用于硅片的分片装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于硅片的分片装置，包括：水槽，用于储存水；座体，位于水槽内部；片托，用于装载硅片堆垛，片托连同硅片堆垛能够被浸没在水槽的水中；升降机构，其与所述的片托传动设置，以驱动装载有硅片堆垛的片托沿上下方向移动；吸片输送机构，用于从硅片堆垛的上侧吸起最上层的单张硅片并向后侧传输，吸片输送机构包括至少一个吸嘴以及传送组件，至少一个吸嘴以及所述的传送组件能够被浸没在水槽的水中；以及分片机构，包括设置在水槽内的两组喷水器，两组喷水器位于至少一个吸嘴的下侧；两组喷水器左右相对设置，以吹散放置于所述片托上的所述硅片堆垛的上层硅片。该分片装置能够防止发生崩边和破碎的情况。置能够防止发生崩边和破碎的情况。置能够防止发生崩边和破碎的情况。

【技术实现步骤摘要】
用于硅片的分片装置


[0001]本申请涉及硅片的生产制造
，尤其是涉及一种用于硅片的分片装置。

技术介绍

[0002]硅片分片装置用于将切割好并经过初步清洗的硅片堆垛中分离出单片的硅片并依次插入到花篮上。未分离的硅片之间存在着碎屑、静电以及表面张力，因而硅片分离时容易出现崩边或者破裂的情况，造成经济损失。

