坩埚水冷机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种坩埚水冷机构，属于真空镀膜技术领域，包括水冷件，设置在所述坩埚底座的加工孔外部，用于供水对加工孔处的坩埚底座进行水冷；连接件，设置在所述水冷件的两端，用于将水从水冷件的一端导入，并从另一端导出。本实用新型专利技术通过在坩埚底座上设置水冷件与连接件配合，通过连接件将水导入坩埚底座内，通过坩埚底座将水加热后再导出，即将部分热量通过水带出，如此往复从而形成对坩埚底座进行连续水冷，保证了坩埚高效稳定运行。保证了坩埚高效稳定运行。保证了坩埚高效稳定运行。

【技术实现步骤摘要】
坩埚水冷机构


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体是坩埚水冷机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
[0003]目前的真空镀膜机中使用坩埚进行换料，由于坩埚主要由金属制成，导热性好，受电子枪加热时整体温度较高。
[0004]由于坩埚要做旋转运动，因此目前没有合适的散热装置进行稳定散热，导致换料无法高效进行。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种坩埚水冷机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]坩埚水冷机构，包括：
[0008]水冷件，设置在所述坩埚底座的加工孔外部，用于供水对加工孔处的坩埚底座进行水冷；
[0009]连接件，设置在所述水冷件的两端，用于将水从水冷件的一端导入，并从另一端导出。
[0010]作为本技术的进一步技术方案，所述水冷件包括：
[0011]水槽，开设在所述坩埚底座的一侧，所述水槽设置在加工孔外部并与其同轴设置；
[0012]水槽盖，设置在所述水槽内并与其相配合，用于对水槽进行密封。
[0013]作为本技术的更进一步技术方案，所述连接件包括：
[0014]进水单元，与所述水槽盖的一端相连通，用于将水导入水槽；
[0015]出水单元，与所述水槽盖远离进水单元的一端相连通，用于将水槽中的水导出。
[0016]作为本技术的再进一步技术方案，所述进水单元包括：
[0017]进水管，一端与所述水槽盖固定连接；
[0018]进水接头，固定安装在所述进水管远离水槽盖的一端。
[0019]作为本技术的再进一步技术方案，所述出水单元包括：
[0020]出水管，一端与所述水槽盖远离进水管的一端相连；
[0021]出水接头，固定安装在所述出水管远离水槽盖的一端。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过在坩埚底座上设置水冷件与连接件配合，通过连接件将水导入坩埚底座内，通过坩埚底座将水加热后再导出，即将部分热量通过水带出，如此往复从而形成对坩埚底座进行水冷，保证了坩埚高效稳定运行。
附图说明
[0023]图1为坩埚水冷机构的结构示意图；
[0024]图2为坩埚水冷机构中坩埚底座的结构示意图；
[0025]图3为坩埚水冷机构中水槽盖的结构示意图；
[0026]图4为另一实施例中坩埚水冷机构的结构示意图。
[0027]图中：1
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坩埚底座、2
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加工孔、3
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放料孔、4
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水冷件、5
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水槽、6
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水槽盖、7
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进水孔、8
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出水孔、9
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进水管、10
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进水接头、11
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出水管、12
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出水接头。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0029]本技术实施例是这样实现的，如图1
‑
4所示的坩埚水冷机构，包括：
[0030]水冷件4，设置在所述坩埚底座1的加工孔2外部，用于供水对加工孔2处的坩埚底座1进行水冷；
[0031]连接件，设置在所述水冷件4的两端，用于将水从水冷件4的一端导入，并从另一端导出。
[0032]本实施例在实际应用时，坩埚底座1开设有加工孔2和放料孔3，即在加工孔2内加工，加工时产生热量，加工后从放料孔3中将物料放出，为降低加工处的热量积累影响正常工作，通过连接件将外部供水设备的水导入水冷件4内，水在水冷件4内流动时，坩埚底座1的热量对水进行加热，加热后的水从连接件流出，从而将部分热量带走，如此往复，实现对坩埚底座1进行冷却，保证了坩埚底座1可以高效稳定运行。
[0033]如图2、3所示，作为本技术一个优选的实施例，所述水冷件4包括：
[0034]水槽5，开设在所述坩埚底座1的一侧，所述水槽5设置在加工孔2外部并与其同轴设置；
[0035]水槽盖6，设置在所述水槽5内并与其相配合，用于对水槽5进行密封。
[0036]在本实施例的一种情况中，通过水槽盖6对水槽5进行密封，水槽5内形成的密封空腔用于供水流动并带出热量，具体的，即在加热孔2的周围底部开一横截面为倒“凸”形的半环形槽，半环形槽两头延伸出同样横截面的两直槽（为了避开水槽5附近的从动齿轮），再满焊一同样外形的水槽盖6，就形成了一密闭的水槽腔。
[0037]如图3所示，作为本技术另一个优选的实施例，所述连接件包括：
[0038]进水单元，与所述水槽盖6的一端相连通，用于将水导入水槽5；
[0039]出水单元，与所述水槽盖6远离进水单元的一端相连通，用于将水槽5中的水导出。
[0040]在本实施例的一种情况中，水从进水单元导入水槽5一端内部，并从另一端导出，在水槽5内流动的过程中，通过水将部分热量吸收并带出，从而实现降温，为方便连接，在水槽盖6的一端开设进水孔7与进水单元配合，并在另一端开设出水孔8与出水单元配合。
[0041]如图3所示，作为本技术另一个优选的实施例，所述进水单元包括：
[0042]进水管9，一端与所述水槽盖6固定连接；
[0043]进水接头10，固定安装在所述进水管9远离水槽盖6的一端。
[0044]在本实施例的一种情况中，进水接头10方便与外部供水设备的进水通道连接，进
水管9安装在进水孔7的外部，在进水时外部供水设备与进水接头10连接，流进进水管9的水从进水孔7流入水槽5内进行吸热。
[0045]如图3所示，作为本技术另一个优选的实施例，所述出水单元包括：
[0046]出水管11，一端与所述水槽盖6远离进水管9的一端相连；
[0047]出水接头12，固定安装在所述出水管11远离水槽盖6的一端。
[0048]在本实施例的一种情况中，出水接头12方便与出水通道连接将热水排至合适位置，具体为出水管11一端安装在出水孔8外部，在排水时，水槽5内的水从出水孔8流入出水管11，然后再经过出水接头12流入出水通道，最后送到合适位置，或者在冷却后重新送入进水通道，进行循环冷却，更加节水。
[0049]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.坩埚水冷机构，用于对坩埚上的坩埚底座进行水冷，其特征在于，所述坩埚水冷机构包括：水冷件，设置在所述坩埚底座的加工孔外部，用于供水对加工孔处的坩埚底座进行水冷；连接件，设置在所述水冷件的两端，用于将水从水冷件的一端导入，并从另一端导出。2.根据权利要求1所述的坩埚水冷机构，其特征在于，所述水冷件包括：水槽，开设在所述坩埚底座的一侧，所述水槽设置在加工孔外部并与其同轴设置；水槽盖，设置在所述水槽内并与其相配合，用于对水槽进行密封。3.根据权利要求2所述的坩埚水冷机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，
申请(专利权)人：江苏葛西光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：