本实用新型专利技术公开了一种晶圆定位装置，涉及晶圆生产设备技术领域，包括安装块和定位块，滑动杆的上端固定连接有压缩弹簧，转动杆远离滑动杆的一端通过转轴转动连接有滑动块，固定轴的外表面转动连接有拨杆，滑动轴的一端与滑动杆固定连接，限位块的一侧面固定连接有缓冲弹簧，导轨的中部插接有顶块，螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块。本实用新型专利技术通过设置拨杆、固定轴、传动槽、滑动轴、滑动杆、压缩弹簧、转动杆和滑动块，该机构可使得对晶圆的装夹更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率，通过设置固定块、螺纹杆、顶块、固定块、缓冲弹簧和限位块，该机构最终实现对晶圆的防护，防止在装夹时对晶圆造成损坏或变形。夹时对晶圆造成损坏或变形。夹时对晶圆造成损坏或变形。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆定位装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种晶圆定位装置。
技术介绍
[0002]随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，技术人员通过对晶圆进行加工可以制作成各种电路元件，因此晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。在半导体集成电路制造过程中，许多工艺为了保证作业晶圆位置统一，便于工艺扩展，需要预先对晶圆进行定位对准。
[0003]目前，现有的晶圆定位装置不方便对晶圆进行装夹，在装夹或拆卸时操作较为繁琐，致使加工效率较低，而且定位装置对晶圆进行装夹进行装夹时由于缺少防护机构，因此容易对晶圆造成挤压损坏，或者使晶圆挤压变形，对后期的加工造成影响，现有的晶圆定位装置存在不方便对晶圆进行装夹以及容易对晶圆造成挤压损坏、变形的问题。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆定位装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆定位装置，包括安装块和定位块，所述安装块的内部滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的上端固定连接有压缩弹簧，所述滑动杆的两侧均通过转轴转动连接有转动杆，所述转动杆远离滑动杆的一端通过转轴转动连接有滑动块，所述安装块的内部固定连接有固定轴，所述固定轴的外表面转动连接有拨杆，所述拨杆的一侧开设有传动槽，所述传动槽的内部插接有滑动轴，所述滑动轴的一端与滑动杆固定连接，所述安装块的上表面固定连接有导轨，所述导轨的内部滑动连接有限位块，所述限位块的一侧面固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧远离限位块的一端固定连接有调整块，所述导轨的中部插接有顶块，所述顶块的背面插接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块。
[0008]可选的，所述压缩弹簧的上端与安装块固定连接，所述安装块的上表面开设有导槽，所述导槽的内部与滑动块滑动连接。
[0009]可选的，所述滑动块的上表面与定位块固定连接，所述定位块的形状为圆弧型，所述定位块的截面形状为阶梯形，所述定位块的下表面抵接于安装块的上表面。
[0010]可选的，所述拨杆插接于安装块的内部，所述安装块的内部与滑动轴滑动连接，所述拨杆设置于滑动杆的正面。
[0011]可选的，所述定位块套接于导轨的外部，所述导轨的下表面抵接于滑动块的上表面，所述限位块的一侧面抵接于定位块的一侧，所述导轨的内部与调整块滑动连接。
[0012]可选的，所述顶块的截面形状为等腰梯形，所述导轨的中部开设有调整槽，所述调
整槽与顶块相适配，所述顶块的下表面抵接于安装块的上表面，所述安装块的上表面与固定块固定连接，所述螺纹杆远离顶块的一端固定连接有把手。
[0013]有益效果
[0014]本技术提供了一种晶圆定位装置，具备以下有益效果：
[0015]1、该晶圆定位装置，通过设置拨杆、固定轴、传动槽、滑动轴、滑动杆、压缩弹簧、转动杆和滑动块，向下压动拨杆使其绕着固定轴转动即可通过传动槽和滑动轴带动滑动杆向上滑动，并通过推动转动杆带动两侧的滑动块和定位块同时向外滑动，而且松开拨杆后压缩弹簧可推动滑动杆下滑，从而使两侧的定位块向内滑动，并对两个定位块之间的晶圆夹紧，该机构可使得对晶圆的装夹更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率。
