一种复合透明导电层和太阳能电池制造技术

一种复合透明导电层和太阳能电池，复合透明导电层包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率；第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率；M为大于等于3的整数；k为大于或等于1且小于或等于M

【技术实现步骤摘要】
一种复合透明导电层和太阳能电池


[0001]本技术涉及半导体领域，具体涉及一种复合透明导电层和太阳能电池。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种清洁能源电池，太阳能电池广泛的应用在生活和生产中。在太阳能电池的电极和非晶硅之间加一层透明导电膜(TCO)可以有效地增加载流子的收集，提高太阳能电池的转换效率。透明导电膜一方面需具有一定的透光率，以保证太阳光能够穿过透明导电膜被太阳能电池吸收，另一方面需具有一定的电导率，以保证透明导电膜能够与电极形成良好的欧姆接触。然而透光率和电导率是相互矛盾的，如果注重透明导电膜的透光率的提高势必会将透明导电膜的膜层减薄，但是膜层减薄会导致透明导电膜的电导率降低，相反，电导率的提高也会引起透光率的降低。
[0003]因此，现有技术中的太阳能电池的透明导电膜难以同时具有良好的透光率和电导率的问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中透明导电膜难以同时具有良好的透光率和电导率的问题，从而提供一种复合透明导电层和太阳能电池。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种复合透明导电层，包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率,第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率；M为大于或等于3的整数；k为大于或等于1且小于或等于M
‑
1的整数。
[0006]可选的，M等于3；所述复合透明导电层包括第一层透明导电膜、第二层透明导电膜和第三层透明导电膜，所述第二层透明导电膜位于所述第一层透明导电膜和所述第三层透明导电膜之间；所述第一层透明导电膜具有第一透光率和第一电导率；所述第二层透明导电膜具有第二透光率和第二电导率；所述第三层透明导电膜具有第三透光率和第三电导率；所述第二透光率小于所述第一透光率且大于第三透光率，所述第二电导率大于所述第一电导率且小于所述第三电导率。
[0007]可选的，第一层透明导电膜至第M层透明导电膜包括铟系氧化物。
[0008]可选的，所述第一层透明导电膜包括掺锡氧化铟或者掺钨氧化铟；所述第二层透明导电膜至第M层透明导电膜包括掺锡氧化铟。
[0009]可选的，所述第一层透明导电膜中的氧化铟含量至第M层透明导电膜中的氧化铟含量递减。
[0010]可选的，M等于3，第一层透明导电膜中的氧化铟的质量百分比为93：7～99：1；第二层透明导电膜中氧化铟的质量百分比为90：10～93：7；第三层透明导电膜中氧化铟的质量百分比为88：12～90：10。
[0011]可选的，所述第一层透明导电膜的厚度至第M层透明导电膜的厚度递减。
[0012]本实施新型还提供一种太阳能电池，包括：本技术的复合透明导电层。
[0013]可选的，还包括：半导体衬底层；所述复合透明导电层位于所述半导体衬底层的正面一侧，和/或，所述复合透明导电层位于所述半导体衬底层的背面一侧；第一层透明导电膜位于所述半导体衬底层和第M层透明导电膜之间。
[0014]可选的，还包括：位于所述半导体衬底层一侧的第一本征半导体层；位于所述半导体衬底层另一侧的第二本证半导体层；位于所述第一本征半导体层背向所述半导体衬底层一侧的N型半导体层；位于所述第二本征半导体层背向所述半导体衬底层一侧的P型半导体层；当所述半导体衬底层的正面一侧具有复合透明导电层时，半导体衬底层的正面一侧的复合透明导电层位于所述N型半导体层背向所述半导体衬底层的一侧；当所述述半导体衬底层的背面一侧具有复合透明导电层时，半导体衬底层的背面一侧的复合透明导电层位于所述P型半导体层背向所述半导体衬底层的一侧。
[0015]本技术技术方法具有以下有益效果：
