一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备制造技术

本发明专利技术公开了一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，包括安装于地面上的桶体和设置于桶体上端的盖板，所述盖板顶面的中心处安装有第一电机，第一电机的转轴延伸至盖板下端，并安装有电动滑台，电动滑台的移动平台上安装有第二电机，第二电机的转轴上安装有工件架，地面位于桶体的外侧设有环形槽，环形槽中滑动安装有一块以上的滑块，滑块上端均安装有底板，底板一端均垂直安装有挡板。本发明专利技术结构简单，增加了盖板移动时的稳定性，通过电动滑台能将工件架向一侧移动，且通过第二电机能带动工件架转动，使工件架内侧的产品能转至外侧，方便了取料和装料，且通过一块以上的挡板能将桶体除去取料处剩余区域全部挡住，增加了安全性。增加了安全性。增加了安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备


[0001]本专利技术涉及金属表面处理
，具体涉及一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备。

技术介绍

[0002]类金刚石薄膜是一种碳材料，部分碳原子以金刚石结构的sp3键结合，另一部分碳
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碳原子之间以石墨结构的sp2化学键结合，其兼具金刚石与石墨的优良性能。类金刚石薄膜最先于1971年在研究中被发现，经过数十年的发展，目前已经达到半工业化水平，在工业各领域包括航空航天、精密机械、微电子机械装置、磁盘存储器、汽车零部件、光学器材和生物医学等获得了产业化应用，可以大幅提高零部件寿命，节约零部件摩擦磨损所导致的能源与资源消耗。
[0003]类金刚石薄膜一般通过PVD离子镀膜机进行镀膜，主要方式是蒸发和溅射两种，沉降在基片表面，达到成膜。
[0004]真空镀膜机一般包括可开合的桶体的盖体、位于桶体内部的真空腔、设置于真空腔内用于喷料的溅射靶、连通于桶体上的真空泵；盖体上固定有用于固定基片的工件架，以及转动工件架的电机。由于真空镀膜机的体积和重量都很大，盖体只能通过起吊机构吊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其特征在于：包括安装于地面（13）上的桶体（1）和设置于桶体（1）上端的盖板（11），所述盖板（11）顶面的中心处安装有第一电机（9），第一电机（9）的转轴延伸至盖板（11）下端，并安装有电动滑台（12），电动滑台（12）的移动平台上安装有第二电机（8），第二电机（8）的转轴上安装有工件架（7），地面（13）位于桶体的外侧设有环形槽（14），环形槽（14）中滑动安装有一块以上的滑块（2），滑块（2）上端均延伸至外界，并均安装有底板（4），底板（4）一端均垂直安装有挡板（5），挡板（5）的内侧面均与盖板（11）的外圈面相触。2.根据权利要求1所述的超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其特征在于：环形槽（14）和滑块（2）的截面均呈燕尾状结构设置，滑块（2）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑小平，张星，祁鹏堂，胡玫，毛生红，陈奎，张天云，
申请(专利权)人：兰州工业学院，
类型：发明
国别省市：