光信息媒体的制造方法及制造装置制造方法及图纸

具有通过在信息记录层上形成树脂层后，使可透过活性能线的模子与树脂层表面接触，接着通过模子向树脂层照射活性能线，接着剥离下模子，形成复制了凹凸图形的透明中间层的工序，形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子，在信息记录区上形成透明中间层，透明中间层的最大厚度和最小厚度之差在１０μｍ以下。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于光信息媒体的制造方法。
技术介绍
近年来，对于光盘的高密度化和大容量化要求越来越高。虽然当前出售的DVD(Digital Versatile Disk)单面的记录容量已有约4.7GB，相当于约7倍的小型光盘，但是仍广泛开发研制能记录更多信息的技术。作为提高光盘记录容量的技术，有记录/再生光束的短波长化、记录/再生光束照射光学体系中的物镜高NA(开口数)化、信息记录层的多层化、多值记录等。这些中，利用信息记录层多层化形成的三元记录，与短波长化和高NA化相比，能以低成本获得极大的高容量化。形成3元记录的多层光信息媒体，例如已记载在特开平9-161329号公报、特开平9-63122号公报、特开平10-302315号公报中。在多层光信息媒体中(以下也称多层媒体)，如上述各公报中开示的，一般是夹持透明树脂形成的中间层，使数个信息记录层形成层叠的结构。具体讲，是在基板上形成第1信息记录层，在其上形成表面具有凹凸图形的中间层、再在其上形成第2信息记录层，使上述凹凸图形复制在第2信息记录层上。作为上述凹凸图形，例如有保持数据、跟踪信息、地址信息等的预置凹坑(prepit)或沟槽(groove)(导向沟槽)。在这种凹凸图形的形成中，如上述各公报中记载的，一般是利用模子对树脂层进行挤压的2P(Photo polymerigation光聚合)法。在多层媒体中，为了确保焦点伺服(focws servo)的稳定性，要求相邻接信息记录层之间的距离在媒体面内方向上的偏差要小。即，设在记录层之间的中间层，要求厚度必须均匀。当中间层的厚度不均性很大，在用模子挤压复制凹凸图形时，模子难以将中间层挤压均匀，结果很容易产生复制缺陷。中间层是在由紫外线固化型树脂等活性能射线固化型树脂或放射线固化型树脂构成时，中间层的厚度不均过大，使中间层固化时很容易产生固化不均，由此也很容易产生复制缺陷。在形成中间层时，即使能由模子准确地向中间层复制凹凸图形，如果模子从中间层脱离时难以脱开，即起模性很差，一部分中间层会连同模子一起剥离下来，产生缺陷。因此，对于构成中间层的树脂，要求模子的起模性要好。例如，由紫外线固化型树脂构成中间层，而且在对紫外线不透明的信息记录层上形成中间层时，由于要求用于固化的紫外线通过模子照射到中间层上，所以模子必须由对紫外线呈透明的材质构成。在通常的旋转涂敷法中，将树脂供给到固定在旋转台上的基板表面上，使基板旋转，依靠离心力使树脂扩展。为了在基板上形成安装驱动光盘时使用的中心孔，所以不能将树脂供给到旋转中心(基板中央处)，从旋转中心以等距离地进行环状供给。然而，树脂供给位置越远离旋转中心，盘外周部分的树脂层厚度比盘内周部分厚。即，中间层在半径方向上存在着厚度不均现象。在多层信息媒体中随着信息记录层的层叠数增多，中间层的数也增加，中间层的厚度不均形成累积。其结果，在盘的外周部，即使记录/再生光束垂直向基板入射，由信息记录层表面反射的记录/再生光束不能与基板形成垂直，其结果，向拾光器(pick-up)返回的光量减少。因此，在盘的内周部分和外周部分形成不同的再生输出。在上述特开平9-161329号公报中提出一种方案，即，设置的工序是在基板和模子之间夹有液体树脂的状态下，使基板和模子一起旋转，使液体树脂在基板和模子之间扩展。在通常的旋转涂敷法中，是将树脂供给到盘状基板表面上后，通过旋转基板使树脂扩展。这时，在基板外周缘附近，由于表面张力引起树脂膨起，最终导致基板外周缘附近树脂层变厚。与其相反，在该公报记载的方法中，由于树脂是在基板和模子之间呈夹持状态下扩展，所以能抑制基板外周附近树脂层变厚。在同一公报中，对于模子的构成材料没有记载，对于模子的起模性也没有注意到。在同一公报中都记载了通过基板照射紫外线。在上述特开平9-63122号公报中的实施例1中，在由保持数据的位相槽形成的第1再生专用信息面上，形成由硅和硅氮化物的混合物组成的半透明中间层，再在其上设置紫外线固化树脂层。该紫外线固化树脂层的表面，为由利用模子的复制形成的位相槽组成第2再生专用信息面。在该实施例中，使用了由塑料形成的透明模子，通过模子射入紫外线。在同一公报中，对于使存在于相邻信息面之间的树脂层的厚度均匀没有引起注意，关于模子的起模性也没有引起关注。在上述特开平10-302315号公报的实施例中，将光固化性树脂滴在透明模子上，在其上载置基板后，以200rpm的旋转速度旋转透明模子，使光固化性树脂扩展，接着，通过透明模子照射紫外线，使树脂固化。上述透明模子是通过在5mm厚的透明塑料圆板和形成凹凸图形的Ni制模子之间，填充光固化性树脂，用紫外线灯照射固化后，剥离Ni制模子而形成的。在该实施例中，透明模子表面由光固化性树脂构成，而且，延展对象的树脂是光固化性树脂，所以模子的起模性很差。在该公报中，透明模子表面的光固化性树脂和延展对象的光固化性树脂都是紫外线固化型树脂。紫外线固化型树脂，固化后仍存在残余聚合引发剂吸收紫外线。因此，在该公报中使用的透明模子对紫外线的透明性很低，很不理想。然而，在只有1层信息记录层的光信息媒体中，利用注塑成型制作树脂基板时，一般是同时形成沟槽或予置凹坑等凹凸图形。但是，例如，在基准盘等要求高精度的光板基板中，在由玻璃等形成的高刚性、高精度的平滑基板表面上，形成具有上述凹凸图形的透明树脂层，在该透明树脂层上也可形成信息记录层。在该透明树脂层上，和多层光信息媒体中的中间层一样，通过用模子的挤压形成上述凹凸图形。专利技术概要本专利技术的目的是在制造通过由树脂形成的透明中间层使数个信息记录层层叠，在透明中间层的表面上存在保持信息的凹凸图形的多层光信息媒体时，使上述透明中间层形成均匀的厚度，同时使模子具有的、上述凹凸图形的母体图形准确地复制到透明中间层上。对于光盘，为满足高密度化和大容量化的要求，需要提高线记录密度和磁道密度。