超高密度碟片刻片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种超高密度碟片刻片装置，其包含有：一光源产生器，用以产生一具特定波长的光源；一旋转平台，用以承载并驱动一刻片基板旋转；一刻片加工装置，包含有一光源导引件以及一驱动组件；该驱动组件，是与该导引件连接，一往复机构，是与该刻片加工装置连接，藉此，经由该导引件所导引的光源，可直接照射曝光于该基板表面，并藉由该往复机构及该旋转平台来控制该基板上该曝光点的位置。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光碟片的刻片装置，特别是指应用近场光学原理，来缩小光碟片刻片基板的刻痕面积，藉以大幅提高数据储存密度的一种超高密度碟片刻片装置。请参阅附图说明图1，它为一种传统的光碟片刻片系统10的结构示意图，其主要原理是利用一光学镜组11将一氩离子雷射12的光源引导至一接物镜13后，聚焦于一光碟片刻片基板14表面，使该基板14表面可以形成密集的凹良，以便日后翻模并进一步制作成光碟数据片而供读取使用。如何在光碟片有限的面积中，储存大量的数据一直是业界追求的目标，而此目标可藉由缩小刻片凹痕的面积，进而提高刻片凹痕的密度来达到；但，就理论而言，一个理想透镜所能分辨的最小距离D，是与入射光的波长λ成正比，而与透镜的数值孔径NA成反比，也即D＝0.61λ/NA，因此，就上述的光碟片刻片系统10而言，可藉由加大透镜的数值孔径NA，或者使用波长λ较短的雷射光源，来提高刻片凹痕的密度，以达到在光碟片中储存大量数据的目的；然而，就目前的产业技术所知，受限于既有的雷射光波长λ与大数值透镜孔径NA的制造技术及成本，故现行光碟片的数据储存量仍相当有限；其次，上述的光碟片刻片系统10，整个光学镜组11极为复本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高密度碟片刻片装置，其特征在于包含有：一光源产生器，以产生一具特定波长的光源；一旋转平台，以承载并驱动一刻片基板旋转；一刻片加工装置，它包含有一光源导引件以及一驱动组件；其中该光源导引件具有一进口端及一出口端，以引导该光源 自该进口端进入该导引件并自该出口端射出；而该驱动组件，是与该导引件连接，以使该导引件的出口端与该刻片基板表面的距离，维持在小于该光源波长的范围内；一往复机构，它与该刻片加工装置连接，它可驱动该导引件的出口端沿一直线方向往复位移；经由 该导引件所导引的光源，可直接照射曝光于该基板表面，并由该往复机构及该旋转平台以控制该基板上该曝光点的...

【技术特征摘要】
1.一种超高密度碟片刻片装置，其特征在于包含有一光源产生器，以产生一具特定波长的光源；一旋转平台，以承载并驱动一刻片基板旋转；一刻片加工装置，它包含有一光源导引件以及一驱动组件；其中该光源导引件具有一进口端及一出口端，以引导该光源自该进口端进入该导引件并自该出口端射出；而该驱动组件，是与该导引件连接，以使该导引件的出口端与该刻片基板表面的距离，维持在小于该光源波长的范围内；一往复机构，它与该刻片加工装置连接，它可驱动该导引件的出口端沿一直线方向往复位移；经由该导引件所导引的光源，可直接照射曝光于该基板表面，并由该往复机构及该旋转平台以控制该基板上该曝光点的位置。2.按照权利要求1所说的超高密度碟片刻片装置，其特征在于所说的光源产生器，它为一雷射光产生器。3.按照权利要求1所说的超高密度碟片刻片装置，其特征在于所说的光源产生器，它具有一控制单元，以控制该光源产生器产生该光源的明灭时间。4.按照权利要求1所说的超高密度碟片刻片装置，其特征在于所说的旋转平台，它可受一伺服马达的驱动而旋转，并可由该伺服马达控制该平台的旋转速度。5.按照权利要求1所说的超高密度碟片刻片装置，其特征在于所说的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：张云辉，罗士哲，王洪儒，潘家添，杨景棠，林锡甫，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]