金刚线切片装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种金刚线切片装置，包括机架主体，其内部设有切割室，还包括：两个偏心固定轴承箱，两个偏心固定轴承箱固定在机架主体的外侧壁，且两个偏心固定轴承箱的内的主辊固定杆朝彼此远离的方向偏心设置；两个偏心活动轴承箱，两个偏心活动轴承箱固定在机架主体的另一外侧壁上，且两个偏心活动轴承箱分别与两个偏心固定轴承箱相对设置，且两个偏心活动轴承箱分别与两个主辊固定杆偏心连接；两个主辊轮，两个主辊轮分别套设于两个主辊固定杆上，并设于切割室内，两个主辊轮之间的间距用于容纳尺寸小于等于182mm硅方的接料盒。该装置在不改变机架主体的基础上，只针对固定轴承箱和活动轴承箱进行改善，轴承箱安装调整方便，改造速度快，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
金刚线切片装置


[0001]本专利技术涉及一种金刚线切片装置。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的迅速发展，对于硅片的切割技术要求越来越高。目前，金刚线多线切片机在向大尺寸、细线化、薄片化发展。然而现有的金刚线切片机的切割室内环境只能满足常规尺寸(156
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158.75mm)硅方的切割，对于大于该范围尺寸的硅方，无法正常进行切割。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供一种金刚线切片机，用以解决现有的金刚线切割机无法对大尺寸的硅方进行切割的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]根据本专利技术实施例的金刚线切片机，包括机架主体，所述机架主体内部设有切割室，两个偏心固定轴承箱，两个所述偏心固定轴承箱固定在所述机架主体的外侧壁，且两个所述偏心固定轴承箱的内的主辊固定杆朝彼此远离的方向偏心设置；两个偏心活动轴承箱，两个所述偏心活动轴承箱固定在所述机架主体的另一外侧壁上，且两个所述偏心活动轴承箱分别与两个所述偏心固定轴承箱相对设置，且两个所述偏心活动轴承箱分别与两个所述主辊固定杆偏心连接；两个主辊轮，两个所述主辊轮分别套设于两个所述主辊固定杆上，并设于所述切割室内，两个主辊轮之间的间距用于容纳盛装直径或边长小于等于182mm硅方的接料盒。
[0006]根据本专利技术实施例的金刚线切片机，通过将原有的活动轴承箱和固定轴承箱的主辊固定杆(主辊轮轴)偏心设置，再不需对原有切片机大改动的情况下，增加了两个主辊轮之间的间距。从而实现对原有设备稍作改动就可以对尺寸大于158.75mm的硅方，也能够正常进行切割，提升了金刚线多线切片机的性能及实用性。
[0007]根据本专利技术的一个实施例，两个所述主辊固定杆之间的轴间距大于380mm，小于等于430mm。该范围的轴间距可以兼容尺寸为155
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182mm的硅方，可以根据需要调整不同的轴间距，使用更加灵活。
[0008]优选地，所述主辊轮的直径范围在217～224.5mm之间。该尺寸可以确保缠绕在两个主辊轮上的上、下钢丝绳之间留有足够的空间，便于容纳接料盒和大尺寸的硅方。
[0009]根据本专利技术的一个实施例，两个所述主辊固定杆之间的轴间距为430mm，所述主辊轮的直径为224.5mm。该尺寸可以实现对尺寸为182mm硅方进行切割。
[0010]根据本专利技术的一个实施例，装置还包括所述接料盒，所述接料盒的外侧壁与所述主辊轮之间设有第一间距。
[0011]根据本专利技术的一个实施例，所述接料盒的底部与所述主辊轮的下边缘之间设有第二间距，所述接料盒的上端边缘与所述主辊轮的上边缘之间设有第三间距。
[0012]根据本专利技术的一个实施例，所述第二间距的范围在3～5mm。
[0013]本专利技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0014]根据本专利技术实施例的金刚线切片装置，在对切割机机架主体不做改变的情况下，对切割室的内部主辊固定杆采用偏心轴设计，左右两根固定杆分别向两边偏移一定量，增加两侧主辊固定杆的轴间距，使得分别安装在两个主辊固定杆上的两个主辊轮的间距增大，可以容纳更大尺寸的硅方。装置的整体改变较小，实用性大大增强，提升了金刚线多线切片机的性能及实用性。
附图说明
[0015]图1a为现有的切片装置的结构示意图；
[0016]图1b为现有的切片装置的另一角度的结构示意图；
