本发明专利技术提供一种在支承基板设置有空洞部的情况下不易产生构造上的脆弱性的弹性波装置。本发明专利技术涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)；压电膜(3)，设置在支承基板(2)上，使得覆盖空洞部(10)；功能电极(4)，设置在压电膜(3)上，使得在俯视下与空洞部(10)重叠；以及支承构件(5)，配置在支承基板(2)的空洞部(10)，对压电膜(3)进行支承。功能电极(4)具有在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极。多个电极包含：第1电极(6)以及第2电极(7)，在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接。从与第1电极(6)延伸的方向正交的方向观察，相邻的电极重叠的区域为交叉区域(A)。在俯视下，交叉区域(A)和支承构件(5)重叠。叉区域(A)和支承构件(5)重叠。叉区域(A)和支承构件(5)重叠。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]以往，已知有利用了在包含LiNbO3或LiTaO3的压电膜传播的板波的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，公开了利用了作为板波的拉姆波(Lamb wave)的弹性波装置。在此，在支承体上设置有压电基板。在支承体，即，支承基板设置有空洞部。压电基板与空洞部重叠。压电基板包含LiNbO3或LiTaO3。在压电基板的上表面设置有IDT电极。在IDT电极的与一个电位连接的多个电极指和与另一个电位连接的多个电极指之间施加电压。由此，激励拉姆波。在该IDT电极的两侧设置有反射器。由此，构成利用了板波的弹性波谐振器。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
257019号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在将专利文献1记载的弹性波装置的尺寸增大的情况下，支承基板的空洞部的尺寸也变大。因此，弹性波装置在构造上往往变得脆弱。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种在支承基板设置有空洞部的情况下不易产生构造上的脆弱性的弹性波装置。
[0009]用于解决课题的技术方案
[0010]本专利技术涉及的弹性波装置具备：支承基板，具有空洞部；压电膜，设置在所述支承基板上，使得覆盖所述空洞部；功能电极，设置在所述压电膜上，使得在俯视下与所述空洞部重叠；以及支承构件，配置在所述支承基板的所述空洞部，对所述压电膜进行支承，所述功能电极具有在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极，所述多个电极包含：第1电极以及第2电极，在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接，从与所述第1电极延伸的方向正交的方向观察，相邻的所述电极重叠的区域为交叉区域，在俯视下，所述交叉区域与所述支承构件重叠。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术涉及的弹性波装置，在支承基板设置有空洞部的情况下，不易产生构造上的脆弱性。
附图说明
[0013]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0014]图2是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0015]图3是用于示出本专利技术的第1实施方式的支承基板中的空洞部的内部以及压电膜
上的结构的、示出弹性波装置的一部分的示意性立体图。
[0016]图4的(a)是用于说明以往的弹性波装置的在压电膜传播的拉姆波的示意性主视剖视图，图4的(b)是用于说明本专利技术的一个实施方式涉及的弹性波装置中的、在压电膜传播的厚度剪切一阶模式(thickness
‑
shear primary mode)的体波(bulk wave)的示意性主视剖视图。
[0017]图5是示出厚度剪切一阶模式的体波的振幅方向的图。
[0018]图6是示出将相邻的第1电极与第2电极的中心间距离或中心间距离的平均距离设为p、并将压电膜的厚度设为d的情况下的d/p和作为谐振器的相对带宽的关系的图。
[0019]图7是示出本专利技术的第1实施方式以及比较例的弹性波装置的阻抗频率特性的图。
[0020]图8是本专利技术的第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0021]图9是本专利技术的第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0022]图10是本专利技术的第1实施方式的第3变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0023]图11是本专利技术的第1实施方式的第4变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0024]图12是本专利技术的第1实施方式的第5变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0025]图13是本专利技术的第1实施方式的第6变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0026]图14是本专利技术的第1实施方式的第7变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0027]图15是本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0028]图16是用于示出本专利技术的第3实施方式的支承基板中的空洞部的内部以及压电膜上的结构的、示出弹性波装置的一部分的示意性立体图。
[0029]图17是本专利技术的第4实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0030]图18是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0031]图19是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0032]图20的(a)～图20的(c)是用于说明形成第5实施方式中的功能电极以及支承构件的方法的一个例子的主视剖视图。
[0033]图21的(a)～图21的(c)是用于说明形成第5实施方式中的支承构件的方法的一个例子的主视剖视图。
[0034]图22是本专利技术的第5实施方式的变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0035]图23是本专利技术的第6实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0036]图24是本专利技术的第6实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
具体实施方式
[0037]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0038]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
[0039]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图2是第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。另外，图1是沿着图2中的I
‑
I线的剖视图。在图2中，通过影线示出后述的支承构件。在图2以外的俯视图中也是同样的。
[0040]如图1所示，弹性波装置1具有支承基板2、压电膜3、功能电极4以及支承构件5。在支承基板2上设置有压电膜3。在压电膜3上设置有功能电极4。支承构件5对压电膜3进行支
承。
[0041]支承基板2具有空洞部10、支承部12以及底部13。支承部12具有框状的形状。支承部12设置在底部13上。空洞部10是设置在支承基板2的凹部。更具体地，空洞部10是被支承部12以及底部13包围的凹部。空洞部10在压电膜3侧开口。另外，图1中的虚线示意性地示出支承基板2的底部13与支承部12的边界以及支承基板2与支承构件5的边界。
[0042]如图2所示，支承部12包含第1内侧面12A、第2内侧面12B、第3内侧面12C以及第4内侧面12D。第1内侧面12A以及第3内侧面12C相互对置。第2内侧面12B以及第4内侧面12D相互对置。第1内侧面12A的两端与第2内侧面12B以及第4内侧面12D连接。同样地，第3内侧面12C的两端与第2内侧面12B以及第4内侧面12D连接。
[0043]支承基板2是硅基板。支承基板2的压电膜3侧的面处的面方位优选为(100)、(110)或(111)。支承基板2的电阻率优选为4kΩ以上。不过，支承基板2的材料并不限定于上述材料，例如，能够使用氧化铝、钽酸锂、铌酸锂、石英等压本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有空洞部；压电膜，设置在所述支承基板上，使得覆盖所述空洞部；功能电极，设置在所述压电膜上，使得在俯视下与所述空洞部重叠；以及支承构件，配置在所述支承基板的所述空洞部，对所述压电膜进行支承，所述功能电极具有在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极，所述多个电极包含：第1电极以及第2电极，在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接，从与所述第1电极延伸的方向正交的方向观察，相邻的所述电极重叠的区域为交叉区域，在俯视下，所述交叉区域与所述支承构件重叠。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂或钽酸锂，所述弹性波装置利用了厚度剪切一阶模式的体波。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂或钽酸锂，在将所述压电膜的厚度设为d并将相邻的所述第1电极与所述第2电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂、钽酸锂或氮化铝，所述功能电极是包含多对所述第1电极以及所述第2电极的IDT电极。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件在俯视下仅与一根所述电极重叠。6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，所述支承构件在俯视下仅与所述压电膜中的设置有所述电极的区域重叠。7.根据权利要求5或6所述的弹性波装置，其中，具备多个所述支承构件，所述多个支承构件在俯视下与所述多...
【专利技术属性】
技术研发人员：永友翔，岩本英树，中尾武志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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