一种微电子自动化设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微电子自动化设备，包括箱体，所述箱体底面固定连接有支撑腿，所述箱体顶面左侧固定插接有第一进液管，所述箱体左侧壁设有第一密封门，所述箱体内壁左侧中部固定连接有第一过滤板，所述箱体内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板，且第一过滤板右端与挡板左侧面固定连接，所述挡板中部嵌设有电磁阀门，所述挡板右侧面固定连接有第二过滤板，且第二过滤板正面、背面和右侧面均与箱体内壁固定连接。在使用中实现了便于对微电子产品进行全面彻底清洗的效果，有效提升了清洗效果，达到了快速清除微电子产品表面杂质的目标，提升了生产的自动化程度，保障了生产加工进度，实用性较好。实用性较好。实用性较好。

【技术实现步骤摘要】
一种微电子自动化设备


[0001]本技术涉及微电子生产设备
，尤其涉及一种微电子自动化设备。

技术介绍

[0002]微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和，是一门作用于半导体上的微小型集成电路系统的学科。微电子自动化设备是指在微电子产品生产过程中进行自动化操作的设备。
[0003]微电子产品生产过程中需要对产品进行清洗，去除表面的氧化膜或灰尘等杂质，以便提升产品质量。现有的微电子产品清洗设备大多功能较为简单，自动化程度不高，清洗效果不佳，难以对微电子产品进行全面彻底清洗，难以快速清除微电子产品表面杂质，影响加工生产进度。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种微电子自动化设备，解决了现有的微电子产品清洗设备难以对微电子产品进行全面彻底清洗，难以快速清除微电子产品表面杂质，清洗效果不佳的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种微电子自动化设备，包括箱体，所述箱体底面固定连接有支撑腿，所述箱体顶面左侧固定插接有第一进液管，所述箱体左侧壁设有第一密封门，所述箱体内壁左侧中部固定连接有第一过滤板，所述箱体内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板，且第一过滤板右端与挡板左侧面固定连接，所述挡板中部嵌设有电磁阀门，所述挡板右侧面固定连接有第二过滤板，且第二过滤板正面、背面和右侧面均与箱体内壁固定连接，所述箱体顶面右侧固定安装有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱左端通过轴承转动连接有固定座，且固定座底面与箱体顶面固定连接，所述螺纹柱表面螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管底面固定连接有连接杆，所述箱体顶面右侧贯通开设有第一滑槽，且连接杆表面与第一滑槽内壁滑动连接，所述连接杆底面固定连接有雾化喷头，所述雾化喷头右端固定连接有第二进液管，所述箱体右侧壁顶部横向贯通开设有第二滑槽，且第二进液管表面与第二滑槽内壁滑动连接，所述箱体右侧面中部设有第二密封门，所述箱体底面左侧嵌设有第一排液阀，所述箱体底面右侧嵌设有第二排液阀。
[0007]优选的，所述箱体顶面左侧固定安装有第二电机，且第二电机位于第一进液管右侧。
[0008]优选的，所述第二电机输出端固定连接有转轴，所述转轴底部固定连接有搅拌叶片。
[0009]优选的，所述第一过滤板为倾斜设置。
[0010]优选的，所述连接杆为棱柱状结构，所述第一滑槽为长方形通槽。
[0011]优选的，所述支撑腿的数量为四个，且四个支撑腿分别位于箱体底面近四角处。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、该微电子自动化设备，通过第一密封门放入微电子产品，通过第一进液管加入清洗剂进行浸泡清洗，浸泡完成后通过第一排液阀将溶液排出，再开启电磁阀门，使得微电子产品到达第二过滤板顶面，通过第二进液管和雾化喷头进行喷淋冲洗，通过第一电机驱动螺纹柱转动，从而带动螺纹管、连接杆和雾化喷头左右移动冲洗，即可全面清洗，在使用中实现了便于对微电子产品进行全面彻底清洗的效果，有效提升了清洗效果，达到了快速清除微电子产品表面杂质的目标，提升了生产的自动化程度，保障了生产加工进度，实用性较好。
[0014]2、通过第二电机驱动转轴转动，从而带动搅拌叶片转动，对浸泡溶液进行搅拌，使得清洗剂与微电子产品表面充分接触，有效加快了清洗进程，进一步提升了浸泡清洗的效率，提升了清洗效果。
