旋转碟盘装置的止挡结构制造方法及图纸

技术编号:3075800 阅读:358 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种旋转碟盘装置的止挡结构,设置在旋转碟盘装置的上盖一边缘上,此边缘位于旋转碟盘装置的托盘底座与上盖间的间隙口处,而止挡结构乃用以防止于旋转碟盘装置中旋转的碟片因任何不可预测的原因而自间隙口脱离旋转碟盘装置,其特征在于,此边缘系具一预定内倾角度,可于碟片侧向冲击此边缘时,藉由此预定内倾角度的分力作用,使碟片自锁于旋转碟盘装置中。(*该技术在2012年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种旋转碟盘装置的止挡结构,尤指一种利用上盖的内倾角边缘设计,而使碟片被限制于旋转碟盘装置中的止挡结构。如附图说明图1所示,为已有技术的旋转碟盘装置的一侧的示意图,碟片机读取机构的旋转碟盘装置系包括一托盘底座10、一上盖11、一旋转盘12及一夹持机构13;碟片14系于托盘底座10与上盖11所形成的限制空间中操作,上盖11乃作为此限制空间的保护罩盖,上盖11又具有一外倾角形状的侧边15,碟片14在操作时则承载于托盘底座10的旋转盘12上,并以一设于旋转盘12下方的驱动马达35带动旋转,而夹持机构13则是用以将碟片14固定于旋转盘12上。在前述旋转碟盘装置中,当碟片14在旋转时,若遇不可预测外力碰撞或是当夹持机构13失效时,便可能因挟持不良或者转动惯性导致侧向飞离旋转盘12、向旋转碟盘装置的侧边冲击。如图2所示便是一旋转中的碟片脱离旋转盘12后、猛力冲击至旋转碟盘装置侧边的示意图,须知,旋转碟盘装置虽为一立体碟状物,但就结构而言,上盖11与托盘底座10于侧边上仍形成为具弹性的类似悬臂状结构,所以,当具外倾角度的上盖侧边15遭受到飞脱碟片14的撞击时,碟片14将会因上盖侧边15(外倾角而导滑至外盖11与托盘底座10之间的间隙口36上,此时,若飞脱碟片14的冲击力或惯性仍未被抵销,则如图2所示、向外飞脱的碟片14将会抵顶于托盘底座及上盖,并使之产生向外翻折的弯曲变形,轻者,碟片14将导致碟片表面的刮损或折断;而重者,则会导致碟片14飞离旋转碟盘装置,除碟片14本身造成毁损外,更极可能导致外界环境的损害。本技术的目的是采用以下技术手段实现的一种旋转碟盘装置的止挡结构,包括一托盘底座及一上盖,托托盘底座与上盖间又形成有一用以碟片进出旋转碟盘装置的间隙口,止挡结构设置于间隙口处的上盖一边缘上,其特征在于边缘内倾。所述的旋转碟盘装置的止挡结构的内倾角度介于5至30度之间。所述的旋转碟盘装置的止挡结构的边缘的一末端还包括一内向凸缘,内向凸缘为以远离托盘底座的方式向旋转碟盘装置中延伸构成。图2是旋转中碟片脱离旋转盘的示意图。图3为本技术止挡结构一实施例的示意图。图4为图3实施例种碟片侧向冲击止档结构的部分示意图。图5为本技术的另一实施例的示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的结构作进一步的说明。本技术与图1、图2所示的已有技术一样亦包括一承载与驱动用的托盘底座10、及一保护涵盖托盘底座10的上盖11,托盘底座10与上盖11形成为一容纳碟片14的空间,此一空间中又设置有一承载碟片14的旋转盘12、以及一将碟片14固定于旋转盘12上的夹持机构13,而托盘底座10下则设置有一驱动旋转盘12与置于其上碟片14的驱动马达35,在旋转碟盘装置中,托盘底座10与上盖11间又可形成有一供碟片14进出旋转碟盘装置的间隙口36。如图3所示,为本技术止挡结构37一实施例的示意图,此止挡结构37系直接设置于邻近间隙口36处的上盖11的一边缘15上,此边缘15向下形成具有一预定向倾角度的侧边(向旋转碟盘装置的中心部份倾斜)在本技术中,止挡结构37(预定内倾角度系可为任意的锐角,其较佳为介于5至30度之间。如图4所示,为图3实施例遭遇一碟片14冲击的示意图,当一碟片14因任意或不可预测原因,而由旋转盘内向外侧向冲击此边缘15(亦即止挡结构37)时,因预定内倾角度于边缘15上所形成的分力作用,乃得将碟片14导引向上,使碟片14的运动方向上倾远离可脱离旋转碟盘装置的间隙口36,同时,此边缘15因受到碟片14的冲击而变形,而此一变形乃用以缩小间隙口36的大小,即可将碟片14留置于旋转碟盘装置中。如图五所示,系为本技术止档结构37的另一实施例的示意图,在具有预定内倾角度构形的止挡结构37的末端上包括有一具预定长度的内向凸缘371,此一内向凸缘371系以远离托盘底座10的方式向旋转碟盘装置中延伸所构成,其功能乃用以于碟片14冲击止挡结构37时,籍止挡结构37的变形而将间隙36缩小。比较图3与图5的两实施例,可发现在图5的实施例中,因内向凸缘371的结构,乃得以使其预定内倾角度θ缩小,甚至可为一钝角(只要内向凸缘371的末端与上盖11边缘形成的虚拟连线为一锐角关系即可),为考虑于碟片14冲击时可将其上举的导引作用,故本技术种的预定内倾角度较佳亦应介于5至30度之间。由以上说明可知,本技术所提供的旋转碟盘装置的止挡结构,可利用具预定内倾角度的上盖边缘、或是上盖边缘末端的内向凸缘,有效防止旋转中的碟片在旋转时,因意外原因自旋转碟盘装置的间隙口脱离旋转碟盘装置。本技术中,以碟片机作为旋转碟盘装置的实施例中的旋转碟盘装置亦可为一晶圆承载器(晶圆则类比为前述的碟片)或为其他类似的盘体(类比为前述的碟片)处理用的覆盖式旋转载台,诸如此类的运用,乃为熟习此类技艺者得能根据本技术的技术揭露而能据以实施者,故亦应包括在本技术的申请专利范畴内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转碟盘装置的止挡结构,包括一托盘底座及一上盖,托托盘底座与上盖间又形成有一用以碟片进出旋转碟盘装置的间隙口,止挡结构设置于间隙口处的上盖一边缘上,其特征在于:边缘内倾。

【技术特征摘要】
1.一种旋转碟盘装置的止挡结构,包括一托盘底座及一上盖,托托盘底座与上盖间又形成有一用以碟片进出旋转碟盘装置的间隙口,止挡结构设置于间隙口处的上盖一边缘上,其特征在于边缘内倾。2.根据权利要求1所述的旋...

【专利技术属性】
技术研发人员:王国仁
申请(专利权)人:明碁电通股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]

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