检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；相机，其对来自发光元件的荧光中较基准波长更长的波长的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所摄像的荧光判定发光元件的好坏；且基准波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。所得的波长。所得的波长。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置及检查方法
[0001]本专利技术的一方式涉及一种检查装置及检查方法。
技术介绍
[0002]作为对晶圆上所形成的发光元件组的良好
·
不良进行判定的方法，已知有一种对发光元件所发出的光致发光进行观察，基于该光致发光的亮度进行发光元件的好坏判定的方法(例如参照专利文献1)。
[0003]在专利文献1所记载的检查方法中，将来自发光元件的荧光进行分割，在多个相机中分别摄像彼此不同的波长的荧光，基于各个观察亮度值的比率算出自观察对象部位所发出的光的推定波长。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2015
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10834号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]此处，专利文献1所记载的检查方法仅着眼于正常发光光谱的荧光。然而，一部分发光元件有在较正常发光光谱更长波长侧产生发光斑点的情况。在如上所述的检查方法中，存在如下情况：考虑到这样的长波长侧的荧光而无法进行发光元件的好坏判定，从而无法高精度地进行发光元件的好坏判定。
[0009]本专利技术的一方式鉴于上述实际情况而完成，其目的在于，高精度地进行发光元件的好坏判定。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]本专利技术的一方式的检查装置是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至对象物的激发光；第1摄像部，其对来自发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；及判定部，其基于由第1摄像部所取得的第1荧光图像判定发光元件的好坏；第1波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。
[0012]根据本专利技术的一方式的检查装置，基于发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长的荧光图像、即不可能包含于发光元件的正常荧光光谱中的长波长侧的荧光图像进行发光元件的好坏判定。一部分发光元件有在较正常荧光光谱更长波长侧产生荧光斑点的情况，结果通过基于这样的长波长侧的荧光图像进行发光元件的好坏判定，可恰当地检测出上述长波长侧的荧光斑点，而将具有该荧光斑点的发光元件恰当地判定为不良。即，根据本专利技术的一方式的检查装置，通过考虑长波长侧的荧光可高精度地进行发光元件的好坏判定。
[0013]检查装置也可还具备：光学元件，其将来自发光元件的荧光分离为较第1波长更长
的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及第2摄像部，其对较第2波长更短的波长且包含于发光元件的正常荧光光谱中的波长的荧光进行摄像。根据这样的结构，无时间损耗地摄像长波长侧的荧光、及正常荧光光谱中所含的波长的荧光两者。由此，对于各发光元件，不仅对长波长侧的异常发光，而且对正常荧光光谱中的发光也可恰当地进行检测，从而可更详细地取得各发光元件的发光状态。
[0014]也可为，第1波长与第2波长为相同波长，且光学元件为分色镜。根据这样的结构，可简单且可靠地摄像上述长波长侧的荧光及正常荧光光谱中所含的波长的荧光。
[0015]判定部也可基于第1荧光图像及由第2摄像部所取得的第2荧光图像判定发光元件的好坏。由此，除了考虑长波长侧的荧光而进行发光元件的好坏判定以外，也可基于正常荧光光谱中所含的波长的荧光进行发光元件的好坏判定。由此，可考虑长波长侧的异常(荧光斑点)及正常荧光光谱中的发光状态两者而进一步高精度地进行发光元件的好坏判定。
[0016]判定部也可基于第2荧光图像判定发光元件的好坏，并且在该判定后基于第1荧光图像对该判定中被判定为良好的发光元件判定好坏。根据这样的结构，可在将正常荧光光谱中的发光状态异常的发光元件恰当地判定为不良后，进而即使正常荧光光谱中的发光状态正常也将具有长波长侧的异常(荧光斑点)的发光元件判定为不良，从而可考虑长波长侧的发光状态及正常荧光光谱中的发光状态两者而无遗漏地特定不良的发光元件。另外，由于仅对基于第2荧光图像的好坏判定中被判定为良好的发光元件进行基于第1荧光图像的好坏判定，因而可缩短长波长侧的异常的判定所需的时间。
[0017]判定部也可基于第2荧光图像判定发光元件的好坏，并且在该判定后基于第1荧光图像对该判定中被判定为不良的发光元件判定好坏。根据这样的结构，例如即使为基于正常荧光光谱中的发光状态判定为不良的发光元件，也可对不具有长波长侧的异常(荧光斑点)的发光元件判定为良好，从而可避免将不具有严重异常(长波长侧的荧光斑点)的发光元件判定为不良。另外，由于仅对基于第2荧光图像的好坏判定中被判定为不良的发光元件进行基于第1荧光图像的好坏判定，因而可缩短长波长侧的异常的判定所需的时间。
