臭氧产生装置以及臭氧产生装置机组制造方法及图纸

目的在于即使为了增加臭氧生成量而增加放电单元的数量也抑制臭氧产生装置的大型化。一种臭氧产生装置(1)，具备：圆柱状的多个放电单元(2)，通过放电使臭氧产生；散热器(3)，具有在与放电单元的轴向正交的方向上多个放电单元排列而被插入的插入孔；以及冷却器，输出对散热器进行冷却的制冷剂，其中，冷却器输出制冷剂的方向为与多个放电单元排列的方向平行的方向。的方向。的方向。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧产生装置以及臭氧产生装置机组


[0001]本申请涉及臭氧产生装置以及臭氧产生装置机组。

技术介绍

[0002]臭氧(O3)具有强氧化力。利用其强氧化力，臭氧在涉及净水及污水处理领域中的水净化、杀菌、灭菌及除臭和半导体制造领域中的表面清洁等诸多领域被使用。随着近年来环保意识的提高、电子设备的需求增加等，高效且紧凑的臭氧产生装置的需求逐渐增加。
[0003]作为在工业上产生臭氧的方法，通常有如下方法：使氧气(O2)或含有氧气的原料气体流过放电空隙，对放电空隙施加电场而使之产生无声放电，利用该放电能量生成臭氧。根据当前的臭氧产生装置，输入功率当中有助于臭氧生成的能量为约10％，剩余的90％的能量在放电空隙中作为热能被释放。当由于该热能而放电空隙变为高温时，生成的臭氧由于热量被分解而导致臭氧的产生效率显著降低。因此，在臭氧产生装置中通常通过冷却器来进行放电空隙的冷却。
[0004]作为具备冷却器的臭氧产生装置，公开了如下臭氧产生装置：将圆柱状的多个放电单元沿一个方向排列，设置与该放电单元接触的风冷翅片，从与多个放电单元沿一个方向排列的方向正交的方向吹送冷却风来冷却放电单元(例如参照专利文献1)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2015
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67464号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的技术课题
[0009]关于圆柱状的放电单元，为了维持稳定的放电以及得到高的臭氧生成效率，放电空隙的比表面积大是有利的。另外，用1个放电单元生成的臭氧量是有限的。因此，在要增加臭氧生成量的情况下，需要使放电单元变长并且增加排列配置的放电单元的数量。在以往的臭氧产生装置中，由于从与多个放电单元沿一个方向排列的方向正交的方向吹送冷却风来冷却放电单元，因此当为了增加臭氧生成量而增加放电单元的数量时，需要扩大吹送冷却风的面积。因此，随着放电单元的数量的增加还需要增加冷却器，存在臭氧产生装置大型化的问题。
[0010]本申请是为了解决上述的技术课题而做出的，目的在于即使在为了增加臭氧生成量而增加了放电单元的数量的情况下也抑制臭氧产生装置的大型化。
[0011]用于解决技术课题的技术方案
[0012]本申请的臭氧产生装置具备：圆柱状的多个放电单元，通过放电使臭氧产生；散热器，具有在与放电单元的轴向正交的方向上多个放电单元排列而被插入的插入孔；以及冷却器，输出对散热器进行冷却的制冷剂，其中，冷却器输出制冷剂的方向为与多个放电单元排列的方向平行的方向。
[0013]专利技术效果
[0014]本申请的臭氧产生装置由于将冷却器输出制冷剂的方向设为与多个放电单元排列的方向平行的方向，因此即使在为了增加臭氧生成量而增加了放电单元的数量的情况下，也能够抑制臭氧产生装置的大型化。
附图说明
[0015]图1为实施方式1的臭氧产生装置的剖视图。
[0016]图2为实施方式1的臭氧产生装置的剖视图。
[0017]图3为实施方式1的散热器的立体图。
[0018]图4为实施方式1的臭氧产生装置的剖视图。
[0019]图5为实施方式2的臭氧产生装置的剖视图。
[0020]图6为实施方式2的臭氧产生装置的剖视图。
[0021]图7为实施方式2的散热器的立体图。
[0022]图8为实施方式3的臭氧产生装置的剖视图。
[0023]图9为实施方式3的臭氧产生装置的剖视图。
[0024]图10为实施方式4的臭氧产生装置机组的示意图。
[0025]附图标记
