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本实用新型提供一种检测装置，涉及硅片技术领域，检测装置包括：基座，所述基座上设有放置台；支架，所述支架设在所述基座上；摄像器，所述摄像器设在所述支架上且位于所述放置台的上方。在检测过程中，将硅片置于放置台上，通过摄像器对硅片进行摄像，根据摄...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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