一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，包括混料桶、支撑架和上盖，所述混料桶外侧的上端设有进料口，并且底部设有出料口，所述混料装置还包括：至少两个第一板体；至少两个第二板体；驱动组件。本实用新型专利技术中，第一板体上设置有通孔和螺旋桨，第二板体上设置有过滤网，本装置在运行时螺旋桨随着第一板体的旋转受到液体流动产生的推力而旋转，起到搅拌的作用，过滤网随着第二板体的旋转，推动较大的固体原料移动，同时液体原料可以从过滤网的网眼中流过，促进固液原料的混合，故通过本装置有助于提高混合的速度以及均匀性。通过本装置有助于提高混合的速度以及均匀性。通过本装置有助于提高混合的速度以及均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置


[0001]本技术涉及光刻胶清洗剂加工设备
，尤其涉及一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置。

技术介绍

[0002]在集成电路、超大规模集成电路的制造工艺中，使用光刻胶在晶圆上形成导电层图案是非常重要的一道工序。一般是用光刻胶均匀涂抹在绝缘膜或金属膜上，经曝光、显影后在光刻胶上形成导电层图像，然后再利用光刻胶作为掩模，对绝缘膜或金属膜进行蚀刻，以在晶圆上形成导电层，最后再除去光刻胶。
[0003]清洗剂在加工时需要将多种原料混合搅拌，由于原料有固态也有液态，常规的混料装置在加工时存在混合速度慢、不均匀的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，包括混料桶、支撑架和上盖，所述混料桶外侧的上端设有进料口，并且底部设有出料口，所述混料装置还包括：
[0007]至少两个第一板体，所述第一板体上具有多个用于搅拌清洗剂的搅拌件；
[0008]至少两个第二板体，所述第二板体上具有过滤网；
[0009]驱动组件，所述驱动组件用于带动第一板体和第二板体绕混料桶的轴向方向反向旋转。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述驱动组件包括驱动件以及齿轮组件，所述齿轮组件由依次啮合的驱动齿轮、传动齿轮以及从动齿轮组成，所述从动齿轮为环形结构，所述驱动齿轮和传动齿轮位于从动齿轮的内侧。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述驱动齿轮与驱动件的输出端固定连接，并且驱动齿轮的底部固定连接有第二杆体，所述第二板体与第二杆体固定连接，并且第二板体沿混料桶的径向方向延伸。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述从动齿轮的外侧固定连接有第一杆体，且第一杆体沿混料桶的径向方向延伸，所述第一杆体与第一板体固定连接。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述第一板体与第一杆体之间具有30
‑
60
°
的夹角。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述搅拌件为螺旋桨，所述第一板体上具有与螺旋桨水平对齐的通孔。
[0020]作为上述技术方案的进一步描述：
[0021]所述混料桶的内壁上具有环形的滑槽，所述第一板体靠近混料桶内壁的一侧具有与滑槽配合的凸起。
[0022]作为上述技术方案的进一步描述：
[0023]所述过滤网的网眼内径为1
‑
2mm。
[0024]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0025]本技术中，混料装置设置有混料桶，混料桶中设置有第一板体、第二板体以及带动两个板体绕混料桶反向旋转的驱动组件，第一板体上设置有通孔和螺旋桨，第二板体上设置有过滤网，本装置在运行时螺旋桨随着第一板体的旋转受到液体流动产生的推力而旋转，起到搅拌的作用，过滤网随着第二板体的旋转，推动较大的固体原料移动，同时液体原料可以从过滤网的网眼中流过，促进固液原料的混合，故通过本装置有助于提高混合的速度以及均匀性。
附图说明
