一种微电子自动化设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微电子自动化设备，包括箱体，所述箱体底面固定连接有支撑腿，所述箱体顶面左侧固定插接有第一进液管，所述箱体左侧壁设有第一密封门，所述箱体内壁左侧中部固定连接有第一过滤板，所述箱体内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板，且第一过滤板右端与挡板左侧面固定连接，所述挡板中部嵌设有电磁阀门，所述挡板右侧面固定连接有第二过滤板，且第二过滤板正面、背面和右侧面均与箱体内壁固定连接。在使用中实现了便于对微电子产品进行全面彻底清洗的效果，有效提升了清洗效果，达到了快速清除微电子产品表面杂质的目标，提升了生产的自动化程度，保障了生产加工进度，实用性较好。实用性较好。实用性较好。

【技术实现步骤摘要】
一种微电子自动化设备


[0001]本技术涉及微电子生产设备
，尤其涉及一种微电子自动化设备。

技术介绍

[0002]微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和，是一门作用于半导体上的微小型集成电路系统的学科。微电子自动化设备是指在微电子产品生产过程中进行自动化操作的设备。
[0003]微电子产品生产过程中需要对产品进行清洗，去除表面的氧化膜或灰尘等杂质，以便提升产品质量。现有的微电子产品清洗设备大多功能较为简单，自动化程度不高，清洗效果不佳，难以对微电子产品进行全面彻底清洗，难以快速清除微电子产品表面杂质，影响加工生产进度。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种微电子自动化设备，解决了现有的微电子产品清洗设备难以对微电子产品进行全面彻底清洗，难以快速清除微电子产品表面杂质，清洗效果不佳的问题。
>[0005]为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微电子自动化设备，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)底面固定连接有支撑腿(2)，所述箱体(1)顶面左侧固定插接有第一进液管(3)，所述箱体(1)左侧壁设有第一密封门(4)，所述箱体(1)内壁左侧中部固定连接有第一过滤板(5)，所述箱体(1)内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板(6)，且第一过滤板(5)右端与挡板(6)左侧面固定连接，所述挡板(6)中部嵌设有电磁阀门(7)，所述挡板(6)右侧面固定连接有第二过滤板(8)，且第二过滤板(8)正面、背面和右侧面均与箱体(1)内壁固定连接，所述箱体(1)顶面右侧固定安装有第一电机(9)，所述第一电机(9)输出端固定连接有螺纹柱(10)，所述螺纹柱(10)左端通过轴承转动连接有固定座(11)，且固定座(11)底面与箱体(1)顶面固定连接，所述螺纹柱(10)表面螺纹连接有螺纹管(12)，所述螺纹管(12)底面固定连接有连接杆(13)，所述箱体(1)顶面右侧贯通开设有第一滑槽(14)，且连接杆(13)表面与第一滑槽(14)内壁滑动连接，所述连接杆(13)底面固定连接有雾化喷头(15)，所述雾化喷头(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟淑杰，张大伟，
申请(专利权)人：营口理工学院，
类型：新型
国别省市：