一种具有密封结构的真空腔室门体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有密封结构的真空腔室门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有多个固定杆，所述固定杆上设有固定气缸，所述固定气缸的活动方向朝向所述真空腔室设置；所述真空腔室的外壁上设有检测探头，检测探头位于本体向靠近开口活动的方向的一端上，且所述检测探头与所述固定气缸电连接；当所述检测探头检测到本体和开口重合时，控制固定气缸抵触在本体的表面上，将本体压紧在真空腔室的外壁上。本实用新型专利技术具有结构简单、连接便捷稳固的优点，有效地解决了现有的真空腔室门体密封结构通过机械连接的密封过程复杂繁琐，费时费力，导致人工成本增加的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有密封结构的真空腔室门体结构


[0001]本技术涉及真空腔室门体结构
，尤其涉及一种具有密封结构的真空腔室门体结构。

技术介绍

[0002]金属的镀膜工艺需要将镀膜腔室采用真空泵将腔室进行抽真空处理，然后通过门体结构上的观察窗观看金属的镀膜情况。目前，金属的镀膜生产线的腔室门体结构主要是的用于将金属钢卷以及送料车送入镀膜腔室内后，密封镀膜腔室，致使镀膜腔室可以进行抽真空处理，以便后续的镀膜。
[0003]传统的真空腔室门体密封主要是在门体和真空腔室上设置机械连接的结构，通过将门体和真空腔室固定后对真空腔室进行抽真空处理，利用门体外部和真空腔室内的压强差将门体压紧密封真空腔室。
[0004]虽然上述结构能够实现门体和真空腔室的连接密封，但是在上料完成后对真空腔室的密封需要通过人工操作利用机械连接结构将门体和真空腔室连接固定，过程复杂繁琐，重复性操作多，费时费力，浪费人工成本。
[0005]因此，有必要研究开发一种能够自动将门体固定在真空腔室上的密封结构，解决上述技术问题。

技术实现思路
<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有密封结构的真空腔室门体结构，包括可活动设于真空腔室(7)开口处的本体(1)，其特征在于，所述真空腔室(7)的外壁上位于开口上方的位置处设有多个固定杆(72)，所述固定杆(72)上设有固定气缸(2)，所述固定气缸(2)的活动方向朝向所述真空腔室(7)设置；所述真空腔室(7)的外壁上设有检测探头(5)，检测探头(5)位于本体(1)向靠近开口活动的方向的一端上，且所述检测探头(5)与所述固定气缸(2)电连接；当所述检测探头(5)检测到本体(1)和开口重合时，控制固定气缸(2)抵触在本体(1)的表面上，将本体(1)压紧在真空腔室(7)的外壁上。2.根据权利要求1所述的具有密封结构的真空腔室门体结构，其特征在于，所述真空腔室(7)的外壁上设有安装板(71)，所述固定杆(72)均匀分布在所述安装板(71)上，且所述检测探头(5)设于所述安装板(71)上。3.根据权利要求1所述的具有密封结构的真空腔室门体结构，其特征在于，所述固定杆(72)上设有第一固定块(721)，所述固定气缸(2)上设有与所述第一固定块(721)连接的第二固定块(22)。4.根据权利要求1所述的具有密封结构的真空腔室门体结构，其特征在于，所述固定气缸(2)的活塞杆上套设有压块(21)。5.根据权利要求1所述的具有密封结构的真空腔室门体结构，其特征在于，所述检测探头(5)端部设有检测杆(51)，当所述本体(1)和开口重...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈元，缪朴，袁尧，刘宗昆，陈登科，
申请(专利权)人：肇庆宏旺金属实业有限公司，
类型：新型
国别省市：