放射线检测器制造技术

提供一种放射线检测器，能够高精度地检测放射线的入射开始时刻，并且能够提高放射线图像的质量。实施方式所涉及的放射线检测器包括：基板；设置在所述基板上并沿着第一方向延伸的多条控制线；设置在所述基板上并沿着与所述第一方向相交的第二方向延伸的多条数据线；具有与对应的所述控制线以及对应的所述数据线电连接的薄膜晶体管、并直接地或与闪烁体协同地检测放射线的多个检测部；对所述薄膜晶体管的导通状态和截止状态进行切换的控制电路；在所述薄膜晶体管处于导通状态时读取图像数据的信号检测电路；以及基于所述薄膜晶体管处于导通状态时读取到的图像数据的值来判定所述放射线的入射开始时刻的入射放射线检测部。在所述入射放射线检测部判定为所述放射线已开始入射时，所述信号检测电路执行在所述薄膜晶体管处于导通状态时进一步读取图像数据的第一读取工序。所述控制电路执行在所述第一读取工序之后使所有所述薄膜晶体管处于截止状态的图像存储工序。态的图像存储工序。态的图像存储工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测器


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测器。

技术介绍

[0002]放射线检测器的一个示例包括X射线检测器。X射线检测器例如设置了具有多个光电转换部的阵列基板、以及设置在多个光电转换部上的用于将X射线转换成荧光的闪烁体。此外，光电转换部中设置了例如将来自闪烁体的荧光转换为电荷的光电转换元件、对电荷的储存和释放进行开关的薄膜晶体管、以及储存电荷的存储电容器等。
[0003]通常，X射线检测器以如下方式读取图像数据。首先，利用从外部输入的信号识别X射线的入射。接着，在经过预定的时间之后，将进行读取的光电转换部的薄膜晶体管设为导通状态，读取出所储存的电荷来作为图像数据。然而，这样一来就需要用于使X射线源等外部设备与X射线检测器获得同步的同步接口。
[0004]另外，提出了如下技术：使薄膜晶体管为截止状态，基于有X射线入射时流过数据线的电流值与无X射线入射时流过数据线的电流值之差来检测X射线的入射开始时刻。然而，当薄膜晶体管变为截止状态时，流过数据线的电流值变得极小。因此，即使在薄膜晶体管变为截止状态时检测流过数据线的电流值，可能也难以高精度地检测出X射线的入射开始时刻。
[0005]因此，提出了如下技术：使薄膜晶体管为导通状态，基于有X射线入射时流过数据线的电流值与无X射线入射时流过数据线的电流值之差来检测X射线的入射开始时刻。由于在薄膜晶体管变为导通状态时流过数据线的电流值变大，因此，能够高精度地检测出X射线的入射开始时刻。
[0006]在此，提出了如下技术：使用在检测X射线的入射开始时刻的工序中读取出的图像数据来构成X射线图像。在这样的技术中，由于不知道X射线什么时候开始入射，所以连续地反复读取流过数据线的电流(图像数据的读取)。因此，功耗会变大。另外，有可能会导致噪声增加、或因温度上升而限制摄影时间的情况产生。
[0007]进一步地，在读取一张X射线图像的图像数据的工序过程中，如果X射线的入射开始或X射线的入射结束，则在X射线的入射开始时刻和X射线的入射结束时刻容易产生图像斑点。
[0008]因此，希望开发出能够高精度地检测放射线的入射开始时刻，并且能够提高放射线图像的质量的放射线检测器。现有技术文献专利文献
[0009]专利文献1：美国专利申请公开第2015/0078530号说明书专利文献2：日本专利第6302122号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0010]本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能高精度地检测放射线的入射开始时刻，并且能够提高放射线图像的质量的放射线检测器。解决技术问题所采用的技术方案
[0011]实施方式所涉及的放射线检测器包括：基板；设置在所述基板上并沿着第一方向延伸的多条控制线；设置在所述基板上并沿着与所述第一方向相交的第二方向延伸的多条数据线；具有与对应的所述控制线以及对应的所述数据线电连接的薄膜晶体管、并直接地或与闪烁体协同地检测放射线的多个检测部；对所述薄膜晶体管的导通状态和截止状态进行切换的控制电路；在所述薄膜晶体管处于导通状态时读取图像数据的信号检测电路；以及基于所述薄膜晶体管处于导通状态时读取出的图像数据的值来判定所述放射线的入射开始时刻的入射放射线检测部。在所述入射放射线检测部判定为所述放射线已开始入射时，所述信号检测电路执行在所述薄膜晶体管处于导通状态时进一步读取图像数据的第一读取工序。所述控制电路执行在所述第一读取工序之后使所有所述薄膜晶体管处于截止状态的图像存储工序。
附图说明