[0026]1：臭氧产生装置；2：放电单元；3：散热器；4：送风风扇；6：间隔件；10：接地电极；11：电介质筒；12：高压电极；21：翅片；22：槽；23：热缓和部；24：风洞；40：高压电源；41：供电端子；42：导入端子；50、51：总管；70：臭氧产生装置机组。
具体实施方式
[0027]以下参照附图详细说明用于实施本申请的实施方式的臭氧产生装置以及臭氧产生装置机组。此外，在各图中相同附图标记表示相同或相当的部分。
[0028]实施方式1.
[0029]图1为示出实施方式1的臭氧产生装置的结构的剖视图。在图1中，臭氧产生装置1具备圆筒状的多个放电单元2、具备供放电单元2插入的插入孔的散热器3和作为冷却散热器3的冷却器的送风风扇4。放电单元2在与放电单元2的轴向正交的方向上排列而配置。送风风扇4输出冷却风W。输出冷却风W的方向为与放电单元2排列的方向平行的方向。放电单元2具备作为外侧电极的接地电极10、电介质筒11和作为内侧电极的高压电极12。在放电单元2的电介质筒11与接地电极10之间形成有放电空隙G。在此，将圆筒状的放电单元2的轴向设为x轴方向，将放电单元2排列的方向设为y轴方向，将与x轴方向及y轴方向正交的方向设为z轴方向。从送风风扇4输出的冷却风W在与放电单元2排列的方向相同的方向的y轴方向上流动。
[0030]图2为从图1的A
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A线方向观察的剖视图。如图2所示，在放电单元2中，作为圆筒状的导电性构件的接地电极10和在其内部具有与接地电极10的中心轴一致的中心轴的圆筒状的电介质筒11呈同心圆状地配置。电介质筒11被间隔件6支承于接地电极10的内部，在接地电极10与电介质筒11之间形成有放电空隙G。高压电极12为形成于电介质筒11的内表面的薄膜状的导电性构件。电介质筒11的一个端部被闭合以免气体在电介质筒11的内部流
通。电介质筒11的另一个端部被开放以供给高电压。由接地电极10、电介质筒11和高压电极12构成了放电单元2。在放电单元2的一个端部设置有供含有氧气的原料气体导入至放电单元2的总管50。另外，在放电单元2的另一端部设置有供含有臭氧的含臭氧气体从放电单元2导出的总管51。在图2中，箭头60表示原料气体的流动方向，箭头61表示含臭氧气体的流动方向。在图2中，冷却风W的输出方向为与纸面垂直的方向。
[0031]臭氧产生装置1具备多个(图1中为3个)放电单元2。各个放电单元2沿送风风扇4的送风方向按等间隔配置。各个放电单元2的轴向为与送风方向正交的方向。因此，各个放电单元2的轴相互平行。
[0032]除了原料气体及含臭氧气体的导入部及导出部之外，放电单元2以具有气密性的方式构成。在放电单元2的电介质筒11开放的一端插入供电端子41，供电端子41与高压电极12电接触。供电端子41经由设置于总管50的导入端子42而连接于高压电源40。高压电源40的接地端子与接地电极10电连接以变为与接地电极10相同的电位。交流高电压从高压电源40经由供电端子41被施加于高压电极12，利用该交流高电压而在放电空隙G产生放电。
[0033]图3为散热器3的立体图。散热器3具备排列在y轴方向上的3个插入孔31，以使得能够在输出冷却风W的方向的y轴方向上排列配置3个放电单元2。插入于插入孔31的放电单元的接地电极1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种臭氧产生装置，其特征在于，具备：圆柱状的多个放电单元，通过放电使臭氧产生；散热器，具有在与所述放电单元的轴向正交的方向上多个所述放电单元排列而被插入的插入孔；以及冷却器，输出对所述散热器进行冷却的制冷剂，其中，所述冷却器输出所述制冷剂的方向为与多个所述放电单元排列的方向平行的方向。2.根据权利要求1所述的臭氧产生装置，其特征在于，具备热缓和部，该热缓和部与所述放电单元的外周面和所述散热器的所述插入孔的内周面接触而配置。3.根据权利要求1或2所述的臭氧产生装置，其特征在于，具备风洞，该风洞将所述制冷剂封闭在所述散热器的周围。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：内藤皓贵，和田升，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：