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本发明公开了一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及得到的纳米复合相氧化钒柔性薄膜，预先通过反应溅射法在柔性衬底上沉积非晶态氧化钒薄膜，得到非晶氧化钒薄膜样品，然后将其在空气气氛中快速退火制备出纳米复合相氧化钒柔性薄膜。本发明制备的纳米...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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