【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置
[0001]本申请涉及半导体石英加工
，尤其是涉及一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置。
技术介绍
[0002]半导体石英产品是由石英材料制成的半导体产品，主要有石英罩、石英管、石英舟等。石英管产品在加工时需要对端面外圆处进行倒角，倒角加工一般选用倒角机。
[0003]授权公告号为CN205309971U的技术专利公开了一种石英倒角机，具有倒角机构；所述倒角机构安装在柜体的工作台面上，倒角机构由同轴上下设置的锥形砂轮和饼状砂轮组成；所述柜体的内部安装有电机；所述电机的输出轴与倒角机构的中心轴相连接。该技术通过电机带动倒角机构转动，操作人员仅需手持环形石英片，外圆边缘依靠自身重力紧贴饼状砂轮上表面，操作人员以相对平稳的速度转动即可处理外圆的倒角。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为石英产品倒角时会产生碎屑飞溅，飞溅的碎屑容易影响操作人员握持石英产品的手。
技术实现思路
[0005]为了减少飞溅的碎屑对操作人员握持石英产品的手的影响，本申请...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，包括工作台（1）、倒角轮（2）以及电机（3），所述倒角轮（2）转动安装在所述工作台（1）上，所述电机（3）设置于所述工作台（1）内且输出轴与所述倒角轮（2）同轴连接，其特征在于：所述工作台（1）上设置有吸风组件（4），所述吸风组件（4）包括吸风通道（41）以及吸风机（42），所述工作台（1）表面开设有多个吸风孔（43），所述吸风通道（41）设置于所述工作台（1）上且连接所述吸风机（42）和所述吸风孔（43）。2.根据权利要求1所述的一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，其特征在于：所述倒角轮（2）设置于所述工作台（1）的上表面上，所述工作台（1）的上表面设置有凹槽（12），所述凹槽（12）的底面为以所述电机（3）的输出轴为轴心的弧形面（13）。3.根据权利要求2所述的一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，其特征在于：所述工作台（1）上设置有沿高度方向的伸缩臂（6），所述伸缩臂（6）上设置有用于固定石英工件的固定组件（7），所述固定组件（7）位于所述倒角轮（2）的正上方。4.根据权利要求3所述的一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，其特征在于：所述固定组件（7）包括套筒（71）、抵紧块（72）以及抵紧弹簧（73），所述套筒（71）的开口竖直向下设置，所述套筒（71）内侧壁上开设有多个沿所述套筒（71）周向分布的滑移孔（711），所述抵紧弹簧（73）一端设置于所述滑移孔（711）的孔底，另一端连接所述抵紧块（72），所述抵紧块（72）远...
【专利技术属性】
技术研发人员：王卫良，李士昌，刘超平，林保璋，曹飞，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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