一种二极管晶圆电特性检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。该装置无需人工手动操作检测，由设备自动驱动检测探针对晶圆上的各个二极管进行电特性检测，极大提高检测效率，节省大量人力成本，且本装置结构简单，操作简单，成本低，同时本装置的晶圆夹持卡爪可适应不同尺寸的晶圆，实现对不同尺寸晶圆的检测。实现对不同尺寸晶圆的检测。实现对不同尺寸晶圆的检测。

【技术实现步骤摘要】
一种二极管晶圆电特性检测装置


[0001]本技术涉及二极管晶圆电特性检测领域，具体涉及一种二极管晶圆电特性检测装置。

技术介绍

[0002]二极管晶圆在生产完成后需对晶圆上的二极管进行电特性测试，目前二极管电特性测试仍然主要依靠测试人员手动测试，但一片晶圆上有多个二极管，人工测试的方式效率低，耗费大量人力物力。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术提供一种二极管晶圆电特性检测装置，自动检测二极管电特性，提高测试效率，节省人力成本。
[0004]本技术的技术方案为：一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；
[0005]晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；
[0006]XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。
[0007]进一步地，晶圆承载座为方形承载座；
[0008]晶圆夹持卡爪包括四个限位固定板和四个倒“L”形夹持板，限位固定板与倒“L本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。2.根据权利要求1所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，晶圆承载座为方形承载座；晶圆夹持卡爪包括四个限位固定板和四个倒“L”形夹持板，限位固定板与倒“L”形夹持板一一对应；四个限位固定板分别设置在晶圆承载座四个侧边的中心位置处；限位固定板下端设置有第一通孔，限位固定板顶端设置有横截面为圆形的第二通孔；第一通孔与第二通孔垂直，且两者贯通；第二通孔的侧壁上设置螺纹；倒“L”形夹持板的横向板贯穿过第一通孔。3.根据权利要求2所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，倒“L”形夹持板的竖向板外侧面为弧形结构。4.根据权利要求3所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，晶圆承载座上从其中心处到其四个侧边的中心处分别设置有刻度线。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的二极管晶圆电特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张政，毕景武，潘登，
申请(专利权)人：山东晶久电子器材厂有限公司，
类型：新型
国别省市：