溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及薄膜技术

本发明专利技术公开了一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及得到的纳米复合相氧化钒柔性薄膜，预先通过反应溅射法在柔性衬底上沉积非晶态氧化钒薄膜，得到非晶氧化钒薄膜样品，然后将其在空气气氛中快速退火制备出纳米复合相氧化钒柔性薄膜。本发明专利技术制备的纳米复合相氧化钒柔性薄膜具有较高的可见光透过率和太阳光能量调制幅度，同时本制备方法设备依赖性低，操作简单，成品周期短，适用于工业化生产基于柔性衬底的氧化钒热致变色材料。基于柔性衬底的氧化钒热致变色材料。基于柔性衬底的氧化钒热致变色材料。

【技术实现步骤摘要】
溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及薄膜


[0001]本专利技术属于本专利技术涉及智能窗和薄膜材料领域，具体涉及一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的制备方法及得到的纳米复合相氧化钒柔性薄膜。

技术介绍

[0002]能源消费需求的不断增加导致二氧化碳排放超标，引起全球环境变暖等严重环境问题，减少能源消耗是一个全世界国家都亟需解决的问题。据统计，全球建筑行业能耗占据全球总能耗的32％，和能耗相关的二氧化碳排放占据二氧化碳排放总量的30％，并且建筑能耗正在逐年动态增长。世界各地的建筑物都要消耗大量的能源来维持室内温度，特别是发达国家的住宅和商业建筑的能源消耗持续快速增长，总量从20％到40％不等，已经超过了交通和工业部门的能源消耗。大量的能源用于运行空调设备来调节生活空间和建筑内部的温度，而适当的玻璃技术和材料可以用来减少能源消耗。
[0003]二氧化钒是一种典型的热致变色材料，在68℃的临界温度下经历金属
‑
绝缘体相变(MIT)。在温度低于二氧化钒相变温度时，其晶体结构呈现单斜相，处于半导体态，可允许大部分近红外光透本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法，其特征在于：预先通过反应溅射法在柔性衬底上沉积非晶态氧化钒薄膜，得到非晶氧化钒薄膜样品，然后将其在空气气氛中快速退火制备出纳米复合相氧化钒柔性薄膜。2.根据权利要求1所述的一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法，其特征在于：以纯度为99.99％的金属V靶为溅射源，以纯度大于99.99％的Ar为工作气体、纯度大于99.99％的O2为反应气体，采用低温反应溅射方法在柔性衬底上沉积非晶氧化钒薄膜，其中，非晶氧化钒薄膜中V/O原子比为0.45～1.0。3.根据权利要求1所述的一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法，其特征在于：低温反应溅射用于沉积非晶氧化钒薄膜时，衬底温度为30
‑
90℃。4.根据权利要求1所述的一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法，其特征在于：柔性衬底为厚度为0.02
‑
0.1mm的聚酰亚胺膜。5.根据权利要求1所述的一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法，其特征在于反应溅射法在柔性衬底上沉积非晶态氧化钒薄膜包括以下步骤：
①
将聚酰亚胺衬底依次置于丙酮和无水乙醇中超声清洗20
‑
30分钟，之后保存于无水乙醇中，待使用时用氮气吹干备用；
②
将步骤
①
中的聚酰亚胺衬底置于反应溅射腔室，再将腔室真空度抽至2*10
‑3‑
5*10
‑3Pa；
③
在3
‑
8Pa的纯氩气压下，对纯钒金属靶进行预溅射5
‑
10分钟，去...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾德恩，高靖，周鑫，平依瑶，于松雷，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：