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本实用新型公开了一种微电子自动化设备，包括箱体，所述箱体底面固定连接有支撑腿，所述箱体顶面左侧固定插接有第一进液管，所述箱体左侧壁设有第一密封门，所述箱体内壁左侧中部固定连接有第一过滤板，所述箱体内壁顶面中部与内壁底面中部固定连接有挡板，且...
该专利属于营口理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过营口理工学院授权不得商用。

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