[0018]判定部也可基于第2荧光图像的亮度判定发光元件的好坏，并且基于第1荧光图像中所含的亮点判定发光元件的好坏。根据这样的结构，可考虑正常荧光光谱中的荧光的亮度、与长波长侧的荧光斑点的信息(异常荧光斑点的有无或数量等)而进一步高精度地进行发光元件的好坏判定。
[0019]判定部也可输出各发光元件的好坏判定结果。由此，可利用各发光元件的好坏判定结果特定对发光效率产生影响的发光元件，进行用以提高发光效率的应对。
[0020]判定部也可特定发光元件内的不良部位，并输出该不良部位的位置。例如，通过基于摄像结果特定长波长侧的荧光斑点的位置，并将该荧光斑点的位置作为不良部位输出，可基于不良部位的信息进行用以提高发光效率的应对。
[0021]本专利技术的一方式的检查方法是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查方法，且具备：激发光照射步骤，其对对象物照射激发光；第1摄像步骤，其对来自发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；及判定步骤，其基于第1摄像步骤中所取得的第1荧光图像判定发光元件的好坏；第1波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。
[0022]检查方法也可还具备：分离步骤，其将来自发光元件的荧光分离为较第1波长更长
的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及第2摄像步骤，其对较第2波长更短的波长且包含于发光元件的正常荧光光谱中的波长的荧光进行摄像。
[0023]第1波长与第2波长也可为相同的波长。
[0024]在判定步骤中，也可基于第1荧光图像及第2摄像步骤中所取得的第2荧光图像判定发光元件的好坏。
[0025]在判定步骤中，也可基于第2荧光图像判定发光元件的好坏，并且在该判定后基于第1荧光图像对该判定中被判定为良好的发光元件判定好坏。
[0026]在判定步骤中，也可基于第2荧光图像判定发光元件的好坏，并且在该判定后基于第1荧光图像对该判定中被判定为不良的发光元件判定好坏。
[0027]在判定步骤中，也可基于第2荧光图像的亮度判定发光元件的好坏，并且基于第1荧光图像中所含的亮点判定发光元件的好坏。
[0028]在判定步骤中，也可输出各发光元件的好坏判定结果。
[0029]在判定步骤中，也可特定发光元件内的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置，其中，是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至所述对象物的激发光；第1摄像部，其对来自所述发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；及判定部，其基于由所述第1摄像部所取得的第1荧光图像判定所述发光元件的好坏，所述第1波长是所述发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。2.如权利要求1所述的检查装置，其中，还具备：光学元件，其将来自所述发光元件的荧光分离为较所述第1波长更长的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及第2摄像部，其对较所述第2波长更短的波长且包含于所述发光元件的正常荧光光谱的波长的荧光进行摄像。3.如权利要求2所述的检查装置，其中，所述第1波长与所述第2波长为相同波长，所述光学元件为分色镜。4.如权利要求2或3所述的检查装置，其中，所述判定部基于所述第1荧光图像及由所述第2摄像部所取得的第2荧光图像判定所述发光元件的好坏。5.如权利要求4所述的检查装置，其中，所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏，并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为良好的所述发光元件判定好坏。6.如权利要求4所述的检查装置，其中，所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏，并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为不良的所述发光元件判定好坏。7.如权利要求4～6中任一项所述的检查装置，其中，所述判定部基于所述第2荧光图像的亮度判定所述发光元件的好坏，并且基于所述第1荧光图像中所含的亮点判定所述发光元件的好坏。8.如权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其中，所述判定部输出各发光元件的好坏判定结果。9.如权利要求1～8中任一项所述的检查装置，其中，所述判定部特定所述发光元件内的不良部位，并输出该不良部位的位置。10.一种检查方法，其中，是对形成有多个发光元件的对...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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