一种检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种检测装置，涉及硅片技术领域，检测装置包括：基座，所述基座上设有放置台；支架，所述支架设在所述基座上；摄像器，所述摄像器设在所述支架上且位于所述放置台的上方。在检测过程中，将硅片置于放置台上，通过摄像器对硅片进行摄像，根据摄像器获取的图像来检测打标位置信息，减少硅片的拿取，操作方便，检测效率高，检测结果准确度高，减少检测时硅片受划伤以及污染的风险。时硅片受划伤以及污染的风险。时硅片受划伤以及污染的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置


[0001]本技术涉及硅片
，具体涉及一种检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆作为半导体行业最为基础的材料，晶圆的制备工序多，加工复杂。其中，激光打标主要是为了在硅片背面根据要求留下一系列符号，区分硅片的正反面，同时确认每枚硅片的相关信息。由于打标的特殊性，一旦发生位置或信息的错误，往往会导致大批量的硅片报废，带来巨额的经济损失，因此，对打标的位置进行检查及验证是至关重要的。目前的检测方法检测不方便，拿取硅片困难，检测效率低下，易对硅片的表面造成损伤和污染。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种检测装置，用以解决检测硅片打标位置信息时不方便，易对硅片的表面造成损伤和污染的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术实施例提供一种检测装置，包括：
[0006]基座，所述基座上设有放置台；
[0007]支架，所述支架设在所述基座上；
[0008]摄像器，所述摄像器设在所述支架上且位于所述放置台的上方。<br/>[0009]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：基座，所述基座上设有放置台；支架，所述支架设在所述基座上；摄像器，所述摄像器设在所述支架上且位于所述放置台的上方；所述支架在所述基座上可移动。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支架包括：第一支架，所述第一支架垂直设在所述基座上；第二支架，所述第二支架的一端设在所述第一支架上，所述第二支架沿所述第一支架的长度方向可移动，所述摄像器设在所述第二支架的另一端。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一支架与所述第二支架分别为杆体，所述第一支架上设有沿所述第一支架的长度方向延伸的安装孔，所述第一支架的外周设有与所述安装孔连通的通孔，所述第二支架的一端设置于所述安装孔中，所述第二支架的一端沿所述安装孔的长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立易，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：