[0016]2、该晶圆定位装置，通过设置固定块、螺纹杆、顶块、固定块、缓冲弹簧和限位块，两侧的定位块夹紧晶圆的过程中会产生冲击力，在定位块向内滑动的过程中会顶在限位块的外侧，然后缓冲弹簧自身的弹力对定位块产生的冲击力进行缓冲，并且定位块停止时可正好对晶圆夹紧，而且通过拧动螺纹杆可带动顶块进行收缩，从而控制固定块、缓冲弹簧和限位块滑动，以对定位块的行程进行调整，使得防护机构能够适应更多尺寸的晶圆，该机构最终实现对晶圆的防护，防止在装夹时对晶圆造成损坏或变形。
附图说明
[0017]图1为本技术正视立体结构示意图；
[0018]图2为本技术正视剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术图2中A处放大结构示意图；
[0020]图4为本技术俯视局部结构示意图。
[0021]图中：1、安装块；2、导轨；3、定位块；4、拨杆；5、固定块；6、螺纹杆；7、滑动杆；8、滑动轴；9、传动槽；10、固定轴；11、滑动块；12、压缩弹簧；13、限位块；14、缓冲弹簧；15、调整块；16、顶块；17、调整槽；18、把手；19、转动杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆定位装置，包括安装块1和定位块3，安装块1的内部滑动连接有滑动杆7，滑动杆7的上端固定连接有压缩弹簧12，滑动杆7的两侧均通过转轴转动连接有转动杆19，转动杆19远离滑动杆7的一端通过转轴转动连接有滑动块11，压缩弹簧12的上端与安装块1固定连接，安装块1的上表面开设有导槽，导槽的内部与滑动块11滑动连接，滑动块11的上表面与定位块3固定连接，定位块3的形状为圆弧型，定位块3的截面形状为阶梯形，定位块3的下表面抵接于安装块1的上表面，安装块1的内部固定连接有固定轴10，固定轴10的外表面转动连接有拨杆4，拨杆4插接于安装块1的内部，安装块1的内部与滑动轴8滑动连接，拨杆4设置于滑动杆7的正面，拨杆4的一侧开设有传动槽9，传动槽9的内部插接有滑动轴8，滑动轴8的一端与滑动杆7固定连接，安装块1的上表面固定连接有导轨2，导轨2的内部滑动连接有限位块13，限位块13的一侧面固定连
接有缓冲弹簧14，缓冲弹簧14远离限位块13的一端固定连接有调整块15，定位块3套接于导轨2的外部，导轨2的下表面抵接于滑动块11的上表面，限位块13的一侧面抵接于定位块3的一侧，导轨2的内部与调整块15滑动连接，导轨2的中部插接有顶块16，顶块16的背面插接有螺纹杆6，螺纹杆6的外表面螺纹连接有固定块5，顶块16的截面形状为等腰梯形，导轨2的中部开设有调整槽17，调整槽17与顶块16相适配，顶块16的下表面抵接于安装块1的上表面，安装块1的上表面与固定块5固定连接，螺纹杆6远离顶块16的一端固定连接有把手18。
[0024]使用时，可通过用手向下压动拨杆4使其绕着固定轴10转动，拨杆4的转动可通过传动槽9向上拨动滑动轴8，从而带动滑动杆7向上滑动，并通过滑动杆7的上侧推动转动杆19带动两侧的滑动块11和定位块3同时向外滑动，然后即可将晶圆放在两个定位块3之间，并使晶圆平放在定位块3的阶梯上表面；而且松开拨杆4后压缩弹簧12可推动滑动杆7下滑，从而使两侧的定位块3向内滑动，并对两个定位块3之间的晶圆夹紧，该机构可使得对晶圆的装夹更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率；两侧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆定位装置，包括安装块(1)和定位块(3)，其特征在于：所述安装块(1)的内部滑动连接有滑动杆(7)，所述滑动杆(7)的上端固定连接有压缩弹簧(12)，所述滑动杆(7)的两侧均通过转轴转动连接有转动杆(19)，所述转动杆(19)远离滑动杆(7)的一端通过转轴转动连接有滑动块(11)，所述安装块(1)的内部固定连接有固定轴(10)，所述固定轴(10)的外表面转动连接有拨杆(4)，所述拨杆(4)的一侧开设有传动槽(9)，所述传动槽(9)的内部插接有滑动轴(8)，所述滑动轴(8)的一端与滑动杆(7)固定连接，所述安装块(1)的上表面固定连接有导轨(2)，所述导轨(2)的内部滑动连接有限位块(13)，所述限位块(13)的一侧面固定连接有缓冲弹簧(14)，所述缓冲弹簧(14)远离限位块(13)的一端固定连接有调整块(15)，所述导轨(2)的中部插接有顶块(16)，所述顶块(16)的背面插接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的外表面螺纹连接有固定块(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于：所述压缩弹簧(12)的上端与安装块(1)固定连接，所述安装块(1)的上表面开设有导槽，所述导槽的内部与...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡正道，陶为银，巩铁建，乔赛赛，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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