表面清洗器及物理气相沉积设备制造技术

一种表面清洗器，包括弧形管道、阳离子源以及线圈，阳离子源用于产生阳离子，阳离子用于清洗工件的表面；线圈位于弧形管道的周围，用于在弧形管道中产生磁场；其中，磁场用于使阳离子经过弧形管道到达工件的表面。本申请还提供一种包括工件表面清洗器的物理气相沉积设备。设备。设备。

【技术实现步骤摘要】
表面清洗器及物理气相沉积设备


[0001]本申请涉及真空镀膜
，尤其涉及一种表面清洗器及物理气相沉积设备。

技术介绍

[0002]对工件镀膜之前，需要对工件表面进行清洗，以增加膜层与工件的结合力。
[0003]通常采用的工件表面清洗的方法有吹气处理、擦拭处理或烘烤处理等等。其中最常用的烘烤处理为将工件进行烘烤，但此种方法处理时间长，影响生产产能。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，有必要提供一种表面清洗器，以解决上述问题。
[0005]另，还有必要提供一种包括该表面清洗器的物理气相沉积装置。
[0006]一种表面清洗器，包括弧形管道、阳离子源以及线圈，阳离子源用于产生阳离子，所述阳离子用于清洗所述工件的表面；线圈用于在所述弧形管道中形成磁场；其中，所述阳离子经所述磁场通过所述弧形管道到达所述工件的表面。
[0007]进一步地，所述阳离子源包括弧靶以及引弧针，引弧针用于接触所述弧靶。
[0008]进一步地，所述阳离子源还包括：
[0009]驱动件，连接所述引弧针，用于驱动所述引弧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面清洗器，其特征在于，包括弧形管道；阳离子源，用于产生阳离子，所述阳离子用于清洗工件的表面；以及线圈，用于在所述弧形管道中形成磁场；其中，所述阳离子经所述磁场通过所述弧形管道到达所述工件的表面。2.根据权利要求1所述的表面清洗器，其特征在于，所述阳离子源包括：弧靶；以及引弧针，用于接触所述弧靶。3.根据权利要求2所述的表面清洗器，其特征在于，所述阳离子源还包括：驱动件，连接所述引弧针，用于驱动所述引弧针接触所述弧靶。4.根据权利要求2或3所述的表面清洗器，其特征在于，其中，所述阳离子源位于所述弧形管道的一端，所述弧形管道的另一端用于对准所述工件的表面。5.根据权利要求1所述的表面清洗器，其特征在于，所述线圈缠绕于所述弧形管道的外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵志刚，沈利明，蔡镇洲，贺威，黄勇，施罗哲，王进平，彭华，沈启航，
申请(专利权)人：深圳市裕展精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：