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本实用新型公开了一种晶圆定位装置，涉及晶圆生产设备技术领域，包括安装块和定位块，滑动杆的上端固定连接有压缩弹簧，转动杆远离滑动杆的一端通过转轴转动连接有滑动块，固定轴的外表面转动连接有拨杆，滑动轴的一端与滑动杆固定连接，限位块的一侧面固定连...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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