附图说明
[0015]图1为本技术结构正剖图；
[0016]图2为本技术结构另一正剖图。
[0017]图中：1箱体、2支撑腿、3第一进液管、4第一密封门、5第一过滤板、6挡板、7电磁阀门、8第二过滤板、9第一电机、10螺纹柱、11固定座、12螺纹管、13连接杆、14第一滑槽、15雾化喷头、16第二进液管、17第二滑槽、18第二密封门、19第一排液阀、20第二排液阀、21第二电机、22转轴、23搅拌叶片。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例一：参照图1，一种微电子自动化设备，包括箱体1，箱体1底面固定连接有支撑腿2，支撑腿2的数量为四个，且四个支撑腿2分别位于箱体1底面近四角处，设置四个支撑腿2使得对于箱体1的支撑更加稳定，箱体1顶面左侧固定插接有第一进液管3，箱体1左侧壁设有第一密封门4，箱体1内壁左侧中部固定连接有第一过滤板5，第一过滤板5为倾斜设置，使得电磁阀门7开启后，微电子产品能在重力作用下到达第二过滤板8顶面，箱体1内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板6，且第一过滤板5右端与挡板6左侧面固定连接，挡板6中部嵌设有电磁阀门7，挡板6右侧面固定连接有第二过滤板8，且第二过滤板8正面、背面和右侧面均与箱体1内壁固定连接，箱体1顶面右侧固定安装有第一电机9，第一电机9输出端固定连接有螺纹柱10，螺纹柱10左端通过轴承转动连接有固定座11，且固定座11底面与箱体1顶面固定连接，螺纹柱10表面螺纹连接有螺纹管12，螺纹管12底面固定连接有连接杆13，箱体1顶面右侧贯通开设有第一滑槽14，且连接杆13表面与第一滑槽14内壁滑动连接，连接杆13为棱柱状结构，第一滑槽14为长方形通槽，通过连接杆13和第一滑槽14配合，防止
螺纹管12发生转动，连接杆13底面固定连接有雾化喷头15，雾化喷头15右端固定连接有第二进液管16，箱体1右侧壁顶部横向贯通开设有第二滑槽17，且第二进液管16表面与第二滑槽17内壁滑动连接，箱体1右侧面中部设有第二密封门18，箱体1底面左侧嵌设有第一排液阀19，箱体1底面右侧嵌设有第二排液阀20，该微电子自动化设备，通过第一密封门4放入微电子产品，通过第一进液管3加入清洗剂进行浸泡清洗，浸泡完成后通过第一排液阀19将溶液排出，再开启电磁阀门7，使得微电子产品到达第二过滤板8顶面，通过第二进液管16和雾化喷头15进行喷淋冲洗，通过第一电机9驱动螺纹柱10转动，从而带动螺纹管12、连接杆13和雾化喷头15左右移动冲洗，即可全面清洗，在使用中实现了便于对微电子产品进行全面彻底清洗的效果，有效提升了清洗效果，达到了快速清除微电子产品表面杂质的目标，提升了生产的自动化程度，保障了生产加工进度，实用性较好。
[0020]实施例二：参照图2，一种微电子自动化设备，包括箱体1，箱体1底面固定连接有支撑腿2，支撑腿2的数量为四个，且四个支撑腿2分别位于箱体1底面近四角处，设置四个支撑腿2使得对于箱体1的支撑更加稳定，箱体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微电子自动化设备，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)底面固定连接有支撑腿(2)，所述箱体(1)顶面左侧固定插接有第一进液管(3)，所述箱体(1)左侧壁设有第一密封门(4)，所述箱体(1)内壁左侧中部固定连接有第一过滤板(5)，所述箱体(1)内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板(6)，且第一过滤板(5)右端与挡板(6)左侧面固定连接，所述挡板(6)中部嵌设有电磁阀门(7)，所述挡板(6)右侧面固定连接有第二过滤板(8)，且第二过滤板(8)正面、背面和右侧面均与箱体(1)内壁固定连接，所述箱体(1)顶面右侧固定安装有第一电机(9)，所述第一电机(9)输出端固定连接有螺纹柱(10)，所述螺纹柱(10)左端通过轴承转动连接有固定座(11)，且固定座(11)底面与箱体(1)顶面固定连接，所述螺纹柱(10)表面螺纹连接有螺纹管(12)，所述螺纹管(12)底面固定连接有连接杆(13)，所述箱体(1)顶面右侧贯通开设有第一滑槽(14)，且连接杆(13)表面与第一滑槽(14)内壁滑动连接，所述连接杆(13)底面固定连接有雾化喷头(15)，所述雾化喷头(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟淑杰，张大伟，
申请(专利权)人：营口理工学院，
类型：新型
国别省市：