[0012]图1是用于例示X射线检测器的示意立体图。图2是X射线检测器的框图。图3是阵列基板的电路图。图4是用于例示图像数据和校正数据的读取的时序图。图5是用于例示X射线入射时流过数据线的电流的示意图。图6是例示X射线检测器中的处理过程的流程图。图7是用于例示比较例所涉及的X射线图像的拍摄的时序图。图8是用于例示本实施方式所涉及的X射线图像的拍摄的时序图。
具体实施方式
[0013]下面，参照附图，对实施方式进行例示。另外，各图中，对同样的构成要素标注相同的标号并适当省略详细说明。本实施方式所涉及的放射线检测器除了X射线以外，还能应用于γ射线等各种放射线。这里，作为一个示例，以放射线中具有代表性的X射线的情况为例进行说明。因此，通过将以下实施方式的“X射线”替换为“其它放射线”，从而也能应用于其它放射线。
[0014]此外，以下所例示的X射线检测器1是对放射线图像即X射线图像进行检测的X射线平面传感器。X射线平面传感器大致分为直接转换方式和间接转换方式。直接转换方式是利用高电场将通过入射X射线在光导电膜内部产生的光导电电荷(电荷)直接导入到电荷存储用的存储电容器的方式。间接转换方式是利用闪烁体将X射线转换为荧光(可见光)，利用光电二极管等光电转换元件将荧光转换为电荷并将电荷导入到存储电容器的方式。
[0015]以下，作为一个示例示出了间接转换方式的X射线检测器1，但本专利技术也能适用于
直接转换方式的X射线检测器。即，X射线检测器只要具有将X射线转换成电信息的检测部即可。检测部例如能直接地或者与闪烁体协同地检测X射线。另外，已知技术能应用于直接转换方式的X射线检测器的基本结构，因此省略详细说明。另外，X射线检测器1例如能用于一般医疗等。其中，X射线检测器1的用途并不限于一般医疗等。
[0016]图1是用于例示X射线检测器1的示意立体图。另外，图1中，省略了偏置线2c3等来绘制。图2是X射线检测器1的框图。图3是阵列基板2的电路图。如图1～图3所示，X射线检测器1中，能够设置阵列基板2、信号处理部3、图像处理部4、闪烁体5、入射X射线检测部6和存储器7。
[0017]阵列基板2将通过闪烁体5由X射线转换而成的荧光(可见光)转换为电信号。阵列基板2能够包括基板2a、光电转换部2b、控制线(或栅极线)2c1、数据线(或信号线)2c2、偏置线2c3、布线焊盘2d1、布线焊盘2d2和保护层2f等。在本实施方式中，光电转换部2b成为与闪烁体5协同检测X射线的检测部。另外，光电转换部2b、控制线2c1、数据线2c2以及偏置线2c3等的数量并不限于所例示的情况。
[0018]基板2a呈板状，能够由无碱玻璃等透光性材料形成。能够在基板2a的一个表面上设置多个光电转换部2b。光电转换部2b能够设置在由控制线2c1和数据线2c2所划分的区域中。多个光电转换部2b能够排列成矩阵状。另外，一个光电转换部2b例如对应于X射线图像中的一个像素(pixel)。
[0019]多个光电转换部2b中分别设有光电转换元件2b1、以及薄膜晶体管(TFT；Thin Film Transistor)2b2。此外，如图3所示，能设置存储电容器2b3，该存储电容器2b3提供在光电转换元件2b1中转换得到的电荷。存储电容器2b3例如呈板状，能设置在薄膜晶体管2b2的下方。其中，根据光电转换元件2b1的容量，光电转换元件2b1能兼用作存储电容器2b3。
[0020]在光电转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测器，其特征在于，包括：基板；多条控制线，该多条控制线设置在所述基板上，沿着第一方向延伸；多条数据线，该多条数据线设置在所述基板上，沿着与所述第一方向相交的第二方向延伸；多个检测部，该多个检测部具有与对应的所述控制线以及对应的所述数据线电连接的薄膜晶体管，并直接地或与闪烁体协同地检测放射线；控制电路，该控制电路对所述薄膜晶体管的导通状态与截止状态进行切换；信号检测电路，该信号检测电路在所述薄膜晶体管处于导通状态时读取图像数据；以及入射放射线检测部，该入射放射线检测部基于所述薄膜晶体管处于导通状态时读取出的图像数据的值来判定所述放射线的入射开始时刻，在所述入射放射线检测部判定为所述放射线已开始入射时，所述信号检测电路执行第一读取工序，该第一读取工序在所述薄膜晶体管处于导通状态时进一步读取图像数据，所述控制电路执行图像存储工序，该图像存储工序在所述第一读取工序之后使所有所述薄膜晶体管处于截止状态。2.如权利要求1所述的放射线检测器，其特征在于，所述图像存储工序的期间比所述放射线的入射期间要长。3.如权利要求1或2所述的放射线检测器...

【专利技术属性】
技术研发人员：鬼桥浩志，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：