【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置及检查方法
[0001]本专利技术的一方式涉及一种检查装置及检查方法。
技术介绍
[0002]作为对晶圆上所形成的发光元件组的良好
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不良进行判定的方法,已知有一种对发光元件所发出的光致发光进行观察,基于该光致发光的亮度进行发光元件的好坏判定的方法(例如参照专利文献1)。
[0003]在专利文献1所记载的检查方法中,将来自发光元件的荧光进行分割,在多个相机中分别摄像彼此不同的波长的荧光,基于各个观察亮度值的比率算出自观察对象部位所发出的光的推定波长。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2015
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10834号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]此处,专利文献1所记载的检查方法仅着眼于正常发光光谱的荧光。然而,一部分发光元件有在较正常发光光谱更长波长侧产生发光斑点的情况。在如上所述的检查方法中,存在如下情况:考虑到这样的长波长侧的荧光而无法进行发光元件 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置,其中,是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置,具备:激发光源,其产生照射至所述对象物的激发光;第1摄像部,其对来自所述发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像;及判定部,其基于由所述第1摄像部所取得的第1荧光图像判定所述发光元件的好坏,所述第1波长是所述发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。2.如权利要求1所述的检查装置,其中,还具备:光学元件,其将来自所述发光元件的荧光分离为较所述第1波长更长的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光;及第2摄像部,其对较所述第2波长更短的波长且包含于所述发光元件的正常荧光光谱的波长的荧光进行摄像。3.如权利要求2所述的检查装置,其中,所述第1波长与所述第2波长为相同波长,所述光学元件为分色镜。4.如权利要求2或3所述的检查装置,其中,所述判定部基于所述第1荧光图像及由所述第2摄像部所取得的第2荧光图像判定所述发光元件的好坏。5.如权利要求4所述的检查装置,其中,所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏,并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为良好的所述发光元件判定好坏。6.如权利要求4所述的检查装置,其中,所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏,并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为不良的所述发光元件判定好坏。7.如权利要求4~6中任一项所述的检查装置,其中,所述判定部基于所述第2荧光图像的亮度判定所述发光元件的好坏,并且基于所述第1荧光图像中所含的亮点判定所述发光元件的好坏。8.如权利要求1~7中任一项所述的检查装置,其中,所述判定部输出各发光元件的好坏判定结果。9.如权利要求1~8中任一项所述的检查装置,其中,所述判定部特定所述发光元件内的不良部位,并输出该不良部位的位置。10.一种检查方法,其中,是对形成有多个发光元件的对...
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