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一种表面清洗器，包括弧形管道、阳离子源以及线圈，阳离子源用于产生阳离子，阳离子用于清洗工件的表面；线圈位于弧形管道的周围，用于在弧形管道中产生磁场；其中，磁场用于使阳离子经过弧形管道到达工件的表面。本申请还提供一种包括工件表面清洗器的物理气...
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