技术实现思路

[0003]为了解决上述硅片分离时容易出现崩边或者破裂的技术问题，本申请的目的是提供一种改善型的分片装置，该分片装置能够降低硅片分离时发生崩边和破裂的概率。
[0004]为了实现上述的目的，本申请提供一下技术方案：一种用于硅片的分片装置，包括：水槽，用于存储水；座体，位于水槽内部；片托，用于装载硅片堆垛，所述的片托能够连同所述的硅片堆垛被浸没在所述水槽的水中；升降机构，其与所述的片托传动设置，以驱动装载有所述硅片堆垛的所述片托沿上下方向移动；吸片输送机构，用于从所述硅片堆垛的上侧吸起最上层的单张硅片并向后侧传输，所述的吸片输送机构包括至少一个吸嘴以及传送组件，所述的至少一个吸嘴以及部分所述的传送组件能够被浸没在所述水槽的水中；以及分片机构，包括设置在所述水槽内的两组喷水器，所述的两组喷水器位于所述至少一个吸嘴的下侧；所述的两组喷水器左右相对设置，以吹散放置于所述片托上的所述硅片堆垛的上层硅片。
[0005]在上述的技术方案中，优选地，所述的片托包括一上壁，所述的上壁用于支撑所述的硅片堆垛，所述的上壁为自后向前逐渐向下倾斜的壁。进一步优选地，所述的传送组件包括传送带，所述的传送带具有一与所述上壁平行的倾斜段。
[0006]在上述的优选方案中，进一步优选地，所述的至少一个吸嘴位于所述倾斜段上侧并邻近所述的倾斜段。还可以进一步优化地，所述的传送带包括两组并排设置的带体，所述的至少一个吸嘴位于两租所述的带体之间。
[0007]在上述的技术方案中，优选地，各组所述的喷水器均包含一前一后两个喷嘴头。
[0008]在上述的技术方案中，优选地，所述的升降机构还包括一升降电机以及与所述升降电机传动连接的升降块，所述的升降块被设置成与所述的片托传动连接。进一步优选地，所述的升降电机为一步进电机。
[0009]在上述的技术方案中，优选地，所述的水槽内具有一纵向隔板，所述的纵向隔板将所述水槽的内部空间分隔成前后相邻的分片室和出片室，所述的片托、所述的两组喷水器均位于所述的分片室。
[0010]相较于现有技术，本申请所提供的分片装置能够通过设置在硅片堆垛左右两侧的喷水器吹散硅片堆垛的上层硅片，使得硅片分离时受力均匀，不易产生较大的形变和局部应力，从而防止发生崩边和破碎的情况。
附图说明
[0011]图1为本申请所提供的分片装置的立体视图一；图2为图1所述的分片装置的立体视图二，其中水槽被移开；图3为本申请所提供的水槽的立体视图；图4为本申请所提供的升降机构的立体视图；图5为本申请所提供的分片机构的立体视图；图6为本申请所提供的出料机构的立体视图；图7为图6所述出料机构的左视图，其中，吸水板被移除图中；图8为本申请所提供的冲洗器的立体视图；图9为本申请所提供的分片装置的工作原理示意图。
具体实施方式
[0012]为详细说明专利技术的
技术实现思路
、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以提供对专利技术的各种示例性实施例或实施方式的详细说明。然而，各种示例性实施例也可以在没有这些具体细节或者在一个或更多个等同布置的情况下实施。此外，各种示例性实施例可以不同，但不必是排他的。例如，在不脱离专利技术构思的情况下，可以在另一示例性实施例中使用或实现示例性实施例的具体形状、构造和特性。
[0013]此外，本申请中，诸如“在
……
之下”、“在
……
下方”、“在
……
下”、
ꢀ“
下”、“在
……
上方”、“上”、“在
……
之上”、“较高的”、“侧”(例如，如在“侧壁”中)等的空间相对术语，由此来描述如附图中示出的一个元件与另一(其它)元件的关系。空间相对术语意图包括设备在使用、操作和/或制造中除了附图中描绘的方位之外的不同方位。例如，如果附图中的设备被翻转，则被描述为“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件随后将被 定位为“在”所述其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在
……
下方”可以包括上方和下方两种方位。此外，设备可以被另外定位(例如，旋转90度或者在其它方位处)，如此，相应 地解释在此使用的空间相对描述语。
[0014]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。
[0015]图1
‑
2示出了本申请所提供的分片装置100，分片装置100能够从硅片堆垛10（见图8）中分离出单片硅片并将分离后的单张硅片向外传送。分片装置100包括用于存放水的水槽1、位于水槽1内的座体2、用于带动硅片堆垛10升降的升降机构3、从硅片堆垛10中分离出单张硅片的分片机构4、将分离出的硅片向外传送的吸片输送机构5以及用于放置硅片堆垛10的片托6。
[0016]结合图3，水槽1内具有一纵向隔板13，隔板13将水槽1的内部空间分隔成分片室11和邻接于分片室11后侧的出片室12。座体2浸没在分片室11的水中并具有一对左右相对设置的入料带21，入料带21自前向后延伸并后部邻接于升降底板35（见下文），入料带21被设置成用于带动片托6在分片室内前后移动。
[0017]升降机构3固定连接于水槽1壁面上。如图4所示，升降机构3包括升降电机31、与升降电机31传动连接的螺纹柱32、沿竖直方向延伸的滑轨33、可沿滑轨33上下移动的升降块34以及与升降块34传动连接的升降底板36。升降块34被配置成一侧端部铰接于螺纹柱32并且另一侧端部活动连接于滑轨33，螺纹柱32能够将升降电机31的转动转化为升降块34的上下移动。其中，升降电机31为一两相步进电机，升降电机31每转动一个脉冲角度，升降块34便产生一个与单片硅片厚度相同的位移。
[0018]片托6包括片托底板61、片托底板61朝向出料机构5的上壁64、位于上壁64左右两侧的一对侧托板63以及位于上壁64前侧的前托板62。片托底板61、一对侧托板63以及前托板62固定连接于片托底板61上并且共同限定成用于收纳和放置硅片堆垛的空间。上壁64被配置成至后向前逐渐向下倾斜，以防止放置于上壁上的硅片堆垛发生倾覆。片托底板61被配置成能够与升降底板36接合以及相互分离，升降块34被配置成通过一对传动轴35与升降底板35传动连接并通过升降底板36带动整个片托6以及放置于片托6内部的硅片堆垛一起进行升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的分片装置，其特征在于，包括：水槽（1），用于存储水；片托（6），用于装载硅片堆垛（10），所述的片托（6）能够连同所述的硅片堆垛（10）被浸没在所述水槽（1）的水中；升降机构（3），其与所述的片托（6）传动设置，以驱动装载有所述硅片堆垛（10）的所述片托（6）沿上下方向移动；吸片输送机构（5），能够从所述硅片堆垛（10）的上侧吸起最上层的单张硅片并向后侧传输，所述的吸片输送机构（5）包括至少一个吸嘴（56）以及传送组件（52），所述的至少一个吸嘴（56）以及部分所述的传送组件（52）能够被浸没在所述水槽（1）的水中；以及分片机构（4），包括设置在所述水槽（1）内的两组喷水器（42），所述的两组喷水器（42）位于所述至少一个吸嘴（56）的下侧；所述的两组喷水器（42）左右相对设置，以吹散放置于所述片托（6）上的所述硅片堆垛（10）的上层硅片。2.根据权利要求1所述的用于硅片的分片装置，其特征在于，所述的片托（6）包括一上壁（64），所述的上壁（64）能够支撑所述的硅片堆垛（10），所述的上壁（64）为自后向前逐渐向下倾斜的壁面。3.根据权利要求2所述的用于硅片的分片装置，其特征在于，所述的传送组件（52）包括传送带...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，何志明，陆进进，丁晓，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：发明
国别省市：