[0026]图1示出了根据本技术实施例提供的混料装置整体结构示意图；
[0027]图2示出了根据本技术实施例提供的混料桶内部结构示意图；
[0028]图3示出了图1中A处的放大结构示意图；
[0029]图4示出了根据本技术实施例提供的第一板体、第二板体和驱动组件结构示意图。
[0030]图例说明：
[0031]1、混料桶；2、支撑架；3、进料口；4、出料口；5、上盖；6、第一板体；7、第二板体；8、过滤网；9、通孔；10、螺旋桨；11、驱动件；12、驱动齿轮；13、传动齿轮；14、从动齿轮；15、第一杆体；16、第二杆体。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，包括混料桶1、支撑架2和上盖5，混料桶1外侧的上端设有进料口3，并且底部设有出料口4，混料装置还包括：至少两个第一板体6，第一板体6上具有多个用于搅拌清洗剂的搅拌件；至少两个第二板体7，第二板体7上具有过滤网8；驱动组件，驱动组件用于带动第一板体6和第二板体7绕混料桶1的轴向方向反向旋转。
[0034]具体的，如图3所示，驱动组件包括驱动件11以及齿轮组件，齿轮组件由依次啮合的驱动齿轮12、传动齿轮13以及从动齿轮14组成，从动齿轮14为环形结构，驱动齿轮12和传动齿轮13位于从动齿轮14的内侧。
[0035]具体的，如图4所示，驱动齿轮12与驱动件11的输出端固定连接，并且驱动齿轮12的底部固定连接有第二杆体16，第二板体7与第二杆体16固定连接，并且第二板体7沿混料
桶1的径向方向延伸。从动齿轮14的外侧固定连接有第一杆体15，且第一杆体15沿混料桶1的径向方向延伸，第一杆体15与第一板体6固定连接。第一板体6与第一杆体15之间具有30
‑
60
°
的夹角。第一板体6倾斜的设置有助于减少阻力。
[0036]具体的，如图4所示，搅拌件为螺旋桨10，第一板体6上具有与螺旋桨10水平对齐的通孔9。螺旋桨10受到液体流过产生的推力可以转动，起到搅拌的作用。
[0037]具体的，如图2所示，混料桶1的内壁上具有环形的滑槽，第一板体6靠近混料桶1内壁的一侧具有与滑槽配合的凸起。凸起起到支撑作用，使齿轮组件的齿轮始终啮合。
[0038]具体的，如图2所示，过滤网8的网眼内径为1
‑
2mm。过滤网8用于推动固体原料移动，通过液体原料从网眼穿过，随着第二板体7的旋转有助于促进固液混合。
[0039]工作原理：使用时，将原料从进料口3加入混料桶1中，启动驱动件11，驱动件11带动驱动齿轮12旋转，通过传动齿轮13的传动，使驱动齿轮12和从动齿轮14反向旋转，从而使第一板体6和第二板体7绕混料桶1的轴向方向反向旋转，第一板体6在旋转时，螺旋桨10受到液体流动产生的推力而旋转，起到搅拌的作用，第二板体7上的过滤网8可以推动较大的颗粒物移动，促进固体原料与液体原料混合，同时过滤网8上的网眼可以卡住无法溶解的杂质，起到过滤作用。
[0040]以上所述，仅为本技术较佳的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，包括混料桶、支撑架和上盖，所述混料桶外侧的上端设有进料口，并且底部设有出料口，其特征在于，所述混料装置还包括：至少两个第一板体，所述第一板体上具有多个用于搅拌清洗剂的搅拌件；至少两个第二板体，所述第二板体上具有过滤网；驱动组件，所述驱动组件用于带动第一板体和第二板体绕混料桶的轴向方向反向旋转。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动件以及齿轮组件，所述齿轮组件由依次啮合的驱动齿轮、传动齿轮以及从动齿轮组成，所述从动齿轮为环形结构，所述驱动齿轮和传动齿轮位于从动齿轮的内侧。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述驱动齿轮与驱动件的输出端固定连接，并且驱动齿轮的底部固定连接有第二杆体，所述第二板体与第二杆体固定连接，并且第二板体沿混料桶的径向方向延伸。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文瀚，杨同勇，郭锁柱，凌峥，
申请(专利权)人：三达奥克化学股份有限公司，
类型：新型
国别省市：