[0017]图2为本专利技术实施例的金刚线切片装置的结构示意图；
[0018]图3为本专利技术实施例的金刚线切片装置的结构示意图。
[0019]附图标记：
[0020]现有的金刚线切片装置100；左侧主辊轮110；右侧主辊轮120；接料盒130；常规尺寸的硅方140；上线网151；下线网152；传动电机160；固定轴承箱170；主辊固定杆180；活动轴承箱190；
[0021]本专利技术的金刚线切片装置200；第一主辊轮210；第二主辊轮220；大尺寸接料盒230；大尺寸硅方240；上金刚线网251；下金刚线网252；电机260；偏心固定轴承箱270；第一主辊固定杆280；第二主辊固定杆290；偏心活动轴承箱300。
具体实施方式
[0022]下面为了便于对本专利技术的技术方案的理解，对现有技术的金刚线切片装置进行描述。
[0023]参考图1a
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1b，图1a示出了现有技术的金刚线切片装置，如图1a所示，该装置100包括左侧主辊轮110、右侧主辊轮120、接料盒130、常规尺寸的硅方140、金刚线的线网、工件板和塑料板。其中，左侧主辊轮110和右侧主辊轮120的中心点之间的间距为380mm，接料盒130位于左侧主辊轮110和右侧主辊轮120之间，常规尺寸的硅方140可放置在该接料盒130内。金刚线的线网分别绕过左侧主辊轮110和右侧主辊轮120，形成了上线网151和下线网152。其中接料盒130的下边缘位于下线网152上方并形成有一定间隙，上边缘位于上线网151下方，并形成一定的间隙。从而可以避免接料盒130与金刚线接触，影响金刚线的正常切割。
[0024]参考图1b，图1b示出了现有技术的金刚线切片装置的俯视结构示意图。如图1b所示，该切片装置除上述图1a中描述的结构外，还包括传动电机160，固定轴承箱170，主辊固定杆180和活动轴承箱190。结合图1a所示，左侧主辊轮110和右侧主辊轮120分别套设于两个主辊固定杆180外周，并且两个主辊固定杆180的两端分别通过固定轴承箱170和活动轴承箱190固定在金刚线切片装置的切割室内部，并在传动电机160的带动下，两个主辊固定杆180分别带着左侧主辊轮110和右侧主辊轮120同心轴旋转，即固定轴承箱170和活动轴承箱190用于安装轴承的安装孔的孔心与轴承箱轴心同心。
[0025]在切片时，接料盒130固定在左侧主辊轮110和右侧主辊轮120之间，切割时需要将
硅方140放在接料盒130内，由于现有的硅方140尺寸在156
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158.75mm范围内，因此，现有的金刚线切片装置的左侧主辊轮110和右侧主辊轮120之间的间距，以及接料盒130的尺寸都是针对尺寸在156～158.75mm范围内硅方140进行的设计的。而随着硅方140的切片要求在向大尺寸、薄片化发展，大尺寸硅方140的尺寸可以达到166～182mm，若将大尺寸硅方140应用于现有的金刚线接片装置，会与左侧主辊轮110和右侧主辊轮120形成尺寸的干涉，进而无法正常切割大尺寸硅片。并且若按照现有的设备对整个金刚线切片装置的规模放大，制造更大尺寸的金刚线切片装置，不仅制造成本高，且整体的体积变大，占地空间大。
[0026]基于上述专利技术人发现的技术问题，专利技术人开发了本专利技术提供的金刚线切片装置，以解决现有技术存在的技术问题。
[0027]下面结合具体实施例，对本专利技术的金刚线切片装置200进行详细的描述。
[0028]参考图2，图2示出了本申请的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切片装置，包括机架主体，所述机架主体内部设有切割室，其特征在于，还包括：两个偏心固定轴承箱(270)，两个所述偏心固定轴承箱(270)固定在所述机架主体的外侧壁，且两个所述偏心固定轴承箱(270)内的主辊固定杆朝彼此远离的方向偏心设置；两个偏心活动轴承箱(300)，两个所述偏心活动轴承箱(300)固定在所述机架主体的另一外侧壁上，且两个所述偏心活动轴承箱(300)分别与两个所述偏心固定轴承箱(300)相对设置，且两个所述偏心活动轴承箱(300)分别与两个所述主辊固定杆偏心连接；两个主辊轮，两个所述主辊轮分别套设于两个所述主辊固定杆上，并设于所述切割室内，两个主辊轮之间的间距用于容纳直径或边长小于等于182mm硅方的接料盒(230)。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郇雷雷，马辉东，高稳，
申请(专利权)人：晶海洋半导体材料东海有限公司，
类型：发明
国别省市：