高纯磷脱水脱氧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及高纯材料提纯装置技术领域，具体涉及一种高纯磷脱水脱氧装置，包括：盛料组件，用于盛放待处理的原料磷；加热组件，套装在盛料组件的外壁上；控制组件，包括温度指示控制器、热电偶以及调压器，其中，热电偶与温度指示控制器电连接，并设置在盛料组件的外壁上，调压器与加热组件连接以调整加热组件的加热功率；抽真空组件，用于保持盛料组件内的真空状态。通过设置加热组件以及抽真空组件，使得可以对含微量水的原料磷进行高温、真空处理，有效排除原料磷中水和氧分子，从而获得高纯磷。纯磷。纯磷。

【技术实现步骤摘要】
高纯磷脱水脱氧装置


[0001]本技术涉及高纯材料提纯装置
，具体涉及一种高纯磷脱水脱氧装置。

技术介绍

[0002]在半导体行业，高纯磷主要用于磷化铟和磷化镓等磷化物多晶的合成制备，是生产磷化铟和磷化镓等材料所需的重要原料，随着5G光通讯的迅猛发展，磷化铟受到更多青睐，高纯磷的用量会大大增加。在多晶合成时，原料磷中所含的微量水和氧会和镓、铟在高温下反应生成氧化物，变成浮渣，浮渣一方面影响多晶的化学原子配比，影响多晶的质量，另一方面会影响单晶的正常生长，增加晶变的概率，大大降低单晶的生产效率，并且水分子在高温下会和石英作用降低石英合成管的承压能力，增大炸炉的几率，对生产安全造成威胁。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本技术提出一种高纯磷脱水脱氧装置，解决上述至少一个技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术第一方面提供了一种高纯磷脱水脱氧装置，包括：
[0005]盛料组件，用于盛放待处理的原料磷；
[0006]加热组件，套装在所述盛料组件的外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯磷脱水脱氧装置，其特征在于，包括：盛料组件，用于盛放待处理的原料磷；加热组件，套装在所述盛料组件的外壁上；控制组件，包括温度表、热电偶以及调压器，其中，所述热电偶与所述温度表电连接，并设置在所述盛料组件的外壁上，所述调压器与所述加热组件连接以调整所述加热组件的加热功率；抽真空组件，用于保持所述盛料组件内的真空状态。2.根据权利要求1所述的高纯磷脱水脱氧装置，其特征在于，所述盛料组件包括：用于盛放待处理的原料磷的石英内管以及套装在所述石英内管外的石英外管，其中，所述热电偶设置在所述石英内管的外壁上，所述石英外管与所述抽真空组件连通。3.根据权利要求2所述的高纯磷脱水脱氧装置，其特征在于，所述加热组件包括:氧化铝管以及缠绕在所述氧化铝管外壁的加热线圈，所述氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：许兴，刘向前，马英俊，林泉，闵振东，李万朋，柴晨，魏巍，
申请(专利权)人：有研新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：