[0016]1.本技术技术方案提供的复合透明导电层，包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率；第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率。第一层透明导电膜具有高的透光率，使第一层透明导电膜能够透过较多的光；第M层透明导电膜具有较高的电导率，使第M层透明导电膜具有良好的欧姆接触性能，进而使得复合透明导电膜具有良好的欧姆接触性能。复合透明导电膜同时兼顾了透光率和电导率，优化了复合透明导电膜的透光率和电导率。
[0017]2.进一步，M等于3；所述复合透明导电层包括第一层透明导电膜、第二层透明导电膜和第三层透明导电膜。所述第二层透明导电膜位于所述第一层透明导电膜和所述第三层透明导电膜之间；所述第一层透明导电膜具有第一透光率和第一电导率；所述第二层透明导电膜具有第二透光率和第二电导率；所述第三层透明导电膜具有第三透光率和第三电导率。所述第二透光率小于所述第一透光率且大于第三透光率，所述第二电导率大于所述第一电导率且小于所述第三电导率。第一层透明导电膜具有高的透光率，使第一层透明导电膜能够透过较多的光；第三层透明导电膜具有较高的电导率，使第三层透明导电膜具有良好的欧姆接触性能，进而使得复合透明导电膜具有良好的欧姆接触性能；第二层透明导电膜的透光率介于第一层透明导电膜的透光率和第三层透明导电膜的透光率之间，第二层透明导电膜的电导率介于第一层透明导电膜的电导率和第三层透明导电膜的电导率之间，第二层透明导电膜使得第一层透明导电膜和第三层透明导电膜在性能上具有较好的过渡，复合透明导电膜同时兼顾了透光率和电导率，优化了复合透明导电膜的透光率和电导率。
[0018]3.本技术提供的太阳能电池，包括本技术的复合透明导电层，第一层透明导电膜具有高的透光率，使太阳能电池能够透过较多的太阳光，避免太阳能电池的短路电流密度(Isc)过低；第M层透明导电膜具有较高的电导率，使第M层透明导电膜与电极形成良好的欧姆接触，进而使得复合透明导电膜与电极形成良好的欧姆接触，避免太阳能电池的填充因子(FF)过低。复合透明导电膜同时兼顾了透光率和电导率，使太阳能电池具有良好的短路电流密度(Isc)和填充因子(FF)，从而提高了太阳能电池的光电转换效率。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；
[0020]图1是本技术一实施例中的复合透明导电层的结构示意图；
[0021]图2是本技术另一实施例中太阳能电池的结构示意图；
[0022]附图标记：
[0023]110、第一层透明导电膜；120、第二层透明导电膜；130、第三层透明导电膜；10、复合透明导电层；11、半导体衬底层；12a、第一本征半导体层；12b、第二本证半导体层；13a、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合透明导电层，其特征在于，包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率；第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率；M为大于等于3的整数；k为大于或等于1且小于或等于M
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1的整数。2.根据权利要求1所述的复合透明导电层，其特征在于，M等于3；所述复合透明导电层包括第一层透明导电膜、第二层透明导电膜和第三层透明导电膜，所述第二层透明导电膜位于所述第一层透明导电膜和所述第三层透明导电膜之间；所述第一层透明导电膜具有第一透光率和第一电导率；所述第二层透明导电膜具有第二透光率和第二电导率；所述第三层透明导电膜具有第三透光率和第三电导率；所述第二透光率小于所述第一透光率且大于第三透光率，所述第二电导率大于所述第一电导率且小于所述第三电导率。3.根据权利要求1所述的复合透明导电层，其特征在于，第一层透明导电膜至第M层透明导电膜包括铟系氧化物。4.根据权利要求3所述的复合透明导电层，其特征在于，所述第一层透明导电膜包括掺锡氧化铟或者掺钨氧化铟；第二层透明导电膜至第M层透明导电膜包括掺锡氧化铟。5.根据权利要求1所述的复合透...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：