为此，需要减少预置凹坑，使沟距更狭窄。由此，在模子冲上需要准确形成细微的预置凹坑和沟槽的母体图形。本专利技术的目的是在含有放射固化型树脂的、表面上具有沟和预槽和预制凹坑等凹凸图形的中间层上形成信号记录层，制造这样的光信息媒体时，形成均匀厚度的中间层，同时使模子具有的上述凹凸图形的母体图形准确地复制到中间层上。这些目的，根据下述(1)～(20)的本专利技术即可达到。(1)一种光信息媒体的制造方法，是分别通过透明中间层将具有信息记录区的数个信息记录层设在基板上，制造光信息媒体的方法，设有以下工序，即在至少形成1层的信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有活性能线固化型树脂的树脂层后，使上述活性能线是可通过的、而且表面具有凹凸图形的模子与树脂层表面接触，接着通过模子向树脂层照射上述活性能线，接着剥离模子，形成复制上述凹凸图形的透明中间层，作为上述模子，至少形成上述凹凸图形的表面，是用聚烯烃系树脂或氟系树脂构成的、形成透明中间层，使在信息记录区上的透明中间层的最大厚度和最小厚度的差小于10μm。(2)上述(1)的光信息媒体制造方法，上述基板为具有中心孔的盘状，将上述基板载置在旋转台上，使用具有圆板部和在该圆板部中央形成一体的支撑轴的闭塞装置，形成堵塞中心孔的状态，设有以下工序，即将含有活性能线固化型树脂的涂敷液供给到上述支撑轴的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是设有以下工序，即在至少形成１层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有活性能线固化型树脂的树脂层后，使上述活性能线可透过的，而且表面具有凹凸图形的模子与树脂层表面接触，接着，通过模子向树脂层照射上述活性能线，接着剥离下模子，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层， 作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面，至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的， 在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在１０μｍ以下。

【技术特征摘要】
JP 2001-5-1 134232/01;JP 2001-6-29 200206/01;JP 201.一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是设有以下工序，即在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有活性能线固化型树脂的树脂层后，使上述活性能线可透过的，而且表面具有凹凸图形的模子与树脂层表面接触，接着，通过模子向树脂层照射上述活性能线，接着剥离下模子，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层，作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面，至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的，在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在10μm以下。2.根据权利要求1的光信息媒体制造方法，其特征是上述基板为具有中心孔的盘状、还设有如下工序，即，将上述基板载置在旋转台上，用具有圆板部分和与该圆板部中央处形成一体的支撑轴的闭塞装置，形成堵塞住上述中心孔的状态、将含有活性能线固化型树脂的涂敷液供到支撑轴的外周面后，通过使上述基板与上述闭塞装置一起旋转，使上述涂敷液在上述信息记录层上延展，形成上述树脂层。3.根据权利要求1或2的光信息媒体制造方法，其特征是在使模子与上述树脂层接触之前，设有通过照射上述活性能线使上述树脂层不完全固化的工序。4.根据权利要求3的光信息媒体制造方法，其特征是通过旋转基板，使含有上述活性能线固化型树脂的涂敷液延展形成上述树脂层后，一边降低基板的旋转速度，一边照射活性能线，使上述树脂层形成不完全固化。5.根据权利要求4的光信息媒体制造方法，其特征是在上述树脂层形成时，至少削除一部分从基板外围溢出的上述涂敷液，随后，照射上述活性能线，使上述树脂层不完全固化。6.根据权利要求1-5中任意一项光信息媒体制造方法，其特征是在减压环境中使上述模子与上述树脂层表面接触。7.根据权利要求1-6中任意一项光信息媒体制造方法，其特征是在上述信息记录区上形成的上述透明中间层平均厚度为5～50μm。8.一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是设有如下工序，即，向至少形成1层信息记录层的基板上的上述信息记录层形成面上，供给含有活性能线固化型树脂的涂敷液后，使可透过上述活性能线的、而且表面具有凹凸图形的模子与上述涂敷液接触，接着，使基板与模子一起旋转，延展上述涂敷液，形成树脂层，接着，通过模子向树脂层照射上述活性能线，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层，作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成。9.根据权利要求8的光信息媒体制造方法，其特征是上述模子的厚度为0.3～1.8mm。10.根据权利要求8或9的光信息媒体制造方法，其特征是在减压环境中使上述模子与上述涂敷液接触。11.根据权利要求1～10中任意一项光信息媒体制造方法，其特征是上述模子用后舍弃。12.一种光信息媒体的制造方法，是在基板上至少具有1层信息记录层，在信息记...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉成次郎，越拓哉，平田秀树，小卷壮，山家研二，田中敏文，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]