邻两个金属电极之间。
[0025]一种低线性相位扇形结构的声表滤波器的外围匹配电路，如图2所示，该滤波器的外围匹配电路包括输入端外围匹配电路和输出端外围匹配电路。
[0026]输入端外围匹配电路包括第一电容C1、第一电感L1以及第三电感L3；第一电容C1
的一端接地，另一端与电路的信号输入端和第一电感L1连接；第一电感L1的另一端分别与接地的第三电感L3和声表滤波器的输入端连接，构成输入端外围匹配电路。
[0027]输出端外围匹配电路包括第二电容C2、第二电感L2以及第四电感L3；声表滤波器的输出端分别与接地的第四电感L4和第二电感L2连接；第二电感L2的另一端分别与接地的第二电容C2以及整个器件的输出端连接，构成外围匹配电路。
[0028]优选的，声表滤波器的输入端电阻阻值为50Ω，输出端电阻为50Ω。
[0029]外围匹配电路中选取的电感为协调电感，选取的电容为协调电容。在外围匹配电路中，选取电容值不同的电容和电感值不同的电感，从而解决声表滤波器的通带平坦度以及插入滤波器后损耗较大的问题。
[0030]优选的，选取的电容、电感的大小为：第一电感L1的电感应强度为56nH，第二电感L2的电感应强度为68nH，第三电感L3的电感应强度为150nH，第四电感L4的电感应强本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，其特征在于，该滤波器包括：输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路；输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路均设置在铌酸铌128
°
Y
‑
X切型的晶圆基片上；屏蔽条为空心结构，且设置在输入换能器和输出换能器之间；外围匹配电路设置在扇形声表滤波器的输入端和输出端；在扇形声表滤波器的两个端面上涂有吸声胶；将输入换能器、屏蔽条、输出端换能器以及外围匹配电路进行气密性封装，构成声表滤波器。2.根据权利要求1所述的一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，其特征在于，输入换能器和输出换能器均为倒梯形叉指换能器；所述倒梯形叉指换能器的上端汇流条比下端的汇流条长，设置在上端汇流条的金属电极为上大下小，设置在下端汇流条上的金属电极为下小上大，使得在组合为倒梯形叉指换能器时，下端的金属电极均位于上端相邻两个金属电极之间。3.根据权利要求1所述的一种低线性相位扇形结构的声表滤波器，其特征在于，屏蔽条为中空...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋道军，张显洪，吴燕，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：